SCOPUS 정보 검색 플랫폼 - 논문 보기

메뉴 건너뛰기

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 18, 1998, Pages 2289-2291

Native point defects in Si with a CoSi2 film: Single crystal versus polycrystalline

(3) Herner, S B a Gossmann, H J a Tung, R T a

a LUCENT TECHNOLOGIES (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0009748027 PISSN: 00036951 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1063/1.121275 Document Type: Article

Times cited : (15)

References (22)

1
- 33746343244
- P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. 61, 289 (1989).
- (1989) Rev. Mod. Phys. , vol.61 , pp. 289
- Fahey, P.M.¹ Griffin, P.B.² Plummer, J.D.³

2
- 0013032063
- S. B. Herner, K. S. Jones, H.-J. Gossmann, R. T. Tung, J. M. Poate, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. 68, 2870 (1996).
- (1996) Appl. Phys. Lett. , vol.68 , pp. 2870
- Herner, S.B.¹ Jones, K.S.² Gossmann, H.-J.³ Tung, R.T.⁴ Poate, J.M.⁵ Luftman, H.S.⁶

3
- 0027703140
- K. Maex, Mater. Sci. Eng., R. 11, 53 (1993).
- (1993) Mater. Sci. Eng., R. , vol.11 , pp. 53
- Maex, K.¹

4
- 0026682420
- H. Jiang, C. M. Osburn, P. Smith, Z.-G. Xiao, D. Griffis, G. Mcguire, and G. A. Rozgonyi, J. Electrochem. Soc. 139, 196 (1992);
- (1992) J. Electrochem. Soc. , vol.139 , pp. 196
- Jiang, H.¹ Osburn, C.M.² Smith, P.³ Xiao, Z.-G.⁴ Griffis, D.⁵ McGuire, G.⁶ Rozgonyi, G.A.⁷

5
- 0026712067
- H. Jiang, C. M. Osburn, Z.-G. Xiao, G. McGuire, B. Patnaik, N. Parikh, and M. Swanson, 139, 206 (1992);
- (1992) J. Electrochem. Soc. , vol.139 , pp. 206
- Jiang, H.¹ Osburn, C.M.² Xiao, Z.-G.³ McGuire, G.⁴ Patnaik, B.⁵ Parikh, N.⁶ Swanson, M.⁷

6
- 0026715693
- H. Jiang, C. M. Osburn, G. Mcguire, and G. A. Rozgonyi, 139, 211 (1992).
- (1992) J. Electrochem. Soc. , vol.139 , pp. 211
- Jiang, H.¹ Osburn, C.M.² McGuire, G.³ Rozgonyi, G.A.⁴

7
- 0029344424
- E. C. Jones, N. W. Cheung, and D. B. Fraser, J. Electron. Mater. 24, 863 (1995).
- (1995) J. Electron. Mater. , vol.24 , pp. 863
- Jones, E.C.¹ Cheung, N.W.² Fraser, D.B.³

8
- 0012980012
- S. B. Herner, K. S. Jones, H.-J. Gossmann, J. M. Poate, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. 68, 1687 (1996).
- (1996) Appl. Phys. Lett. , vol.68 , pp. 1687
- Herner, S.B.¹ Jones, K.S.² Gossmann, H.-J.³ Poate, J.M.⁴ Luftman, H.S.⁵

9
- 0042717637
- S. B. Herner, K. S. Jones, H.-J. Gossmann, R. T. Tung, J. M. Poate, and H. S. Luftman, J. Appl. Phys. 82, 583 (1997).
- (1997) J. Appl. Phys. , vol.82 , pp. 583
- Herner, S.B.¹ Jones, K.S.² Gossmann, H.-J.³ Tung, R.T.⁴ Poate, J.M.⁵ Luftman, H.S.⁶

10
- 0019070057
- A. H. King and D. A. Smith, Philos. Mag. A 42, 495 (1980).
- (1980) Philos. Mag. a , vol.42 , pp. 495
- King, A.H.¹ Smith, D.A.²

11
- 0013031069
- S. M. Hu, Appl. Phys. Lett. 51, 308 (1987).
- (1987) Appl. Phys. Lett. , vol.51 , pp. 308
- Hu, S.M.¹

12
- 21544470054
- in press
- R. T. Tung and K. Inoue, Inst. Phys. Conf. Ser. (in press).
- Inst. Phys. Conf. Ser.
- Tung, R.T.¹ Inoue, K.²

13
- 0343958364
- P. Fahey, G. Barbuscia, M. Moslehi, and R. W. Dutton, Appl. Phys. Lett. 46, 784 (1985).
- (1985) Appl. Phys. Lett. , vol.46 , pp. 784
- Fahey, P.¹ Barbuscia, G.² Moslehi, M.³ Dutton, R.W.⁴

14
- 0001528106
- H.-J. Gossmann, T. E. Haynes, P. A. Stolk, D. C. Jacobson, G. H. Gilmer, J. M. Poate, H. S. Luftman, T. K. Mogi, and M. O. Thompson, Appl. Phys. Lett. 71, 3862 (1997).
- (1997) Appl. Phys. Lett. , vol.71 , pp. 3862
- Gossmann, H.-J.¹ Haynes, T.E.² Stolk, P.A.³ Jacobson, D.C.⁴ Gilmer, G.H.⁵ Poate, J.M.⁶ Luftman, H.S.⁷ Mogi, T.K.⁸ Thompson, M.O.⁹

15
- 21544471898
- H.-J. Gossmann, F. C. Unterwald, and H. S. Luftman, J. Appl. Phys. 73, 8237 (1993).
- (1993) J. Appl. Phys. , vol.73 , pp. 8237
- Gossmann, H.-J.¹ Unterwald, F.C.² Luftman, H.S.³

16
- 0022699183
- A. Ishizaka and Y. Shiraki, J. Electrochem. Soc. 133, 666 (1986).
- (1986) J. Electrochem. Soc. , vol.133 , pp. 666
- Ishizaka, A.¹ Shiraki, Y.²

17
- 0001602280
- R. T. Tung, Appl. Phys. Lett. 68, 3461 (1996).
- (1996) Appl. Phys. Lett. , vol.68 , pp. 3461
- Tung, R.T.¹

18
- 0009596955
- S. B. Herner, B. P. Gila, K. S. Jones, H.-J. Gossmann, J. M. Poate, and H. S. Luftman, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3593 (1996).
- (1996) J. Vac. Sci. Technol. B , vol.14 , pp. 3593
- Herner, S.B.¹ Gila, B.P.² Jones, K.S.³ Gossmann, H.-J.⁴ Poate, J.M.⁵ Luftman, H.S.⁶

19
- 3843125144
- H.-J. Gossmann, A. M. Vredenberg, C. S. Rafferty, H. S. Luftman, F. C. Unterwald, D. C. Jacobson, T. Boone, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 74, 3159 (1993).
- (1993) J. Appl. Phys. , vol.74 , pp. 3159
- Gossmann, H.-J.¹ Vredenberg, A.M.² Rafferty, C.S.³ Luftman, H.S.⁴ Unterwald, F.C.⁵ Jacobson, D.C.⁶ Boone, T.⁷ Poate, J.M.⁸

20
- 0041782286
- T. K. Mogi, M. O. Thompson, H.-J. Gossmann, J. M. Poate, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. 69, 1273 (1996).
- (1996) Appl. Phys. Lett. , vol.69 , pp. 1273
- Mogi, T.K.¹ Thompson, M.O.² Gossmann, H.-J.³ Poate, J.M.⁴ Luftman, H.S.⁵

21
- 0001705158
- H.-J. Gossmann, G. H. Gilmer, C. S. Rafferty, F. C. Unterwald, T. Boone, J. M. Poate, H. S. Luftman, and W. Frank, J. Appl. Phys. 77, 1948 (1995).
- (1995) J. Appl. Phys. , vol.77 , pp. 1948
- Gossmann, H.-J.¹ Gilmer, G.H.² Rafferty, C.S.³ Unterwald, F.C.⁴ Boone, T.⁵ Poate, J.M.⁶ Luftman, H.S.⁷ Frank, W.⁸

22
- 0000056757
- J. D. Rittner, D. N. Seidman, and K. L. Merkle, Phys. Rev. B 53, R4241 (1996).
- (1996) Phys. Rev. B , vol.53 , pp. 4241
- Rittner, J.D.¹ Seidman, D.N.² Merkle, K.L.³

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.