Generation of a velocity selected, pulsed source of hyperthermal (1-10 eV) neutral metal atoms for thin film growth studies

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 15, Issue 5, 1997, Pages 2709-2716

  Knowles, Matthew P ^b   Leone, Stephen R ^a  

^a NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY   (United States)

^b NONE

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0031533978     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580945     Document Type: Article

References (47)

1. J. W. Rabalais, A. H. Albayati, K. J. Boyd, D. Marton, J. Kulik, Z. Zhang, and W. K. Chu, Phys. Rev. B 53, 10781 (1996).
2. G. H. Gilmer, C. Roland, D. Stock, M. Jaraiz, and T. Diaz de la Rubia, Mater. Sci. Eng. B 37, 1 (1996).
3. M. Kitabatake and J. E. Greene, Thin Solid Films 272, 271 (1996).
4. R. Smith and K. Beardmore, Thin Solid Films 272, 255 (1996).
5. J. A. Sprague and C. M. Gilmore, Thin Solid Films 272, 244 (1996).
6. S. Uhlmann, T. Frauenheim, and U. Stephen, Phys. Rev. B 51, 4541 (1995).
7. H. Haberland, Z. Insepov, and M. Moseler, Phys. Rev. B 51, 11061 (1995).
8. A. J. Cox, J. J. Nainaparampil, M. F. Tabet, A. Hosseini-Tehrani, and F. K. UrbanIII, Thin Solid Films 270, 637 (1995).
9. N. E. Lee, M. Matsuoka, M. R. Sardela, F. Tian, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 80, 812 (1996).
10. J. O. Carlsson, Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 16, 161 (1990).
11. H. Korner, Thin Solid Films 175, 55 (1989).
12. D. L. Hitchman, A. D. Jobson, and L. F. T. Kwakman, Appl. Surf. Sci. 38, 312 (1991).
13. Y. T. Kim, S. K. Min, J. S. Hong, and C. K. Kim, Appl. Phys. Lett. 58, 837 (1991).
14. Q. Zhuang, K. Ishigoh, K. Tanaka, K. Kawano, and R. Nakata, Jpn. J. Appl. Phys., 1 34, L248 (1995).
15. Y. Nakata, T. Okada, and M. Maeda, Jpn. J. Appl. Phys., 1 34, 4079 (1995).
16. R. Jordan, D. Cole, J. G. Lenney, K. Mackay, and D. Givord, Appl. Surf. Sci. 86, 24 (1995).
17. R. W. Dreyfus, J. Appl. Phys. 69, 1721 (1991).
18. J. C. S. Kools, S. H. Brongersma, E. van de Riet, and J. Dieleman, Appl. Phys. B 53, 125 (1991).
19. J. C. S. Kools and J. Dieleman, J. Appl. Phys. 74, 4163 (1993).
20. D. H. Lowndes, D. B. Geohegan, A. A. Puretzky, D. P. Norton, and C. M. Rouleau, Science 273, 898 (1996).
21. J. T. Cheung and H. Sankur, CRC Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 15, 63 (1988).
22. Z. Toth, B. Hopp, Z. Kantor, F. Ignacz, T. Szorenyi, and Z. Bor, Appl. Phys. A 60, 431 (1995).
23. P. Tiwari, R. Singh, and J. Narayan, Philos. Mag. B 68, 413 (1993).
24. S. Witanachchi, K. Ahmed, P. Sakthivel, and P. Mukherjee, Appl. Phys. Lett. 66, 1469 (1995).
25. A. A. Gorbunov et al., Appl. Surf. Sci. 96, 649 (1996).
26. N. Inoue, S. Kashiwabara, S. Toshima, and R. Fujimoto, Appl. Surf. Sci. 96, 656 (1996).
27. B. Chen and M. Chen, J. Appl. Phys. 72, 4619 (1992).
28. D. Panknin, F. Eichorn, E. Wieser, W. Skorupa, W. Henrion, and J. Albrecht, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 84, 172 (1994).
29. A. Terrasi, S. Ravesi, C. Marcellino, C. Spinella, and S. Pannitteri, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2827 (1995).
30. A. Terrasi, S. Ravesi, M. G. Grimaldi, and C. Spinella, Appl. Phys. Lett. 62, 2102 (1994).
31. A. H. Al-Bayati, K. J. Boyd, D. Marton, S. S. Rodorov, J. W. Rabalais, Z. H. Zhang, and W. K. Chu, J. Appl. Phys. 76, 4383 (1994).
32. A. Bousetta, A. H. Al-Bayati, J. A. van den Berg, and D. G. Armour, Appl. Surf. Sci. 56-58, 480 (1992).
33. J. F. Friichtenicht, Rev. Sci. Instrum. 45, 51 (1974).
34. S. P. Tang, N. G. Utterback, and J. F. Friichtenicht, J. Chem. Phys. 64, 3833 (1976).
35. B. G. Wicke, S. P. Tang, and J. F. Friichtenicht, Chem. Phys. Lett. 53, 304 (1978).
36. B. G. Wicke, N. G. Utterback, S. P. Tang, and J. F. Friichtenicht, Rev. Sci. Instrum. 51, 151 (1980).
37. M. A. Kadar-Kallen and K. D. Bonin, Appl. Phys. Lett. 64, 1436 (1994).
38. M. P. Knowles and S. R. Leone, Chem. Phys. Lett. 258, 217 (1996).
39. M. P. Knowles and S. R. Leone, J. Vac. Sci. Technol. A (to be published).
40. D. J. Auerbach, Atomic and Molecular Beam Methods, edited by B. Scoles (Oxford University, New York, 1988), p. 365.
41. L. M. Cousins and S. R. Leone, J. Mater. Res. 3, 1158 (1988).
42. F. J. Adrian, J. Bohandy, B. F. Kim, A. N. Jette, and P. Thompson, J. Vac. Sci. Technol. B 5, 1490 (1987).
43. J. Bohandy, B. F. Kim, and F. J. Adrian, J. Appl. Phys. 60, 1538 (1986).
44. J. Bohandy, B. F. Kim, F. J. Adrian, and A. N. Jette, J. Appl. Phys. 63, 1158 (1988).
45. P. Mogyorosi, T. Szorenyi, K. Bali, Z. Toth, and I. Hevesi, Appl. Surf. Sci. 36, 157 (1989).
46. Z. Kantor, Z. Togh, and T. Szorenyi, Appl. Phys. A 54, 170 (1992).
47. B. J. Garrison and M. T. Miller, Chem. Phys. Lett. 146, 553 (1988).