Direct observation of voids in the vacancy excess region of ion bombarded silicon

Applied Physics Letters

Volumn 78, Issue 19, 2001, Pages 2867-2869

  Williams, J S ^a   Conway, M J ^a   Williams, B C ^a   Wong Leung, J ^a  

^a AUSTRALIAN NATIONAL UNIVERSITY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035820953     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1352662     Document Type: Article

References (19)

1. A. M. Mazzone, Phys. Status Solidi A 95, 149 (1986).
2. D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 65, 2305 (1994).
3. P. A. Stolk, J. L. Benton, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, J.-Y. Cheng, J. M. Poate, S. M. Myers, and T. E. Haynes, Appl. Phys. Lett. 68, 51 (1996).
4. J. L. Benton, S. Libertino, P. Kringhøj, D. J. Eaglesham, J. M. Poate, and S. Coffa, J. Appl. Phys. 82, 120 (1997).
5. R. A. Brown, O. Kononchuk, G. A. Rozgonyi, S. Koveshnikov, A. P. Knights, P. Simpson, and F. Gonzales, J. Appl. Phys. 84, 2459 (1998).
6. D. S. Zhou, O. W. Holland, and J. D. Budai, Appl. Phys. Lett. 63, 3580 (1993).
7. S. L. Ellingboe and M. C. Ridgway, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 127, 90 (1997).
8. W. O. Holland, L. Xie, C. Nielson, and D. S. Zhou, J. Electron. Mater. 25, 99 (1996).
9. C. Szeles, B. Nielson, O. Asoka-Kumar, K. G. Lynn, A. Anderle, T. P. Ma, and G. W. Rubloff, J. Appl. Phys. 76, 3403 (1994).
10. V. C. Venezia, D. J. Eaglesham, T. E. Haynes, A. Agarwal, D. C. Jacobson, H.-J. Gossmann, and F. H. Baumann, Appl. Phys. Lett. 73, 2980 (1998).
11. R. Kalyanaraman, T. E. Haynes, V. C. Venezia, D. C. Jacobson, H.-J. Gossmann, and C. S. Rafferty, Appl. Phys. Lett. 76, 3379 (2000).
12. R. Krause-Rehberg and H. S. Leipner, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 64, 457 (1997).
13. J. Wong-Leung, E. Nygren, and J. S. Williams, Appl. Phys. Lett. 67, 416 (1995).
14. D. M. Follstaedt, S. M. Myers, G. A. Petersen, and J. W. Medenach, J. Electron. Mater. 25, 151 (1966).
15. R. Kögler, A. Peeva, W. Anwand, G. Brauer, W. Skorupa, P. Werner, and U. Gösele, Appl. Phys. Lett. 75, 1279 (1999).
16. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, New York, 1985).
17. J. Wong-Leung, J. S. Williams, A. Kinomura, Y. Nakano, Y. Hayashi, and D. J. Eaglesham, Phys. Rev. B 59, 7990 (1999).
18. A. Uedono, T. Kitano, M. Watanabe, T. Moriya, T. Kawano, S. Tanigawa, R. Suzuki, T. Ohdaira, and T. Mikado, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 2000 (1996).
19. J. S. Williams, M. J. Conway, J. Wong-Leung, P. N. K. Deenapanray, M. Petravic, R. A. Brown, D. J. Eaglesham, and D. C. Jacobson, Appl. Phys. Lett. 75, 2424 (1999).