Nanoditches Fabricated Using a Carbon Nanotube as a Contact Mask

Nano Letters

Volumn 2, Issue 10, 2002, Pages 1061-1065

  Xu, Tao ^a   Metzger, Robert M ^a  

^a UNIVERSITY OF ALABAMA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0142038476     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl0256715     Document Type: Article

References (23)

1. Odom, T. W.; Huang, J. L.; Kim, P.; Lieber, C. M. Nature 1998, 391, 62-64.
2. Soh, H. T.; Quate, C. F.; Morpurgo, A. F.; Marcus, C. M.; Kong, J.; Dai, H. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 627.
3. Tans, S. J.; Devoret, M. H.; Dai, H.; Thess, A.; Smalley, R. E.; Geerligs, L. J.; Dekker, C. Nature 1997, 386, 474-478.
4. Postma, H.; Teepen, T.; Yao, Z.; Grifoni, M.; Dekker, C. Science 2001, 293, 76.
5. Huang, Y.; Duan, X.; Cui, Y.; Lauhon, L.; Kim, K.; Lieber, C. M. Science 2001, 294, 1317.
6. Derycke, V.; Martel, R.; Appenzeller, J.; Avouris, Ph. Nano Lett. 2001, 1, 453.
7. Tan, Y. T.; Kamiya, T.; Durrani, A. A. K.; Ahmed, H. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 1083.
8. Dai, H.; Franklin, N.; Han, J. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 1508.
9. Chen, J.; Hamon, M. A.; Hu, H.; Chen, Y.; Rao, A. M.; Eklund, P. C.; Haddon, R. C. Science 1998, 282, 95.
10. Dai, H. J.; Hafner, H.; Rinzler, A. G.; Colbert, D. T.; Smalley, R. E. Nature 1996, 384, 147.
11. Kim, P.; Lieber, C. M. Science 1999, 286, 2148.
12. Chen J.; Reed, M. A.; Rawlett, A. M.; Tour, J. M. Science 1999, 286, 1550.
13. Cui, S. D.; Primak, A.; Zarate, X.; Tomfohr, J.; Sankey, O. F.; Moore, A. L.; Moore, T. A.; Gust, D.; Harris, G.; Lindsay, S. M. Science 2001, 294, 571.
14. Xu, T.; Peterson, I. R.; Lakshmikantham, M. V.; Metzger, R. M. Angew. Chem., Intl. Ed. Engl. 2001, 40, 1749-1752.
15. Liu, K.; Avouris, Ph.; Bucchignano, J.; Martel, R.; Sun, S.; Michl, J. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 865-867.
16. Park, J.; Pasupathy, A. N.; Goldsmith, J. I.; Chang, C.; Yaish, Y.; Petta, J. R.; Rinkoski, M.; Sethna, J. P.; Abruna, H. D.; McEuen, P. L.; Ralph, D. C. Nature 2002, 417, 722.
17. Park, H.; Lim, A. K. L.; Park, J.; Alivisatos, A. P.; McEuen, P. L. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 301.
18. Hulteen, J. C.; Treichel, D. A.; Smith, M. T.; Duval, M. L.; Jensen, T. R.; Van Duyne, R. P. J. Phys. Chem. B 1999, 103, 3854.
19. Zhou, C.; Kong, J.; Dai, H. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1597.
20. Nagata, H.; Shinriki, T.; Shima, K.; Tamai, M.; Haga, E. M. J. Vac. Sci. Technol. A 1999, 17, 1018.
21. Suslick, K. S. Ultrasound: Its Chemical, Physical and Biological Effects; VCH Publishers: Weinheim, Germany, 1988; p. 130.
22. Li, W. Z.; Wen, J. G.; Ren, Z. F. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 1879.
23. Fuhrer, M. S.; Nygard, J.; Shih, L.; Forero, M.; Yoon, Y. G.; Mazzoni, M. S. C.; Choi, H. J.; Ihm, J.; Louie, S. G.; Settl, A.; McEuen, P. L. Science 2000, 288, 494.