Ion-energy effects in silicon ion-beam epitaxy

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 53, Issue 16, 1996, Pages 10781-10792

  Rabalais, J ^a   Al Bayati, A ^a   Boyd, K ^a   Marton, D ^a   Kulik, J ^a   Zhang, Z ^a   Chu, W ^a  

^a University of Houston   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001610580     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.53.10781     Document Type: Article

References (64)

1. P. C. Zal and L. J. Beckers, Appl. Phys. Lett. 41, 167 (1982).
2. R. A. Zuhr, B. R. Appleton, N. Herbots, B. C. Larson, T. S. Noggle and S. J. Pennycook, J. Vac. Sci. Technol A 5, 2135 (1987).
3. R. A. Zuhr, S. J. Pennycook, T. S. Noggle, N. Herbots, T. E. Haynes and B. R. Appleton, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 37/38, 16 (1989).
4. S. P. Withrow, K. L. More, R. A. Zuhr and T. E. Haynes, Vacuum 39, 1065 (1989).
5. T. E. Haynes, R. A. Zuhr, S. J. Pennycook and B. R. Appleton, Appl. Phys. Lett. 54, 1439 (1989).
6. N. Herbots, B. R. Appleton, T. S. Noggle, R. A. Zuhr and S. J. Pennycook, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 13, 250 (1986).
7. K. J. Orrman-Rossiter, A. H. Al-Bayati, D. G. Armour, S. E. Donnely, and J. A. van den Berg, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 59/60, 197 (1991).
8. K. G. Orrman-Rossiter, D. R. G. Mitchell, S. E. Donnelly, C. J. Rossouw, S. R. Glanvill, P. R. Miller, A. H. Al-Bayati, J. A. van den Berg and D. G. Armour, Philos. Mag. Lett. 61, 311 (1990).
9. A. H. Al-Bayati, K. J. Boyd, D. Marton, S. S. Todorov, J. W. Rabalias, Z. H. Zhang and W. K. Chu, J. Appl. Phys. 76, 4383 (1994).
10. A. H. Al-Bayati, S. S. Todorov, K. J. Boyd, D. Marton and J. W. Rabalais, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1639 (1995).
11. K. Miyake, in Beam-Solid Interactions: Physical Phenomena, edited by J. A. Knapp, P. Børgesen, and R. A. Zuhr, MRS Symposia Proceedings No. 157 (Materials Research Society, Pittsburgh, 1987), p. 92;
12. K. Miyake and T. Tokuyama, Thin Solid Films 92, 123 (1982).
13. M. Matsuoka and S. Tohno, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 305 (1995).
14. M. V. R. Murty, H. A. Atwater, A. J. Kellock, and J. E. E. Baglin, Appl. Phys. Lett. 62, 2566 (1993).
15. T. Ohmi, T. Ichikawa, H. Iwabuchi and T. Shibata, J. Appl. Phys. 66, 4756 (1989).
16. C.-H. Choi, L. Hultman and S. A. Barnett, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1587 (1990).
17. M. V. R. Murty and H. A. Atwater, Phys. Rev. B 49, 8483 (1994).
18. S. Aisenberg and R. Chabot, J. Appl. Phys. 42, 2953 (1971).
19. R. B. Fair, J. Appl. Phys. 42, 3176 (1971).
20. J. Amano, Thin Solid Films 92, 115 (1982).
21. J. Amano and R. P. W. Lawson, J. Vac. Sci. Technol. 14, 831 (1977).
22. J. Amano, P. Bryce and R. P. Lawson, J. Vac. Sci. Technol. 13, 591 (1976).
23. K. Yagi, S. Tamura and T. Tokyama, Jpn. J. Appl. Phys. 16, 245 (1977).
24. T. Miyazawa, S. Misawa, S. Yoshida and S. Gonda, J. Appl. Phys. 55, 188 (1984).
25. T. Miyazawa, S. Yoshida, S. Misawa, S. Gonda and J. Ohdomari, Appl. Phys. Lett. 45, 380 (1984).
26. S. Tamura, M. Hyouzho, K. Yokota and S. Katayama, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 37/38, 862 (1989).
27. S. R. Kasi, H. Kang and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 59, 75 (1987).
28. S. R. Kasi, H. Kang and J. W. Rabalais, J. Chem. Phys. 88, 5914 (1988)
29. S. R. Kasi, H. Kang and J. W. Rabalais, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1788 (1988)
30. S. R. Kasi, M. A. Kilburn, H. Kang, J. W. Rabalais, L. Tavernini and P. Hochmann, J. Chem. Phys. 88, 5902 (1988).
31. Y. Lifshitz, G. D. Lempert, S. Rotter, I. Avigal, C. Uzan-Saguy, R. Kalish, J. Kulik, D. Marton and J. W. Rabalais, Diamond Relat. Mater. 3, 542 (1994).
32. Y. Lifshitz, G. D. Lempert and E. Grosman, Phys. Rev. Lett. 72, 2759 (1994).
33. C. Weissmantel, J. Vac. Sci. Technol. 18, 179 (1981).
34. T. Ohnishi, Y. Yoshida, Y. Hirofuji and H. Iwasaki, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 37/38, 850 (1989).
35. Y. Yoshida, T. Ohnishi, Y. Hirofuji, H. Iwasaki and T. Ikeda, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 37/38, 866 (1989).
36. J. Y. Tsao, E. Chason, K. M. Horn, D. K. Brice and S. T. Picraux, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 39, 72 (1989).
37. S. S. Todorov, D. Marton, K. J. Boyd, A. H. Al-Bayati and J. W. Rabalais, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 3192 (1994).
38. L. A. Miller, D. K. Brice, A. K. Prinja and S. T. Picraux, Radiat. Eff. Def. Solids 129, 127 (1994).
39. L. A. Miller, D. K. Brice, A. K. Prinja and S. T. Picraux, Phys. Rev. B 49, 16t953 (1994).
40. Z. Zhang and H. Meitiu, Surf. Sci. 245, 353 (1991).
41. R. Smith, R. Tsu, T. R. Bramblett and J. E. Greene, Phys. Rev. B 40, 93 (1989).
42. B. W. Dodson, Solid State Mater. Sci. 16, 115 (1990).
43. M. Kitabatake, P. Fons and J. E. Greene, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 3726 (1990).
44. H.-P. Kaukonen and R. M. Nieminen, Phys. Rev. Lett. 68, 620 (1992).
45. T. Ohashi, K. Miyake and K. Ohashi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 91, 593 (1994).
46. D. J. Eaglesham, H.-J. Gossmann and M. Cerullo, Phys. Rev. Lett. 65, 1990 (1990).
47. D. P. Adams, S. M. Yalisove and D. J. Eaglesham, Appl. Phys. Lett. 63, 3571 (1993).
48. D. J. Eaglesham, J. Appl. Phys. 77, 3597 (1995).
49. P. Asoka-Kumar, S. Szpala, B. Nielsen, Cs. Szeles and K. G. Lynn, W. A. Lanford, C. A. Shepard, and H.-J. Gossmann, Phys. Rev. B 51, 4630 (1995).
50. S. H. Wolff, S. Wagner, J. C. Bean, R. Hull and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 55, 2017 (1989).
51. A. H. Al-Bayati, D. Marton, S. S. Todorov, K. J. Boyd, J. W. Rabalais, D. G. Armour, J. S. Gordon and G. Duller, Rev. Sci. Instrum. 65, 2680 (1994).
52. R. J. Hamers, R. M. Tromp and J. E. Demouth, Phys. Rev. B 34, 5343 (1986).
53. W. K. Liu, S. M. Mokler, N. Ohtani, C. Roberts and B. A. Joyce, Surf. Sci. 264, 301 (1992).
54. C.-H. Choi, R. Ai and S. A. Barnett, Phys. Rev. Lett. 67, 2826 (1991).
55. S. V. Hattangady, J. B. Posthill, G. G. Fountain, R. A. Rudder, M. J. Mantini and R. J. Markunas, Appl. Phys. Lett. 59, 339 (1991).
56. J. A. Roth, G. L. Olson, D. C. Jacobson and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 57, 1340 (1990).
57. L. Csepregi, J. W. Mayer and T. W. Sigmon, Phys. Lett. 54A, 157 (1975).
58. J. W. Rabalais, J. N. Chen, R. Kumar and M. Narayana, J. Chem. Phys. 83, 6489 (1985).
59. Y. Lifshitz, S. R. Kasi and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 62, 1290 (1989).
60. Y. Lifshitz, S. R. Kasi and J. W. Rabalais, Phys. Rev. B 41, 10t468 (1990).
61. K. A. Jackson, J. Mater. Res. 3, 1218 (1988).
62. Y. T. Lu, Z. Zhang and H. Metiu, Surf. Sci. 257, 199 (1991).
63. G. Brocks, P. J. Kelly and R. Car, Phys. Rev. Lett. 66, 1729 (1991).
64. E. K. F. Dang and R. J. Gooding, Phys. Rev. Lett. 74, 3848 (1995).