Fabrication and field emission characteristics of high density carbon nanotube microarrays

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 23, Issue 2, 2005, Pages 772-775

  Chuang, C C ^a   Huang, J H ^a   Lee, C C ^b   Chang, Y Y ^b  

^a NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

^b INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CATHODES; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; INTEGRATED CIRCUITS; MICROWAVE HEATING; MULTILAYERS; PHOSPHORUS;

INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY; TRIODE EMITTERS;

CARBON NANOTUBES;

EID: 31144450487     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.1880132     Document Type: Conference Paper

References (15)

1. J. H. Huang, S. P. Chen, C. C. Chuang, I. N. Lin, and C. H. Tsai, Diamond Relat. Mater. 12, 481 (2003).
2. J. H. Huang, C. C. Chuang, C. H. Tsai, and W. J. Chen, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 1655 (2003).
3. Z. W. Pan, Frederick C. K. Au, H. L. Lai, W. Y. Zhou, L. F. Sun, Z. Q. Liu, D. S. Tang, C. S. Lee, S. T. Lee, and S. S. Xie, J. Phys. Chem. B 105, 1519 (2001).
4. J. L. Kwo, Meiso Yokoyama, W. C. Wang, F. Y. Chuang, and I. N. Lin, Diamond Relat. Mater. 9, 1270 (2000).
5. N. S. Lee, D. S. Chung, I. T. Han, J. H. Kang, Y. S. Choi, H. Y. Kim, S. H. Park, Y. W. Jin, W. K. Yi, M. J. Yun, J. E. Jung, C. J. Lee, J. H. You, S. H. Jo, C. G. Lee, and J. M. Kim, Diamond Relat. Mater. 10, 265 (2001).
6. D. S. Chung, S. H. Park, H. W. Lee, J. H. Choi, S. N. Cha, J. W. Kim, J. E. Jang, K. W. Min, S. H. Cho, M. J. Yoon, J. S. Lee, C. K. Lee, J. H. Yoo, and J. M. Kim, Appl. Phys. Lett. 80, 4045 (2002).
7. J. E. Jung, Y. W. Jin, J. H. Choi, Y. J. Park, T. Y. Ko, D. S. Chung, J. W. Kim, J. E. Jang, S. N. Cha, W. K. Yi, S. H. Cho, M. J. Yoon, C. G. Lee, J. H. You, N. S. Lee, J. B. Yoo, and J. M. Kim, Physica B 323, 71 (2002).
8. I. T. Han, H. J. Kim, Y. J. Park, N. S. Lee, J. E. Jang, J. W. Kim, J. E. Jung, and J. M. Kim, Appl. Phys. Lett. 81, 2070 (2002).
9. G. Pirio, P. Legagneux, D. Pribat, K. B. K. Teo, M. Chhowalla, G. A. J. Amaratunga, and W. I. Milne, Nanotechnology 13, 1 (2002).
10. Y. Huh, J. Y. Lee, J. H. Lee, T. J. Lee, S. C. Lyu, and C. J. Lee, Chem. Phys. Lett. 375, 388 (2003).
11. Y. T. Jang. C. H. Choi, B. K. Ju, J. H. Ahn, and Y. H. Lee, Thin Solid Films 436, 298 (2003).
12. J. I. Sohn and S. H. Lee, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 74, 287 (2002).
13. M. A. Guillorn, M. D. Hale, V. I. Merkulov, M. L. Simpson, G. Y. Eres, H. Cui, A. A. Puretzky, and D. B. Geohegan, Appl. Phys. Lett. 81, 2860 (2002).
14. Y. H. Lee, Y. T. Jang, D. H. Kim, J. H. Ahn, and B. K. Ju, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 13, 479 (2001).
15. C. C. Chuang, J. H. Huang, W. J. Chen, C. C. Lee, and Y. Y. Chang, Diamond Relat. Mater. 13, 1012 (2004).