Microstructure characterisation of ALD-grown epitaxial SnO2 thin films

Journal of Crystal Growth

Volumn 260, Issue 1-2, 2004, Pages 191-200

  Lu, J ^a   Sundqvist, J ^a   Ottosson, M ^a   Tarre, A ^b   Rosental, A ^b   Aarik, J ^b   Harsta A ^a  

^a UPPSALA UNIVERSITY   (Sweden)

^b UNIVERSITY OF TARTU   (Estonia)

Author keywords

A1. Planar defects; A1. Transmission electron microscopy; A3. Atomic layer epitaxy; B1. Oxides

Indexed keywords

ALUMINA; MICROSTRUCTURE; MORPHOLOGY; SINGLE CRYSTALS; SUBSTRATES; SURFACES; TIN COMPOUNDS; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD);

THIN FILMS;

EID: 0242413209     PISSN: 00220248     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2003.08.042     Document Type: Article

References (25)

1. Akin N., Kilaz G., İşli A.İ., Önsan Z.İ. Chem. Eng. Sci. 56:2001;881.
2. Tachibana Y., Hara K., Takano S., Sayama K., Arakawa H. Chem. Phys. Lett. 364:2002;297.
3. Hoefer U., Frank J., Fleischer M. Sensors Actuators B. 78:2001;6.
4. Dominguez J.E., Fu L., Pan X.Q. Appl. Phys. Lett. 81:2002;5168.
5. Kim D.H., Lee S.H., Kim K.H. Sensors Actuators B. 77:2001;427.
6. Ohya Y., Horinouchi K., Ban T., Takahashi Y., Murayama N. J. Ceram. Soc. Jpn. 110:2002;950.
7. Tai W.P., Oh J.H. Sensors Actuators B. 85:2002;154.
8. Montmeat P., Pijolat C., Tournier G., Viricelle J.P. Sensors Actuators B. 84:2002;148.
9. Chi K.M., Lin C.C., Lu Y.H., Liao J.H. J Chin. Chem. Soc. Taip. 47:2000;425.
10. Okajima Y., Ide T., Kikuchi K., Nakamura K.I. Sensors Mater. 10:1998;113.
11. Viirola H., Niinistö L. Thin Solid Films. 249:1994;144.
12. Suntola T. Mater. Sci. Rep. 4:1989;261.
13. Pan X.Q., Fu L., Dominguez J.E. J. Appl. Phys. 89:2001;6056.
14. Sundqvist J., Tarre A., Rosental A., Hårsta A. Chem. Vapor Deposition. 9:2003;21.
15. Rosental A., Tarre A., Gerst A., Sundqvist J., Hårsta A., Aidla A., Aarik J., Sammelselg V., Uustare T. Sensors Actuators B. 93:2003;552.
16. Aarik J., Aidla A., Mändar H., Sammelselg V. J. Crystal Growth. 340:1999;110.
17. Tarre A., Rosental A., Aidla A., Aarik J., Sundqvist J., Hårsta A. Vacuum. 67:2002;571.
18. Rosental A., Tarre A., Gerst A., Uustare T., Sammelselg V. Sensors Actuators B. 77:2001;297.
19. Williams D.B., Carter C.B. Transmission Electron Microscopy. 1996;Plenum Press, New York.
20. Huang J.Y., Park B.H., Jan D., Pan X.Q., Zhu Y.T., Jia Q.X. Philos. Mag. A. 82:2002;735.
21. Suzuki K., Ichihara M., Takeuchi S. Philos. Mag. A. 63:1991;657.
22. Zheng J.G., Pan X.Q., Schweizer M., Zhou F., Weimar U., Göpel W., Ruhle M. J. Appl. Phys. 79:1996;7688.
23. Schuisky M., Kukli K., Aarik J., Lu J., Hårsta A. J. Crystal Growth. 235:2002;293.
24. Schuisky M., Hårsta A., Aidla A., Kukli K., Kiisler A.-A., Aarik J. J. Electrochem. Soc. 147:2000;3319.
25. Tarre A., Rosental A., Sundqvist J., Hårsta A., Uustare T., Sammelselg V. Surf. Sci. 532-535:2003;514.