Atomic spectral line free parameter deconvolution procedure

Physical Review E - Statistical Physics, Plasmas, Fluids, and Related Interdisciplinary Topics

Volumn 63, Issue 3, 2001, Pages

  Milosavljevic V ^a   Poparic G ^a  

^a UNIVERSITY OF BELGRADE   (Serbia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

APPROXIMATION THEORY; COMPUTER SIMULATION; CONVOLUTION; DOPPLER EFFECT; QUANTUM THEORY; VAN DER WAALS FORCES;

DECONVOLUTION; PLASMA PARAMETERS;

PLASMA THEORY;

EID: 0035272581     PISSN: 1063651X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevE.63.036404     Document Type: Article

References (52)

1. Emerging Lithography Technologies IV (SPIE, Bellingham, WA, 2000), p. 3997.
2. H. Kondo, T. Tomie, and H. Shimizu, Appl. Phys. Lett. 72, 2668 (1998).
3. X-ray Microscopy and Spectromicroscopy, edited by J. Thieme, G. Schmahl, D. Rudolph, and E. Umbach (Springer, Heidelberg, 1998).
4. T. Ditmire, R. A. Smith, J. W. G. Tisch, and M. H. R. Hutchinson, Phys. Rev. Lett. 78, 3121 (1997).
5. T. Ditmire, T. Donnelly, A. M. Rubenchik, R. W. Falcone, and M. D. Perry, Phys. Rev. A 53, 3379 (1996).
6. A. McPherson, B. D. Thompson, A. B. Borisov, K. Boyer, and C. K. Rhodes, Nature (London) 370, 631 (1994).
7. T. Ditmire, J. W. G. Tisch, E. Springate, M. B. Mason, H. Hay, R. A. Smith, J. Marangos, and M. H. R. Hutchinson, Nature (London) 386, 54 (1997).
8. M. Lezius, S. Dobosz, D. Normand, and M. Schmidt, Phys. Rev. Lett. 80, 261 (1998).
9. K. Boyer, B. D. Thompson, A. McPherson, and C. K. Rhodes, J. Phys. B 27, 4373 (1994).
10. D. Stearns, R. Rosen, and S. Vernon, Appl. Opt. 32, 6952 (1993).
11. K. Skulina, C. Alford, R. Bionta, D. Makowieki, E. Gullikson, R. Soufli, J. Kortright, and J. Underwood, Appl. Opt. 34, 3727 (1995).
12. J. Underwood, in Extreme Ultraviolet Lithography, edited by G. Kubiak and D. Kania, Vol. 4 of Trends in Optics and Photonics Series (Optical Society of America, Washington, D. C., 1996), pp. 162–166;
13. G. D. Kubiak, L. J. Bernardez, and Kevin Krenz, Proc. SPIE 3331, 81 (2000).
14. J. Murphy, D. White, A. MacDowell, and O. Wood II, Appl. Opt. 32, 6920 (1993).
15. E. Miura, H. Honda, K. Katsura, E. Takahashi, and K. Kondo, Appl. Phys. (N.Y.) 70, 783 (2000).
16. P. V. Nickles, M. Kalachnikov, P. J. Warwick, K. A. Janulewicz, W. Sandner, U. Jahnke, D. Hilscher, M. Schnürer, R. Nolte, and A. Rousse, Kvant Elektron. (Moscow) 27, 165 (1999) [Quantum Electron. 29, 444 (1999)].
17. M. Dammasch (private communication).
18. T. Wilhein, S. Rehbein, D. Hambach, M. Berglund, L. Rymell, and H. M. Hertz, Rev. Sci. Instrum. 70, 1694 (1999).
19. O. F. Hagena and W. Obert, J. Chem. Phys. 56, 1793 (1972).
20. O. F. Hagena, Surf. Sci. 106, 101 (1981);
21. O. F. Hagena, Rev. Sci. Instrum. 63, 2374 (1992).
22. J. Wormer, W. Guzielski, J. Stapelfeldt, and T. Moller, Chem. Phys. Lett. 159, 321 (1989).
23. A. J. Bell, J. M. Mestdagh, J. Berlande, X. Biquard, J. Cuvellier, A. Lallement, P. Meynadier, O. Sublemontier, and J.-P. Visticot, J. Phys. D 26, 997 (1993).
24. H. P. Birkhofer, H. Haberland, M. Winterer, and D. R. Worsnop, Ber. Bunsenges, Phys. Chem. 88, 207 (1984).
25. E. Springate, N. Hay, J. W. G. Tisch, M. B. Mason, T. Ditmire, M. H. R. Hutchinson, and J. P. Marangos, Phys. Rev. A 61, 063201 (2000).
26. A. J. Bell, J. M. Mestdagh, J. Berlande, X. Biquard, J. Cuvellier, A. Lallement, P. Meynadier, O. Sublemontier, and J-P. Visticot, J. Phys. D 26, 994 (1993).
27. M. Lewerenz, B. Schilling, and J. P. Toennies, Chem. Phys. Lett. 206, 381 (1993).
28. R. Karnbach, M. Joppien, J. Stapelfeldt, J. Wormer, and T. Moller, Rev. Sci. Instrum. 64, 2838 (1993).
29. T. Ditmire, R. A. Smith, R. S. Majoribanks, G. Kulcsar, and M. H. R. Hutchinson, Appl. Phys. Lett. 71, 166 (1997).
30. K. Kondo, A. B. Borisov, C. Jordan, A. McPherson, W. A. Schroeder, K. Boyer, and C. K. Rhodes, J. Phys. B 30, 2707 (1997).
31. J. Zweiback, T. Ditmire, and M. D. Perry, Phys. Rev. A 59, R3166 (1999).
32. J. Blackburn, P. K. Carroll, J. Costello, and G. O’Sullivan, J. Opt. Soc. Am. 73, 1325 (1983).
33. V. Kaufman, J. Sugar, J. L. Tech, J. Opt. Soc. Am. 73, 691 (1983).
34. G. O’Sullivan, J. Phys. B 15, L765 (1982).
35. M. McGeoch, Appl. Opt. 37, 1651 (1998).
36. H. Fiedorowicz, A. Bartnik, M. Szczurek, H. Daido, N. Sakaya, V. Kmetik, Y. Kato, M. Suzuki, M. Matsumura, J. Tajima, T. Nakayama, and Th. Wilhein, Opt. Commun. 163, 103 (1999).
37. M. A. Klosner and W. T. Silfast, J. Opt. Soc. Am. B 17, 1279 (2000).
38. H. Honda, E. Miura, K. Katsura, E. Takahashi, and K. Kondo, Phys. Rev. A 61, 023201 (2000);
39. B. A. M. Hansson, L. Rymell, M. Berglund, and H. M. Hertz, Microelectron. Eng. 53, 667 (2000).
40. Y. L. Shaö, T. Ditmire, J. W. G. Tisch, E. Springate, J. P. Marangos, and M. H. R. Hutchinson, Phys. Rev. Lett. 77, 3343 (1996).
41. O. F. Hagena, Surf. Sci. 106, 101 (1981).
42. http://www-cxro.lbl.gov
43. N. H. Burnett, P. B. Corkum, J. Opt. Soc. Am. B 6, 1195 (1989).
44. W. Lotz, Z. Phys. 216, 241 (1968).
45. P. B. Corkum, N. H. Burnett, and F. Brunel, Phys. Rev. Lett. 62, 1259 (1989).
46. G. Pretzler and E. E. Fill Phys. Rev. E 56, 2112 (1997).
47. E. E. Fill, J. Opt. Soc. Am. B 11, 2241 (1994).
48. G. J. Pert, J. Phys. B 32, 27 (1999).
49. V. Kumarappan, M. Krishnamurthy, D. Mathur, and L. C. Tribedi, Phys. Rev. A 63, 023203 (2001).
50. D. A. Tichenor, G. D. Kubiak, W. C. Replogle, L. E. Klebanoff, J. B. Wronosky, L. C. Hale, H. N. Chapman, J. S. Taylor, J. A. Folta, C. Montcalm, R. M. Hudyma, K. A. Goldberg, and P. Naulleau, Proc. SPIE 3997, 48 (2000).
51. E. Parra, I. Alexeev, J. Fan, K. Y. Kim, S. J. McNaught, and H. M. Milchberg, Phys. Rev. E 62, R5931 (2000).
52. B. A. M. Hansson, M. Berglund, O. Hembers, and H. M. Hertz, Proc. SPIE 3997, 729 (2000).