Reduction of threading dislocations in AlGaN layers grown on AlNsapphire templates using high-temperature GaN interlayer

Applied Physics Letters

Volumn 87, Issue 24, 2005, Pages 1-3

  Jiang, H ^a   Egawa, T ^a   Hao, M ^a   Liu, Y ^a  

^a NAGOYA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DISLOCATIONS (CRYSTALS); HIGH TEMPERATURE APPLICATIONS; METALLORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; REDUCTION;

THREADING DISLOCATION;

ALUMINUM COMPOUNDS;

EID: 28844487005     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2143126     Document Type: Article

References (13)

1. M. Razeghi, A. Yasan, R. McClintock, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, and P. Kung, Phys. Status Solidi C 1, S141 (1999).
2. H. Amano and I. Akasaki, Opt. Mater. (Amsterdam, Neth.) 19, 219 (2002).
3. J. P. Zhang, H. M. Wang, W. H. Sun, V. Adivarahan, S. Wu, A. Chitnis, C. Q. Chen, M. Shatalov, E. Kuokstis, J. W. Yang, and M. A. Khan, J. Electron. Mater. 32, 364 (2003).
4. H. Amano, M. Iwaya, N. Hayashi, T. Kashima, S. Nitta, C. Wetzel, and I. Akasaki, Phys. Status Solidi B 216, 683 (1999).
5. J. P. Zhang, H. M. Wang, M. E. Gaevski, C. Q. Chen, Q. Fareed, J. W. Yang, G. Simin, and M. Asif Khan, Appl. Phys. Lett. 80, 3542 (2002).
6. T. Shibata, K. Asai, S. Sumiya, M. Mouri, M. Tanaka, O. Oda, H. Katsukawa, H. Miyake, and K. Hiramatsu, Phys. Status Solidi C 0, 2023 (2003).
7. N. Kuwano, T. Tsuruda, Y. Kida, H. Miyake, K. Hiramatsu, and T. Shibata, Phys. Status Solidi C 0, 2444 (2003).
8. L. Sugiura, J. Appl. Phys. 81, 1633 (1997).
9. T. Metzger, R. Höpler, E. Born, O. Ambacher, M. Stutzmann, R. Stömmer, M. Schuster, H. Göbel, S. Christiansen, M. Albrecht, and H. P. Strunk, Philos. Mag. A 77, 1013 (1998), and references cited therein.
10. X. H. Zheng, H. Chen, Z. B. Yan, Y. J. Han, H. B. Yu, D. S. Li, Q. Huang, and J. M. Zhou, J. Cryst. Growth 255, 63 (2003).
11. H. Jiang, G. Y. Zhao, H. Isikawa, T. Egawa, T. Jimbo, and M. Umeno, J. Appl. Phys. 89, 1046 (2001).
12. R. Chierchia, T. Bottcher, S. Figge, M. Diesselberg, H. Heinke, and D. Hommel, Phys. Status Solidi B 228, 403 (2001).
13. J. A. Floro, D. M. Follstaedt, P. Provencio, S. J. Hearne, and S. R. Lee, J. Appl. Phys. 96, 7087 (2004).