Thermally induced sp2 clustering in tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films

Journal of Applied Physics

Volumn 96, Issue 11, 2004, Pages 6286-6297

  Orwa, J O ^a,c   Andrienko, I ^a   Peng, J L ^a   Prawer, S ^a   Zhang, Y B ^b   Lau, S P ^b  

^a UNIVERSITY OF MELBOURNE   (Australia)

^b NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   (Singapore)

^c UNIVERSITY OF SURREY   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS FILMS; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; ELECTRON ENERGY LOSS SPECTROSCOPY; NANOSTRUCTURED MATERIALS; RAMAN SPECTROSCOPY; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

ANNEALING TEMPERATURE; CARBON FILMS; STRESS REDUCTION; SURFACE CONDUCTIVITY;

CARBON;

EID: 30644467202     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1808918     Document Type: Article

References (38)

1. D. R. McKenzie, Rep. Prog. Phys. 59, 1611 (1996).
2. Y. Lifshitz, G. D. Lempert, and E. Grossman, Phys. Rev. Lett. 72, 2753 (1994).
3. P. C. Kelires, Phys. Rev. B 62, 15686 (2000).
4. C. A. Davis, Thin Solid Films 226, 30 (1993).
5. M. A. Tamor and W. C. Vassell, J. Appl. Phys. 76, 3823 (1994).
6. A. C. Ferrari, B. Kleinsorge, N. A. Morrison, A. Hart, V. Stolojan, and J. Robertson, J. Appl. Phys. 85, 7191 (1999).
7. D. Sheeja, B. K. Tay, L. J. Yu, S. P. Lau, J. Y. Sze, and C. K. Cheong, Thin Solid Films 420-421, 62 (2002).
8. H. Dimigen, H. Hubsch, and R. Memming, Appl. Phys. Lett. 50, 1056 (1997).
9. M. Chhowalla, Y. Yin, G. A. J. Amaratunga, D. R. Mckenzie, and T. Frauenheim, Appl. Phys. Lett. 69, 2344 (1996).
10. B. Racine, A. C. Ferrari, N. A. Morrison, I. Hutchings, W. I. Milne, and J. Robertson, J. Appl. Phys. 90, 5002 (2001).
11. T. A. Freidmann, J. P. Sullivan, J. A. Knapp, D. R. Talland, D. M. Follstaedt, D. L. Medlin, and P. B. Mirkarimi, Appl. Phys. Lett. 71, 3820 (1997).
12. J. P. Sullivan, T. A. Friedmann, and A. G. Baca, J. Electron. Mater. 26, 1021 (1997).
13. J. P. Sullivan, T. A. Friedmann, R. G. Dunn, E. B. Stechel, P. A. Schultz, M. P. Siegal, and N. Missert, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 498, 97 (1998).
14. I. Andrienko and S. Prawer, Properties of Amorphous Carbon, edited by S. R. P. Silva (INSPEC, IEE, London, 2003), p. 171.
15. R. Kalish, Y. Lifshitz, K. W. Nugent, and S. Prawer, Appl. Phys. Lett. 74, 2936 (1999).
16. K. W. R. Gilkes, H. S. Sands, D. N. Batchelder, J. Robertson, and W.I. Milne, Appl. Phys. Lett. 70, 1980 (1997).
17. V. I. Merkulov, J. S. Lannin, C. H. Munro, S. A. Asher, V. S. Veerasamy, and W. I. Milne, Phys. Rev. Lett. 78, 4869 (1997).
18. S. Anders, J. Diaz, J. W. Ager, R. Y. Lo, and D. B. Bogy, Appl. Phys. Lett. 71, 3367 (1997).
19. D. R. McKenzie, Y. Yin, N. A. Marks, C. A. Davis, B. A. Pailthorpe, G. A. J. Amaratunga, and V. S. Veerasamy, Diamond Relat. Mater. 3, 353 (1994).
20. X. Shi, D. Flynn, B. K. Tay, S. Prawer, K. W. Nugent, S. R. P. Silva, Y. Lifshitz, and W. I. Milne, Philos. Mag. B 76, 351 (1997).
21. E. Z. Luo, J. X. Ma, J. B. Xu, I. H. Wilson, A. B. Pakhomov, and X. Yan, J. Phys. D 29, 3169 (1996).
22. J. R. Shi, Z. Sun, X. Shi, S. P. Lau, B. K. Tay, and J. Pelzl, Thin Solid Films 377-378, 269 (2000).
23. T. M. Alam, T. A. Friedmann, P. A. Schultz, and D. Sebastian, Phys. Rev. B 67, 245309 (2003).
24. M. P. Siegal, D. R. Tallant, P. N. Provencio, D. L. Overmyer, R. L. Simpson, and L. J. Martinez-Miranda, Appl. Phys. Lett. 76, 3052 (2000).
25. R. Kalish, Y. Lifshitz, K. W. Nugent, and S. Prawer, Appl. Phys. Lett. 74, 2936 (1999).
26. S. Prawer, K. W. Nugent, Y. Lifshitz, G. D. Lempert, E. Grossman, J. Kulik, I. Avigal, and R. Kalish, Diamond Relat. Mater. 5, 433 (1996).
27. D. G. McCulloch, D. R. McKenzie, S. Prawer, A. R. Merchant, E. G. Gerstner, and R. Kalish, Diamond Relat. Mater. 6, 1622 (1997).
28. F. Tuinstra and J. L. Koening, J. Chem. Phys. 53, 1126 (1970).
29. D. S. Knight and W. B. White, J. Mater. Res. 4, 385 (1989).
30. A. C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B 61, 14095 (2000).
31. M. P. Siegal, D. R. Tallant, L. J. Martinez-Miranda, J. C. Barbour, R. L. Simpson, and D. L. Overmyer, Phys. Rev. B 61, 10451 (2000).
32. M. P. Siegal, P. N. Provencio, D. R. Tallant, R. L. Simpson, B. Kleinsorge, and W. I. Milne, Appl. Phys. Lett. 76, 2047 (2000).
33. M. P. Siegal, J. C. Barbour, P. N. Provencio, D. R. Tallant, and T. A. Friedmann, Appl. Phys. Lett. 73, 759 (1998).
34. L. J. Martinez-Miranda, M. P. Siegal, and P. P. Provencio, Appl. Phys. Lett. 79, 542 (2001).
35. A. C. Ferrari, J. Robertson, M. G. Beghi, C. E. Bottani, R. Ferulano, and R. Pastorelli, Appl. Phys. Lett. 75, 1893 (1999).
36. D. G. McCulloch, N. A. Marks, D. R. McKenzie, and S. Prawer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 106, 545 (1995).
37. D. G. McCulloch, D. R. McKenzie, and S. Prawer, Philos. Mag. A 72, 1031 (1995).
38. A. Yu. Belov, Comput. Mater. Sci. 27, 30 (2003).