Film deposition by laser and arc technologies

Contributions to Plasma Physics

Volumn 39, Issue 5, 1999, Pages 463-472

  Schultrich, B ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR MATERIAL AND BEAM TECHNOLOGY IWS   (Germany)

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FILM DEPOSITION;

DEPOSITION;

EID: 0033449987     PISSN: 08631042     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/ctpp.2150390508     Document Type: Article

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