The influence of TiSi2 and CoSi2 growth on Si native point defects: The role of the diffusing species

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 20, 1996, Pages 2870-2872

  Herner, S B ^a   Jones, K S ^a   Gossmann, H J ^b   Tung, R T ^b   Poate, J M ^b   Luftman, H S ^b  

^a University of Florida   (United States)

^b LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0013032063     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.116352     Document Type: Article

References (19)

1. P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. AIP 61, 289 (1989).
2. K. Maex, Mater. Sci. Eng. INS R11, 1 (1993).
3. S. B. Herner, K. S. Jones, H.-J. Gossmann, J. M. Poate, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. AIP 68, 1687 (1996).
4. W. K. Chu, S. S. Lau, J. W. Mayer, H. Müller, and K. N. Tu, Thin Solid Films INS 25, 393 (1975).
5. D. S. Wen, P. L. Smith, C. M. Osburn, and G. A. Rozgonyi, Appl. Phys. Lett. AIP 51, 1182 (1987).
6. G. J. van Gurp and C. Lagnereis, J. Appl. Phys. AIP 46, 4301 (1975).
7. P. Fahey, G. Barbuschia, M. Moslehi, and R. W. Dutton, Appl. Phys. Lett. AIP 46, 784 (1985).
8. T. Y. Tan and U. Gösele, Appl. Phys. A INS 37, 1 (1985).
9. H.-J. Gossmann, C. S. Rafferty, H. S. Luftman, F. C. Unterwald, T. Boone, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. AIP 63, 639 (1993).
10. H.-J. Gossmann, F. C. Unterwald, and H. S. Luftman, J. Appl. Phys. AIP 73, 8237 (1993).
11. A. E. Morgan, E. K. Broadbent, and A. H. Reader, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. INS 52, 279 (1986).
12. S. B. Desu and J. A. Taylor, J. Am. Ceram. Soc. INS 73, 509 (1990).
13. H.-J. Gossmann, A. M. Vrendenberg, C. S. Rafferty, H. S. Luftman, F. C. Unterwald, D. C. Jacobson, T. Boone, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. AIP 74, 3150 (1993).
14. M. R. Pinto, D. M. Boulin, C. S. Rafferty, R. K. Smith, W. M. Coughran, Jr., I. C. Kizilyalli, and M. J. Thoma, Proc. IEDM 92, 923 (1992).
15. H.-J. Gossmann, C. S. Rafferty, F. C. Unterwald, T. Boone, T. K. Mogi, M. O. Thompson, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. AIP 67, 1558 (1995).
16. H. Zimmerman and H. Ryssel, Appl. Phys. A INS 55, 121 (1992).
17. J. W. Honeycutt, Ph.D. thesis, North Carolina State University, 1992.
18. H. Jeon, C. A. Sukow, J. W. Honeycutt, G. A. Rozgonyi, and R. J. Nemanich, J. Appl. Phys. AIP 71, 4269 (1992).
19. Z. G. Xiao, J. W. Honeycutt, and G. A. Rozgonyi, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. INS 260, 429 (1992).