In situ and ex situ characterization of thin films by soft X-ray emission spectroscopy

Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena

Volumn 110, Issue , 2000, Pages 41-67

  Guo, Jinghua ^a   Skytt, Per ^b   Wassdahl, Nial ^c   Nordgren, Joseph ^a  

^a UPPSALA UNIVERSITY   (Sweden)

^b ABB CORPORATE RESEARCH   (Sweden)

^c ITE   (Sweden)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

FILM GROWTH; INTERFACES (MATERIALS); THIN FILMS; VAPOR DEPOSITION; X RAY SPECTROSCOPY;

SOFT X RAY EMISSION SPECTROSCOPY (XES);

EMISSION SPECTROSCOPY;

EID: 0034298951     PISSN: 03682048     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0368-2048(00)00156-0     Document Type: Article

References (85)

1. Parratt L.G. Rev. Mod. Phys. 31:1959;616.
2. Nordgren J., Wassdahl N. J. Electr. Spectr. Relat. Phenom. 72:1995;273.
3. Auciello O., Kraus A.R. MRS Bull. 20:1995;14.
4. Nordgren B.J. J. Electr. Spectr. Relat. Phenom. 78:1996;25.
5. Nordgren B.J. J. Phys. IV France. 7:1997;C2.
6. Nordgren J., Glans P., Gunnelin K., Guo J., Skytt P., Såthe C., Wassdahl N. Appl. Phys. A. 65:1997;97.
7. Butorin S.M., Mancini D.C., Guo J.-H., Wassdahl N., Nordgren J., Nakazawa M., Tanaka S., Uozumi T., Kotani A., Ma Y., Myano K.B., Karlin B.A., Shuh D.K. Phys. Rev. Lett. 77:1996;574-577.
8. Ma Y., Wassdahl N., Skytt P., Guo J.-H., Nordgren J., Johnson P.D., Rubensson J.-E., Böske T., Eberhardt W., Kevan S.D. Phys. Rev. Lett. 69:1992;2598.
9. Glans P., Gunnelin K., Skytt P., Guo J.-H., Wassdahl N., Nordgren J., Ågren H., Gel'mukhanov F.Kh., Warwick T. Phys. Rev. Lett. 76:1996;2448.
10. Ma Y., Skytt P., Wassdahl N., Glans P., Mancini D.C., Guo J.-H., Nordgren J. Phys. Rev. Lett. 71:1993;3725.
11. Skytt P., Glans P., Guo J.-H., Gunnelin K., Såthe C., Nordgren J., Gel'mukhanov F.Kh., Cesar A., Ågren H. Phys. Rev. Lett. 77:1996;5035.
12. Skytt P., Englund C.J., Wassdahl N., Mancini D.C., Nordgren J. SPIE X-ray and Ultraviolet Spectroscopy and Polarimetry. 2283:1994.
13. Mancini D.C., Skytt P., Nordgren J., Tägtström P. Vacuum. 46:1995;1165.
14. Skytt P., Johausson E., Wassdahl N., Wiell T., Guo J.-H., Carlsson J.-O., Nordgren J. Diamond Relat. Mater. 3:1994;1.
15. Johansson E., Skytt P., Carlsson J.O., Wassdahl N., Nordgren J. J. Appl. Phys. 79:1996;1.
16. Wiech, Beyreuther H.R., Wiech G. Phys. Chem. 79:1975;1082.
17. Skytt P., Glans P., Mancini D.C., Guo J.-H., Wassdahl N., Nordgren J., Ma Y. Phys. Rev. B. 50:1994;10457.
18. Nilsson A., Bennich P., Wiell T., Wassdahl N., Mårtensson N., Nordgren J., Björneholm O., Stöhr J. Phys. Rev. B. 51:1995;10244.
19. Liu A.M., Cohen M.L. Science. 245:1989;841.
20. Niu C., Lu Y.Z., Lieber C.M. Science. 261:1993;334.
21. Yu K.M., Cohen M.L., Haller B.B., Hansen W.L., Liu A.Y., Wu I.C. Phys. Rev. B. 49:1994;5034.
22. Li D., Chung Y.-W., Wong M.-S., Sproul W.D. J. Appl. Phys. 74:1993;219.
23. Sjöström H., Stafström S., Boman M., et al. Phys. Rev. Lett. 75:1995;1336.
24. Sjöström H., Hultman L., Sundgren J.-E., et al. J. Vac. Sci. Tech. A. 14:1996;56.
25. Bhushan B., Gupta B.K., Azarian M.H. Wear. 184:1995;734.
26. Skytt P., Guo J.-H., Wassdahl N., Nordgren J., Luo Y., Ågren H. Phys. Rev. A. 52:1995;3572.
27. Guo J.-H., Magnuson M., Såthe C., Nordgren J., Yang L., Luo Y., Ågren H., Xing K.Z., Johansson N., Salaneck W.R., Feast W.J. J. Chem. Phys. 108:1998;5990.
28. M. Magnuson, J.-H. Guo, S.M. Butorin, A. Agui, C. Såthe, J. Nordgren, A.P. Monkman, J. Chem. Phys. (1999) in press.
29. Magnuson M., Yang L., Guo J.-H., Såthe C., Agul A., Nordgren J., Luo Y., Ågren H., Johansson N., Salaneck W.R., Horsburgh L.E., Monkman A.P. Chem. Phys. 237:1998;295-304.
30. Endo K., Tatsumi T. J. Appl. Phys. 78:1995;1370.
31. Kudo H., Shinohara R., Yamada Y. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 381:1995;105.
32. Grill A., Patel V., Saenger K.L., Jahnes C., Cohen S.A., Schrott A.G., Edelstein D.C., Paraszcak J.R. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 443:1996;155.
33. Lu T.M., McDonald J.F., Dabral S., Yang G.R., You L., Bai P. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 181:1990;55.
34. Plano M.A., Kumar D., Cleary T.J. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 476:1997;213.
35. Ma Y., Yang H., Guo J.-H., Såthe C., Agui A., Nordgren J. Appl. Phys. Lett. 72:1998;3353.
36. Skytt P., Englund C.J., Mancini D.C., Wassdahl N., Nordgren J. SPIE. 2283:1994.
37. Henke B.L., Gullikson E.M., Davis J.C. At. Data Nucl. Data Tables. 54:1993;181.
38. Hecq M., Leleux J. Anal. Chem. 59:1987;440.
39. Georgsson M., Bray G., Claesson Y., Nordgren J., Ribbing C.-G., Wassdahl N. J. Vac. Sci. Technol. 9:1991;638.
40. Legrand P.B., Dauchot J.P., Hecq M., Charbonnier M., Romand M. J. Vac. Sci. Technol. 12:1994;1551.
41. Skytt P., Galnander B., Nyberg T., Nordgren J., Isberg P. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. A. 384:1997;558.
42. Becker R.S., Golovchenko J.A., Patel J.R. Phys. Rev. Lett. 50:1983;153.
43. de Bokx P.K., Urbach H.P. Rev. Sci. Instr. 65:1995;15.
44. Roberts T.A., Ko D.H., Gray K.B., Wang Y.Y., Chang R.P.H., Ogawa S. Appl. Phys. Lett. 66:1995;2054.
45. Urbach H.P., de Bokx P.K. Phys. Rev. B. 53:1996;3752.
46. Nilsson P.O., Kanski J., Thordson J.T., Andersson T.G., Nordgren J., Guo J.-H., Magnuson M. Phys. Rev. B. 52:1995;R8643.
47. Mankefors S., Nilsson P.O., Kanski J., Karlsson K. Vacuum. 49:1998;181.
48. Mankefors S., Nilsson P.O., Kauski J., Karlsson K. Phys. Rev. B. 58:1998;10551.
49. Rubensson J.-E., Mueller D., Shuker R., Erderer D.L., Zhang C.H., Jia J., Calcott T.A. Phys. Rev. Lett. 64:1990;1047.
50. Kurmaev E.Z., Wiech G. J. Non-Cryst. Solids. 70:1985;187.
51. Bruhweiler P.A., Schuatterly S.B. Phys. Rev. B. 39:1989;12649.
52. Papaconstantopoulos D.A., Klein B.M. Solid State Commun. 34:1980;511.
53. Chelikowsky J., Chadi D.J., Cohen M.L. Phys. Rev. B. 8:1973;2786.
54. J. Mankefors, P.O. Nilsson, J. Kanski, T. Andersson, K. Karlsson, A. Akane, C. Såthe, J.H. Guo, J. Nordgren, Phys. Rev. B. (1999) in press.
55. Batey J., Wright S.L. J. Appl. Phys. 59:1981;1200.
56. Katnani A.D., Bauer R.S. Phys. Rev. B. 33:1986;1106.
57. Dawson P., Moore K.J., Foxton C.T. Quantum well and superlattice physics. Dhler G.H., Schulman J.N. Proc. SPIE. Vol. 762:1987;208 SPIE, Washington. DC.
58. Stillesjö F., Ólasfsson S., Isberg P., Hjörvarsson B. J. Phys. Condens. Matter. 7:1995;8139.
59. Andersson G., Hjörvarsson B., Isberg P. Phys. Rev. B. 55:1997;1774.
60. Alefeld G. Ber. Buns. Gesell. 76:1972;746.
61. Huiberts J.N., Griessen R., Rector J.H., Wijngaarden R.J., Dekker J.P., de Groot D.G., Koeman N.J. Nature. 380:1996;231.
62. Klose F., Rehm Ch., Nagengast D., Maletta H., Weidinger A. Phys. Rev. Lett. 78:1997;1150.
63. Duda L.-C., Isberg P., Andersson P.H., Skytt P., Hjörvarsson B., Guo J.-H., Såthe C., Nordgren J. Phys. Rev. B. 55:1997;12914.
64. Hjörvarsson B., Guo J.-H., Ahuja R., Ward R.C.C., Andersson G., Eriksson O., Wells M.R., Såthe C., Agul A., Butorin S.M., Nordgren J. J. Phys.: Condens. Matter. 11:1999;L119.
65. Jehan D.A., McMorrow D.F., Cowley R.A., Ward R.C.C., Wells M.R., Hagmann N., Clausen K. Phys. Rev. B. 48:1993;5594.
66. Bhide V.G., Bhat N.V. J. Appl. Phys. 41:1970;3159.
67. Ahuja R., Johansson B., Willis J.M., Eriksson O. Appl. Phys. Lett. 71:1997;3498.
68. Alefeld G., Vlkl J. Topics in Applied Physics (Hydrogen in Metals, I and II). Vol. 29:1978;9 Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, New York.
69. Nyberg T., Skytt P., G̊alnander B., Nender C., Nordgren J., Berg S. J. Vac. Sci. Tech. 15:1997;248.
70. Zhu W., Yang P.C., Glass J.T. Appl. Phys. Lett. 63:1993;1640.
71. Yang P.C., Zhu W., Glass J.T. J. Mater. Res. 8:1993;1773.
72. Yang P.C., Zhu W., Glass J.T. J. Mater. Res. 9:1994;1063.
73. Belton D.N., Schmieg S.J. J. Appl. Phys. 66:1989;4223.
74. Belton D.N., Schmieg S.J. Thin Solid Films. 212:1992;68.
75. Sato Y., Fujita H., Ando T., Tanaka T., Kamo M. Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 342:1993;225.
76. Johausson B., Norekrans A.-S., Carisson J.-O. Diamond Relat. Mater. 2:1993;383.
77. Westwood W.D. Rossnagel S.M., Cuomo J.J., Westwood W.D. Handbook of Plasma Processing Technology. 1989;233 Noyes Publications, Park Ridge, NJ.
78. Berg S., Nender C. J. Physique IV C. 5:1995;45.
79. Berg S., Blom H.-O., Larsson T., Nender C. J. Vac. Sci. Technol. 5:1987;202.
80. Nyberg T., Skytt P., G̊alnander B., Nender C., Nordgren J., Berg S. J. Vac. Sci. Tech. A. 15:1997;145.
81. Eosenberg R.A., Frigo S.P., Simons J.K. Jap. J. Appl. Phys. 00:1994;000.
82. Zanoni R., Piancastelli M.N., Mckinley J.T., Margaritondo G. Appl. Phys. Lett. 55:1989;1020.
83. Zanoni R., Piancastelli M.N., Marsi M., Margaritondo G. Solid State Commun. 76:1990;1239.
84. Holliday J. J. Appl. Phys. 38:1967;4720.
85. Mancini D.C., et al. J. Vac. Sci. Technol. B. 8:1990;1804.