Choice of boron-carbon-nitrogen coating material for electron emission based on photoelectric yield measurements during x-ray absorption studies

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 19, Issue 4, 2001, Pages 1358-1365

  Jimenez I ^a   Gago, R ^a   Garcia M M ^a   Albella, J M ^a  

^a INSTITUTO DE CIENCIA DE MATERIALES DE MADRID   (Spain)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BORON COMPOUNDS; CHARACTERIZATION; CHEMICAL BONDS; COMPOSITION; ELECTRONIC STRUCTURE; ION BEAM ASSISTED DEPOSITION; IRRADIATION; LIGHT ABSORPTION; MORPHOLOGY; PHOTOEMISSION; SURFACES; X RAY SPECTROSCOPY;

EXCITATION LIGHT; TOTAL ELCTRON YIELD; X RAY ABSORPTION;

OPTICAL COATINGS;

EID: 0035535269     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.1378010     Document Type: Conference Paper

References (38)

1. A. Hart, B. S. Satyanarayana, W. I. Milne, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett. 74, 1594 (1999), and references therein.
2. F. J. Himpsel, J. A. Knapp, J. A. Van Vechten, and D. A. Eastman, Phys. Rev. B 20, 624 (1979).
3. Z. Zhang, M. Wensell, and J. Bemholc, Phys. Rev. B 51, 5291 (1995).
4. M. J. Powers, M. C. Benjamin, L. M. Porter, R. J. Nemanich, R. F. Davis, J. J. Cuomo, G. L. Doll, and S. J. Harris, Appl. Phys. Lett. 67, 3912 (1995).
5. J. Yu and E. G. Wang, Appl. Phys. Lett. 74, 2948 (1999).
6. J. Stöhr, NEXAFS Spectroscopy (Springer, Berlin, 1992).
7. B. L. Henke, J. A. Smith, and D. T. Attwood, J. Appl. Phys. 48, 1852 (1977).
8. B. L. Henke, J. Liesegang, and S. D. Smith, Phys. Rev. B 19, 3004 (1979).
9. M. M. Garcia, I. Jiménez, L. Vázquez, C. Gómez-Aleixandre, J. M. Albella, O. Sánchez, L. J. Terminello, and F. J. Himpsel, Appl. Phys. Lett. 72, 2105 (1998).
10. I. Jiménez, M. M. García, J. M. Albella, and L. J. Terminello, Appl. Phys. Lett. 73, 2911 (1998).
11. M. M. García, I. Jiménez, O. Sánchez, C. Gómez-Aleixandre, and L. Vázquez, Phys. Rev. B 61, 10383 (2000).
12. W. Zhu, G. P. Kochanski, S. Jin, and L. Seibles, J. Appl. Phys. 78, 2707 (1995).
13. A. A. Talin, L. S. Pan, K. F. M. McCarty, T. E. Felter, H. J. Doerr, and R. F. Cunshah, Appl. Phys. Lett. 69, 3842 (1996).
14. Z. H. Huang, P. H. Cutler, N. M. Minkovsky, and T. E. Sullivan, Appl. Phys. Lett. 65, 2562 (1994).
15. F. Cleri, P. Keblinski, L. Colombo, D. Wolf, and S. R. Phillpot, Europhys. Lett. 46, 671 (1999).
16. R. Gago, I. Jiménez, J. M. Albella, A. Climent-Font, D. Cáceres, I. Vergara, J. C. Banks, B. L. Doyle, and L. J. Terminello, J. Appl. Phys. 87, 8174 (2000).
17. S. Anders, J. Diaz, J. W. Ager III, R. Y. Lo, and D. B. Bogy, Appl. Phys. Leu. 71, 551 (1997).
18. J. Díaz, S. Anders, A. Cossy-Favre, M. Samant, and J. Stöhr, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2737 (1999).
19. G. A. J. Amaratunga and S. R. P. Silva, Appl. Phys. Lett. 68, 2529 (1996).
20. J. H. Moon, S. J. Chung, E. J. Han, J. Jang, J. H. Jung, B. K. Ju, and M. H. Oh, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 241 (1999).
21. K. Yamamoto, Y. Koga, K. Yase, S. Fijiara, and M. Kubota, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L230 (1997).
22. J. Hu, P. Yang, and C. M. Lieber, Phys. Rev. B 57, R3185 (1998).
23. E. Liu, X. Shi, H. S. Tan, L. K. Cheah, Z. Sun, B. K. Tay, and J. R. Shi, Surf. Coat. Technol. 121, 601 (1999).
24. Y. M. Ng, C. W. Ong, X. A. Zhao, and C. L. Choy, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 584 (1999).
25. A. K. M. S. Chowdhury, M. Monclus, D. C. Cameron, J. Gilvarry, M. J. Murphy, N. P. Barradas, and M. S. J. Hashmi, Thin Solid Films 308-309, 130 (1997).
26. S. Souto, M. Pickholz, M. C. dos Santos, and F. Alvarez, Phys. Rev. B 57, 2536 (1998).
27. N. Hellgren, M. P. Johansson, E. Broitman, L. Hultman, and J. E. Sundgren, Phys. Rev. B 59, 5162 (1999).
28. I. Jiménez, R. Gago, J. M. Albella, D. Cáceres, and I. Vergara, Phys. Rev. B 62, 4261 (2000).
29. R. Gago, I. Jiménez, J. M. Albella, F. Agulló-Rueda, D. Cáceres, I. Vergara, A. Climent-Font, T. Sajavara, J. Räisänen, and E. Raühala, Chem. Mater. 13, 129 (2001).
30. R. Gago, I. Jiménez, and J. M. Albella, Thin Solid Films 373, 277 (2000).
31. I. Jiménez, A. F. Jankowski, L. J. Terminello, D. G. J. Sutherland, J. A. Carlisle, G. L. Doll, W. M. Tong, D. K. Shuh, and F. J. Himpsel, Phys. Rev. B 55, 12025 (1997).
32. I. Jiménez, D. G. J. Sutherland, J. A. Carlisle, A. van Buuren, L. J. Terminello, and F. J. Himpsel, Phys. Rev. B 57, 13167 (1998).
33. I. Jiménez, L. J. Terminello, F. J. Himpsel, M. Grush, T. A. Calicot, and D. L. Ederer, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 101/103, 611 (1999).
34. J. A. Carlisle, E. L. Shirley, L. J. Terminello, J. J. Jia, T. Callcott, D. L. Ederer, R. C. C. Perera, and F. J. Himpsel, Phys. Rev. B 59, 7433 (1999).
35. R. Ahuja, P. A. Brühwiler, J. M. Wills, B. Johansson, N. Martensson, and O. Eriksson, Phys. Rev. B 54, 14396 (1996).
36. R. Gago, I. Jiménez, T. Sajavara, E. Raühala, and J. M. Albella, Diamond Relat. Mater. 10, 1161 (2001).
37. D. J. Kester and R. Messier, J. Appl. Phys. 72, 504 (1992).
38. P. B. Mirkarimi, K. F. McCarty, D. L. Medlin, W. G. Wolfer, T. A. Friedmann, E. J. Klaus, G. F. Cardinale, and D. G. Howitt, J. Mater. Res. 9, 2925 (1994).