Direct evidence for 8-interstitial-controlled nucleation of extended defects in c-Si

Applied Physics Letters

Volumn 77, Issue 26, 2000, Pages 4322-4324

  Schiettekatte, F ^a   Roorda, S ^a   Poirier, R ^a   Fortin, M O ^a   Chazal, S ^a   Heliou R ^a  

^a UNIVERSITÉ DE MONTRÉAL   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0008650958     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1336163     Document Type: Article

References (18)

1. S. T. Pantelides. Deep Centers in Semiconductors (Gordon and Breach, New York, 1986).
2. J. Mayer, L. Erikson, and J. A. Davies, Ion Implantation in Semiconductors (Academic, New York, 1970).
3. M. D. Giles, J. Electrochem. Soc. 138, 1160 (1991).
4. J. Li and K. S. Jones, Appl. Phys. Lett. 73, 3748 (1998).
5. J. L. Benton, S. Libertino, P. Kringhøj, D. J. Eaglesham, J. M. Poate, and S. Coffa, J. Appl. Phys. 82, 120 (1997).
6. Y. H. Lee, Appl. Phys. Lett. 73, 1119 (1998).
7. S. Libertino, J. L. Benton, S. Coffa, and D. J. Eaglesham, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 504, 3 (1999).
8. S. Coffa, S. Libertino, and C. Spinella, Appl. Phys. Lett. 76, 321 (2000).
9. J. Kim, F. Kirchhoff, J. W. Wilkins, and F. S. Khan, Phys. Rev. Lett. 84, 503 (2000).
10. M. M. De Souza, M. P. Chichkine, and E. M. Sankara Narayanan, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 610, B1 1.3.1 (2000).
11. N. E. B. Cowern, G. Mannino, P. A. Stolk, F. Roozeboom, H. G. A. Huizing, J. G. M. van Berkum, F. Cristiano, A. Claverie, and M. Jaraíz, Phys. Rev. Lett. 82, 4460 (1999).
12. M. Wright Jenkins, J. Electrochem. Soc. 124, 757 (1977).
13. D. J. Stirland, Appl. Phys. Lett. 53, 2432 (1988).
14. F. Schiettekatte, S. Roorda, R. Poirier, M. O. Fortin, S. Chazal, and R. Héliou, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 164-165, 425 (2000).
15. M. J. Caturla, T. D. de la Rubia, and G. H. Gilmer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 106, 1 (1995).
16. L. J. Lewis and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 54, 1459 (1996).
17. M. Jaraíz, G. H. Gilmer, J. M. Poate, and T. D. de la Rubia, Appl. Phys. Lett. 68, 409 (1996).
18. R. J. Schreutelkamp, J. S. Custer, J. R. Liefting, W. X. Lu, and F. W. Saris, Mater. Sci. Rep. 6, 275 (1991).