Wafer-scale fabrication of polymer-based microdevices via injection molding and photolithographic micropatterning protocols

Analytical Chemistry

Volumn 77, Issue 16, 2005, Pages 5414-5420

  Lee, Dae Sik ^a   Yang, Haesik ^b   Chung, Kwang Hyo ^a   Pyo, Hyeon Bong ^a  

^a Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

^b Pusan National University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

MICROPATTERNING PROTOCOLS; POLYMER SUBSTRATES; POLYMER-BASED MICRODEVICES; WAFER-SCALE FABRICATION;

DEPOSITION; ETCHING; INJECTION MOLDING; LOW TEMPERATURE EFFECTS; MICROELECTRODES; PHOTOLITHOGRAPHY; POLYMERIC MEMBRANES; POLYMERS; SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE; SENSORS; SUBSTRATES;

BIOMEDICAL EQUIPMENT;

ALUMINUM OXIDE; COPOLYMER; CYCLIC OLEFIN COPOLYMER; POLYMER; UNCLASSIFIED DRUG;

ANALYTIC METHOD; ARTICLE; BIOMEDICAL MICRODEVICE; BIOSENSOR; DEVICE; ELECTROCHEMICAL ANALYSIS; ELECTRONICS; HEATING; INJECTION MOLDING; MEDICAL INSTRUMENTATION; MICROELECTRODE; PHOTOLITHOGRAPHIC MICROPATTERNING; SEMICONDUCTOR; TEMPERATURE DEPENDENCE; TEMPERATURE SENSE; THERMAL ANALYSIS;

ELECTROCHEMISTRY; MODELS, CHEMICAL; POLYMERS; TEMPERATURE;

EID: 23744449423     PISSN: 00032700     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ac050286w     Document Type: Article

References (46)

1. Vilkner, T.; Janasek, D.; Manz, A. Anal. Chum. 2004, 76, 3373-3386.
2. Mastrangelo, C. H.; Burns, M. A.; Burke, D. T. Proc. IEEE 1998, 86, 1769-1787.
3. Huang, Y.; Mather, E. L.; Bell, J. L.; Madou, M. Anal. Bioanal. Chem. 2002, 372, 49-65.
4. Tüdös, A. J.; Besselink, A. J.; Schasfoort, B. M. Lab Chip 2001, 1, 83-95.
5. Quake, S. R.; Scherer, A. Science 2000, 290, 1536-1540.
6. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Annu. Rev. Mater. Sci. 1998, 28, 153-184.
7. Madou, M.; Florkey, J. Chem. Rev. 2000, 100, 2679-2692.
8. Becker, H.; Locascio, L. E. Talanta 2002, 56, 267-287.
9. Boone, T. D.; Ricco, A J.; Fan, Z. H.; Tan, H.; Hooper, H. H.; Williams, S. J. Anal. Chem. 2002, 74, 78A-86A.
10. Burns, M. A.; Johnson, B. N.; Brahmasandra, S. N.; Handique, K.; Webster, J. R.; Krishnan, M.; Sammarco, T. S.; Man, P. M.; Jones, D.; Heldsinger, D.; Mastrangelo, C. H.; Burke, D. T. Science 1998, 282, 484-487.
11. Yang, H.; Choi, C. A.; Chung, K. H.; Jun, C. H.; Kim, Y. T. Anal. Chem. 2004, 76, 1537-1543.
12. Lee, D. S.; Park, S. H.; Yang, H.; Chung, K. H.; Yoon, T. H.; Kim, S. J.; Kim, K.; Kim, Y. T. Lab Chip 2004, 4, 401-407.
13. Mourlas, N. J.; Gilchrist, K. H.; Maluf, N. I.; Kovacs, G. T. A. Sens. Actuators, B 2002, 64, 41-47.
14. Legally, E. T.; Scherer, J. R.; Blazej, R. G.; Toriello, N. M.; Diep, B. A.; Ramchandani, M.; Sensabaugh, G. F.; Riley, L. W.; Mathies, R. A. Anal. Chem. 2004, 76, 3162-3170.
15. Paik, P.; Pamula, V. K.; Pollack, M. G.; Fair, R. B. Lab Chip 2003, 3, 28-33.
16. Ahn, C. H.; Choi, J. W.; Beaucage, G.; Nevin, J. H.; Lee, J. B.; Puntambekar, A.; Lee, J. Y. Proc. IEEE 2004, 92, 154-173.
17. Rossier, J.; Reymond, F.; Michel, P. E. Electrophoresis 2002, 23, 858-867.
18. Becker, H.; Gärtner, C. Electrophoresis 2000, 21, 12-26.
19. Ko, J. S.; Yoon, H. C.; Yang, H.; Pyo, H. B.; Chung, K. H.; Kim, S. J.; Kim, Y. T. Lab Chip 2003, 3, 106-113.
20. Buch, J. S.; Kimball, C.; Rosenberger, F.; Highsmith, W. E.; DeVoe, D. L.; Lee, C. S. Anal. Chem. 2004, 76, 874-881.
21. Grass, B.; Neyer, A.; Jöhnck, M.; Siepe, D.; Eisenbeiss, F.; Weber, G.; Hergenröder, R. Sens. Actuators, B 2001, 72, 249-258.
22. McCarley, R. L.; Vaidya, B.; Alison, S. W.; Patel, A. B.; Feng, J.; Murphy, M. C.; Soper, S. A. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 842-843.
23. Koh, C. G.; Tan, W.; Zhao, M.; Ricco, A. J.; Fan, Z. H. Anal. Chem. 2003, 75, 4591-4598.
24. Xiang, J. X.; Zhu, P.; Masuda, Y.; Koumoto, K. Langmuir 2004, 20, 3278-3283.
25. Wang, Z.; Zhang, J.; Xing, R.; Yuan, J.; Yan, D.; Han, Y. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 15278-15279.
26. Xia, Y.; Kim, E.; Mrksich, M.; Whitesides, G. M. Chem. Mater. 1996, 8, 601-603.
27. Do, J.; Choi, J.; Ahn, C. H. IEEE T. Magn. 2004, 40, 3009-3011.
28. Schienle, M.; Frey, A.; Hofmann, F.; Holzapfl, B.; Paulus, C.; Schindler-Bauer, P.; Thewes, R. IEEE Technol. Dig. ISSCC. 2004, 1, 220-221.
29. Huber, D. L.; Manginell, R. P.; Smara, M. A; Kim, B. I.; Bunker, B. C. Science 2003, 301, 352-354.
30. Ding, Z.; Fong, R. B.; Long, C. J.; Stayton, P. S.; Hoffman, A. S. Nature 2001, 411, 59-62.
31. Kopp, M. U.; De Mello, A. J.; Manz, A Science 1998, 280, 1046-1048.
32. Hühmer, A. F. R.; Landers, J. P. Anal. Chem. 2000, 72, 5507-5512.
33. Okano, K.; Yasuda, K.; Ishiwata, S. Sens. Actuators, B 2000, 64, 88-94.
34. Chen, H. J. H.; Chen, T. F.; Huang, S. R. S.; Gong, J.; Li, J. C.; Chen, W. C.; Hseu, T. H.; Hsu, I. C. Sens. Actuators, A 2003, 108, 193-200.
35. Liu, R. H.; Yang, J.; Lenigk, R.; Bonanno, J.; Grodzinski, P. Anal. Chem. 2004, 76, 1824-1831.
36. Buchholz, B. A.; Doherty, E. A. S.; Albarghouthi, M. N.; Bogdan, F. M.; Zahn, J. M.; Barren, A. E. Anal. Chem. 2001, 73, 157-164.
37. Selvaganapathy, P.; Carlen, E. T.; Mastrangelo, C. H. Sens. Actuators, A 2003, 104, 275-282.
38. Darhuber, A. A.; Valentino, J. P.; Troian, S. M.; Wagner, S. IEEE J. Microelectromech. Syst. 2003, 12, 873-879.
39. Kajiyama, T.; Miyahara, Y.; Kricka, L. J.; Wilding, P.; Graes, D. J.; Surrey, S.; Fortina, P. Genome Res. 2003, 13, 467-475.
40. Kim, K.; Yang, H.; Park, S. H.; Lee, D. S.; Kim, S. J.; Lim, Y. T.; Kim, Y. T. Chem. Commun. 2004, 1466-1467.
41. Simon, I.; Bâran, N.; Bauer, M.; Weimar, U. Sens. Actuators, B 2001, 73, 1-26.
42. Lin, Y. C.; Jen, C. M.; Huang, M. Y.; Wu, C. Y.; Lin, X. Z. Sens. Actuators, B 2001, 79, 137-143.
43. Grass, B.; Weber G.; Neyer, A.; Schilling, M.; D.; Eisenbeiss, G.; Hergenröder, R. Spectrochim. Acta. Part B 2002, 57, 1575-1583.
44. Sze, S. M. In Semiconductor Devices: physics and technology: John Wiley & Sons: New York, 1985: pp 364-380, 428-467.
45. Ritala, M.; Reskela, M. Nanotechnology 1999, 10, 19-24.
46. Lim, J. W.; Yun, S. J. Electrochem. Solid-State Lett. 2004, 7, F45-F48.