Effect of thermal annealing on sputtered a-Si film

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 45, Issue SUPPL., 2004, Pages

  Kim, Do Young ^a   Cho, Hans S ^a   Park, Kyung Bae ^a   Kwon, Jang Yeon ^a   Jung, Ji Sim ^a   Noguchi, Takashi ^a,b  

^a Samsung Advanced Institute of Technology (SAIT)   (South Korea)

^b Sungkyunkwan University   (South Korea)

Author keywords

Crystallization; Sputtering

Indexed keywords

EID: 12744250260     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (20)

1. K. Hirano, N. Sotani, I. Hasegawa, T. Nouda, H. Abe and H. Hamada: Abstr. IS&T/SPIE Symp. Electronic Image: Science & Technology, 80 (1997).
2. K. H. Kim, W. S. Sohn, J. H. Oh, S. J. Park, J. Jang and S. H. Kang, J. Korean Phys. Soc. 42, 462 (2003).
3. S. J. Park, K. H. Kim, W. S. Sohn, J. H. Oh, J. Jang, S. H. Kang and B. Y. Moon, J. Korean Phys. Soc. 42, 466 (2003).
4. J. S. Im and R. S. Sposili, MRS Bull. 21, 39 (1996).
5. J. Jang, J. Y. Oh, S. K. Kim, Y. J. Choi, S. Y. Yoon and C. O. Kim, Nature 395, 481 (1998).
6. K. H. Kim, S. Y. Yoon, C. O. Kim and J. Jang, J. Korean Phys. Soc. 30, S231 (1997).
7. S. D. Brotherton, J. R. Ayres, M. J. Edwards, C. A. Fisher, C. Glaister, J. P. Gowers, D. J. McCulloch and M. Trainor, Thin Solid Films 337, 188 (1999).
8. N. D. Young, R. M. Bunn, R. W. Wilks, D. J. McCulloch, G. Harkin, S. C. Deane, M. J. Edwards and A. D. Pearson, Proc. EuroDisplay, 555 (1996).
9. D. P. Gosain, T. Noguchi and S. Usui, Jpn. J. Appl. Phys. 39, L179 (2000).
10. S. Inoue, S. Utsunomiya, T. Saeki and T. Shimoda, IEEE Trans. on Electron Dev. 49, 1353 (2002).
11. G. K. Giust and T. W. Sigmon, IEEE Electron Dev. Lett. 18, 394 (1997).
12. P. Mei, J. B. Boyce, M. Hack, R. A. Lujan, R. I. Johnson, G. B. Anderson, D. K. Fork, and S. E. Ready, Appl. Phys. Lett. 64, 1133 (1994).
13. A. Kohno, T. Sameshima, N. Sano, M. Sekiya and M. Hara, IEEE Trans. on Electron Dev. 42, 251 (1995).
14. T. Serikawa and P. Omata, Jpn. J. Appl. Phys. 39, L393 (2000).
15. D. P. Gosain, J. Westwater and S. Usui, 1997 International Workshop on Active-Matrix Liquid-Crystal Displays, 51 (1997).
16. D. Y. Kim, K. B. Park, J. Y. Kwon, J. S. Jung, W. Xianyu, Y. Park and T. Noguchi, The Proceedings of 3rd International Meeting on Information Display, 656 (2003).
17. M. Ohring, The Materials Science of Thin Films (1992).
18. S. P. Murarka, Metallization 66 (1993).
19. J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol. A 4, 3059 (1986).
20. J. A. Thornton and D. W. Hoffman, Thin Solid Films 171, 5 (1989).