Enhancement of sp3 hybridized C in amorphous carbon films by Ar ion bombardment and Si incorporation

Journal of Applied Physics

Volumn 94, Issue 8, 2003, Pages 4828-4834

  Jung, Hae Suk ^a   Park, Hyung Ho ^a   Mendieta, I R ^b   Smith, D A ^b  

^a Yonsei University   (South Korea)

^b UNIVERSITY OF LEEDS   (United Kingdom)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS MATERIALS; ARGON; CHEMICAL BONDS; ELECTRIC POTENTIAL; ION BOMBARDMENT; SILICON;

CARBON FILMS;

CARBON;

EID: 0242272461     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1606511     Document Type: Article

References (27)

1. J. Robertson, Prog. Solid State Chem. 21, 199 (1991).
2. J. Robertson, Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A 342, 277 (1993).
3. P. J. Fallon, V. S. Veerasamy, C. A. Davis, J. Robertson, G. Amaratunga, W. I. Milne, and J. Koskine, Phys. Rev. B 48, 4777 (1993).
4. X. Shi, B. K. Tay, H. S. Tan, Z. Li, Y. Q. Tu, S. Silva, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 79, 7234 (1996).
5. D. R. McKenzie, Rep. Prog. Mater. 5, 388 (1996).
6. D. R. McKenzie, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1928 (1993).
7. C. A. Davis, Thin Solid Films 226, 30 (1993).
8. J. Robertson, Pure Appl. Chem. 66, 7189 (1994).
9. J. Schwan, S. Ulrich, H. Roth, H. Ehrhardt, S. R. P. Silva, J. Robertson, R. Samlenski, and R. Brenn, J. Appl. Phys. 79, 1416 (1996).
10. X. M. He, K. C. Walter, M. Nastasi, S. T. Lee, and M. K. Fung, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2143 (2000).
11. T. Ma, J. Xu, J. Du, W. Li, X. Huang, and K. Chen, J. Appl. Phys. 88, 6408 (2000).
12. W. A. Nevin, H. Yamagishi, M. Yamaguchi, and Y. Tawada, Nature (London) 368, 529 (1994).
13. A. Brenner and S. Senderoff, J. Res. Natl. Bur. Stand. 42, 105 (1949).
14. V. I. Merkulov, J. S. Lannin, C. H. Munro, S. A. Asher, V. S. Veerasamy, and W. I. Milne, Phys. Rev. Lett. 78, 4869 (1997).
15. K. W. R. Gilkes, S. Prawer, K. W. Nugent, J. Robertson, H. S. Sands, Y. Lifshitz, and X. Shi, J. Appl. Phys. 85, 7191 (1999).
16. A. C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B 64, 075414 (2001).
17. N. Savvides, J. Appl. Phys. 59, 4133 (1986).
18. B. Andre, F. Rossi, and H. Dunlop, Diamond Relat. Mater. 1, 307 (1992).
19. H. S. Jung and H. H. Park, Diamond Relat. Mater. 11, 205 (2002).
20. T. Ma, J. Xu, J. Du, W. Li, X. Huang, and K. Chen, J. Appl. Phys. 88, 6408 (1994).
21. B. Racine, A. C. Ferrari, N. A. Morrison, I. Hutchings, W. I. Milne, and J. Robertson, J. Appl. Phys. 90, 5002 (2001).
22. J. Diaz, S. Anders, X. Zhou, E. J. Moler, S. A. Kellar, and Z. Hussain, Phys. Rev. B 64, 125204 (2001).
23. E. A. Burgermeister, C. A. J. Ammerlaan, and G. Davies, J. Phys. C 13, L691 (1980).
24. H. J. Steffen, S. Marton, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 68, 1726 (1992).
25. J. Koike, D. M. Parkin, and T. E. Mitchell, Appl. Phys. Lett. 60, 1450 (1992).
26. P. Reinke and P. Oelhafen, J. Appl. Phys. 81, 2396 (1997).
27. G. M. Pharr, D. L. Callahan, S. D. McAdams, T. Y. Tsui, S. Anders, A. Anders, J. W. Ager, I. G. Brown, C. S. Bhatia, S. R. P. Suva, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 68, 779 (1996).