Epitaxial Lift-Off for large area thin film III/V devices

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

Volumn 202, Issue 4, 2005, Pages 501-508

  Schermer, J J ^a   Mulder, P ^a   Bauhuis, G J ^a   Voncken, M M A J ^a   Van Deelen, J ^a   Haverkamp, E ^a   Larsen, P K ^a  

^a RADBOUD UNIVERSITY NIJMEGEN   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BIFACIAL SOLAR CELLS; EPITAXIAL LIFT-OFF (ELO) TECHNIQUE; EPITAXIAL STRUCTURES; GAAS SUBSTRATES;

DEPOSITION; EPITAXIAL GROWTH; ETCHING; SEMICONDUCTING GALLIUM ARSENIDE; SOLAR CELLS;

THIN FILMS;

EID: 25144481363     PISSN: 18626300     EISSN: 18626319     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssa.200460410     Document Type: Conference Paper

References (26)

1. M. Konagai, M. Sugimoto, and K. Takahashi, J. Cryst. Growth 45, 277 (1978).
2. E. Yablonovitch, T. Gmitter, J. P. Harbison, and R. Bhat, Appl. Phys. Lett. 51, 2222 (1987).
3. J. Maeda, Y. Sasaki, N. Dietz, K. Shibahara, S. Yokoyama, S. Miyazaki, and M. Hirose, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 1554 (1997).
4. J. J. Schermer, G. J. Bauhuis, P. Mulder, W. J. Meulemeesters, E. Haverkamp, M. M. A. J. Voncken, and P. K. Larsen, Appl. Phys. Lett. 76, 2131 (2000).
5. M. M. A. J. Voncken, J. J. Schermer, G. Maduro, G. J. Bauhuis, P. Mulder, and P. K. Larsen, Mater. Sci. Eng. B 95, 242 (2002).
6. E. Yablonovitch, D. M. Hwang, T. J. Gmitter, L. T. Florez, and J. P. Harbison, Appl. Phys. Lett. 56, 2419 (1990).
7. P. R. Hageman, G. J. Bauhuis, A. van Geelen, P. C. van Rijsingen, J. J. Schermer, and L. J. Giling, IEEE Proc. 25th Photov. Specialists Conf. (Washington, 1996), p. 57.
8. X. S. Wu, L. A. Coldren, and J. L. Merz, Electron. Lett. 21, 558 (1985).
9. F. Omnes, J.-C. Guillaume, G. Nataf, G. Jäger-Waldau, P. Vennegues, and P. Gibart, IEEE Trans. Electron Devices 43, 1806 (1996).
10. Y. Yazawa, J. Minemura, K. Tamura, S. Watahiki, T. Kitatani, and T. Warabisako, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 50, 163 (1998).
11. G. J. Bauhuis, J. J. Schermer, P. Mulder, M. M. A. J. Voncken, and P. K. Larsen, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 83, 81 (2004).
12. J. J. Schermer, P. Mulder, G. J. Bauhuis, P. K. Larsen, G. Oomen, and E. Bongers, Prog. Photovolt., Res. Appl., accepted for publication.
13. H. Schumacher, T. J. Gmitter, H. P. LeBlanc, R. Bhat, E. Yablonovitch, and M. A. Koza, Electron. Lett. 25, 1653 (1989).
14. F. Kobayashi and Y. Sekiguchi, Jpn. J. Appl. Phys. 31, L850 (1992).
15. I. Schnitzer, E. Yablonovitch, C. Caneau, T. J. Gmitter, and A. Scherer, Appl. Phys. Lett. 63, 2174 (1993).
16. Y. Sasaki, K. Katayama, T. Koishi, K. Shibahara, S. Yokoyama, S. Miyazaki, and M. Hirose, J. Electrochem. Soc. 146, 710 (1999).
17. E. Yablonovitch, E. Kapon, T. J. Gmitter, C. P. Yun, and R. Bhat, IEEE Photon. Technol. Lett. 1, 41 (1989).
18. I. Pollentier, L. Buydens, P. van Daele, and P. Demeester, IEEE Photon. Technol. Lett. 3, 115 (1991).
19. D. M. Shah, W. K. Chan, C. Caneau, T. J. Gmitter, J.-I. Song, B. P. Hong, P. F. Micelli, and F. De Rosa, IEEE Trans. Electron Devices 42, 1877 (1995).
20. T. Morf, C. Biber, and W. Bächtold, IEEE Trans. Electron Devices 45, 1407 (1998).
21. W. K. Chan, A. Yi-Yan, T. J. Gmitter, L. T. Florez, J. L. Jackel, D. M. Hwang, E. Yablonovitch, R. Bhat, and J. P. Harbison, IEEE Photon. Technol. Lett. 2, 194 (1990).
22. H. Suzuki, K. Komine, Q. Huang, and K. Hohkawa, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 3109 (1997).
23. R. Basco, A. Prabhu, K. S. Yngvesson, and K. May Lau, IEEE Trans. Electron Devices 44, 11 (1997).
24. A. Ersen, I. Schnitzer, E. Yablonovitch, and T. Gmitter, Solid State Electron. 36, 1731 (1993).
25. N. M. Jokerst, M. A. Brooke, O. Vendier, S. Wilkinson, S. Fike, M. Lee, E. Twyford, J. Cross, B. Buchanan, and S. Wills, IEEE Trans. Compon. Packag. Manuf. Technol. B 19, 97 (1996).
26. M. M. A. J. Voncken, J. J. Schermer, A. T. J. van Niftrik, G. J. Bauhuis, P. Mulder, P. K. Larsen, T. J. P. Peters, B. de Bruin, A. Klaassen, and J. J. Kelly, J. Electrochem. Soc. 151, G346 (2004).