Point defects in Si after formation of a TiSi2 film: Evidence for vacancy supersaturation and interstitial depletion

Applied Physics Letters

Volumn 68, Issue 12, 1996, Pages 1687-1689

  Herner, S B ^a   Jones, K S ^a   Gossmann, H J ^b   Poate, J M ^b   Luftman, H S ^b  

^a University of Florida   (United States)

^b LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0012980012     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.115906     Document Type: Article

References (17)

1. K. Maex, Mater. Sci. Eng. R11, 1 (1993).
2. P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. 61, 289 (1989).
3. P. Fahey, G. Barbuschia, M. Moslehi, and R. W. Dutton, Appl. Phys. Lett. 46, 784 (1985).
4. T. Y. Tan and U. Gösele, Appl. Phys. A 37, 1 (1985).
5. H.-J. Gossmann, C. S. Rafferty, H. S. Luftman, F. C. Unterwald, T. Boone, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 63, 639 (1993).
6. J. W. Honeycutt and G. A. Rozgonyi, Appl. Phys. Lett. 58, 1302 (1991).
7. M. Wittmer, P. Fahey, G. J. Scilla, S. S. Iyer, and M. Tejwani, Phys. Rev. Lett. 66, 632 (1991).
8. P. Fahey and M. Wittmer, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 163, 529 (1990).
9. H.-J. Gossmann, F. C. Unterwald, and H. S. Luftman, J. Appl. Phys. 73, 8237 (1993).
10. H.-J. Gossmann, A. M. Vrendenberg, C. S. Rafferty, H. S. Luftman, F. C. Unterwald, D. C. Jacobson, T. Boone, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 74, 3150 (1993).
11. M. R. Pinto, D. M. Boulin, C. S. Rafferty, R. K. Smith, W. M. Coughran, Jr., I. C. Kizilyalli, and M. J. Thoma, Proc. IEDM 92, 923 (1992).
12. C. A. Sukow and R. J. Nemanich, J. Mater. Res. 9, 1214 (1994).
13. H. Jeon, C. A. Sukow, J. W. Honeycutt, G. A. Rozgonyi, and R. J. Nemanich, J. Appl. Phys. 71, 4269 (1992).
14. W. Lur, J. Y. Cheng, C. H. Chu, M. H. Wang, T. C. Lee, Y. J. Wann, W. Y. Chao, and L. J. Chen, Nucl. Instrum. Methods B 39, 297 (1989).
15. D. S. Wen, P. L. Smith, C. M. Osburn, and G. A. Rozgonyi, Appl. Phys. Lett. 51, 1182 (1987).
16. K. L. Saenger, J. C. Cabral, L. A. Clevenger, R. A. Roy, and S. Wind, J. Appl. Phys. 78, 7040 (1995).
17. H.-J. Gossmann, C. S. Rafferty, F. C. Unterwald, T. Boone, T. K. Mogi, M. O. Thompson, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. 67, 1558 (1995).