Ion doping effect in laser crystallized polycrystalline silicon

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 30, Issue SUPPL. PART 1, 1997, Pages

  Kim, Ki Hyung ^a   Yoon, Soo Young ^a   Kim, Chae Ok ^a   Jang, Jin ^b  

^a Hanyang University   (South Korea)

^b Kyung Hee University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 4243499603     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (20)

1. W. E. Spear and P. G. LeComber, Solid State Commun. 17, 1193 (1975).
2. T. Sameshima, S. Usui and M. Sekiya, IEEE Electron Device Lett. 7, 276 (1986).
3. A. Kohno, T. Sameshima, N. Sano, M. Sekiya and M. Hara, IEEE Trans. Electron Devices 42, 251 (1995).
4. J. M. Jun, S. S. Yoo, J. I. Woo, K. H. Lee, H. K. Kang and J. Jang, J. Korean Phys. Soc. 26, 95 (1993).
5. H. J. Lim, B. Y. Ryu and J. Jang, Appl. Phys. Lett. 66, 2888 (1995).
6. H. Kakinuma, M. Mohri and T. Tsuruoka, Jpn. J. Appl. Phys. 33, 654 (1994).
7. D. Ballutaud, M. Aucouturier and F. Bobonneau, Appl. Phys. Lett. 49, 1620 (1986).
8. S. Malhi, H. Shichijo, S. K. Banerjee, R. Sundaresan, M. Elahy, G. P. Pollack, W. F. Richardson, A. H. Shah, L. R. Hite, R. H. Womack, P. K. Chatterjee and H. W. Lam, IEEE Trans. Electron Devices ED-32, 258 (1985).
9. N. M. Johnson, D. K. Biegelsen and M. D. Moyer, Appl. Phys. Lett. 40, 882 (1982).
10. T. Makino, H. Nakamura and T. Nakashita, J. Appl. Phys. 51, 5868 (1980).
11. G. H. Seager and D. S. Ginley, J. Appl. Phys. 52, 1050 (1981).
12. S. Hasegawa and Y. Imai, Philos. Mag. B45, 347 (1982).
13. E. Puppin, J. Vac. Sci. Technol. B5, 606 (1987).
14. Hydrogen in Semiconductors, edited by J. I. Pankove and N. M. Johnson, Semiconductors and Semimetals (Academic press. Boston, 1991), Vol 34, Ch. 6.
15. G. T. Sah, J. Y. Sun and J. J. Tzou, Appl. Phys. Lett. 43, 204 (1983).
16. G. T. Sah, J. Y. Sun and J. J. Tzou, J. Appl. Phys. 55, 1525 (1984).
17. J. I. Pankove, R. O. Wance and J. E. Berkeyheiser, Appl. Phys. Lett. 45, 1100 (1984).
18. J. I. Pankove, P. J. Zanzucchi and G. W. Magee, Appl. Phys. Lett. 46, 421 (1985).
19. S. M. Pietruszko, M. Pachocki and J. Jang, J. Non-Cryst. Solids 198-200, 73 (1996).
20. Y. Mishima, M. Takei, N. Matsumoto and T. Vematsu, J. Appl. Phys. 74, 7114 (1993).