Electrical characterization and metallurgical analysis of Pd-containing multilayer contacts on GaN

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 3, 2001, Pages 1242-1249

  Chor, E F ^a   Zhang, D ^a   Gong, H ^a   Chen, G L ^b   Liew, T Y F ^b  

^a NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE   (Singapore)

^b DATA STORAGE INSTITUTE   (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035423505     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1383977     Document Type: Article

References (14)

1. T. C. Shen, G. B. Gao, and H. Morkoç, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2113 (1992).
2. E. F. Chor, W. K. Chong, and C. H. Heng, J. Appl. Phys. 84, 2977 (1998).
3. E. F. Chor, D. Zhang, H. Gong, W. K. Chong, and S. Y. Ong, J. Appl. Phys. 87, 2437 (2000).
4. M. E. Lin, Z. Ma, F. Y. Huang, Z. F. Fan, L. H. Allen, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 64, 1003 (1994).
5. B. P. Luther, S. E. Mohney, T. N. Jackson, M. Asif Khan, Q. Chen, and J. W. Yang, Appl. Phys. Lett. 70, 57 (1997).
6. B. P. Luther, J. M. DeLucca, S. E. Mohney, and R. F. Karlicerk, Jr., Appl. Phys. Lett. 71, 3859 (1997).
7. J. D. Guo, C. I. Lin, M. S. Feng, F. M. Pan, G. C. Chi, and C. T. Lee, Appl. Phys. Lett. 68, 235 (1996).
8. Z. Fan, S. N. Mohammad, W. Kim, Özgür Aktas, A. E. Botchkarev, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 68, 1672 (1996).
9. S. Ruvimov et al., Appl. Phys. Lett. 69, 1556 (1996).
10. J. S. Jang, I. S. Chang, H. K. Kim, T. Y. Seong, S. Lee, and S. J. Park, Appl. Phys. Lett. 74, 70 (1999).
11. J. K. Kim, J. L. Lee, J. W. Lee, H. E. Shin, Y. J. Park, and T. Kim, Appl. Phys. Lett. 73, 2953 (1998).
12. J. K. Ho, C. S. Jong, C. C. Chiu, C. N. Huang, C. Y. Chen, and K. K. Shih, Appl. Phys. Lett. 74, 1275 (1999).
13. A. T. Ping, M. Asif Khan, and I. Adesida, J. Electron. Mater. 25, 819 (1996).
14. K. Sheu et al., J. Appl. Phys. 83, 3172 (1998).