Concept for the deposition of adherent cubic boron nitride films

Thin Solid Films

Volumn 377-378, Issue , 2000, Pages 170-176

  Kulisch, W ^a   Freudenstein, R ^a   Klett, A ^a   Plass, M F ^a  

^a UNIVERSITY OF KASSEL   (Germany)

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ADHESION; COMPRESSIVE STRESS; CUBIC BORON NITRIDE; ETCHING; INTERFACES (MATERIALS); STRESS ANALYSIS; SUBSTRATES; SURFACE ROUGHNESS;

BACK-ETCHING METHODS; CANTILEVER SUBSTRATES;

PROTECTIVE COATINGS;

EID: 18744434188     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0040-6090(00)01318-3     Document Type: Article

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