High rate and selective etching of GaN, AlGaN, and AlN using an inductively coupled plasma

Applied Physics Letters

Volumn 71, Issue 25, 1997, Pages 3631-3633

  Smith, S A ^a,b   Wolden, C A ^a   Bremser, M D ^a   Hanser, A D ^a   Davis, R F ^a   Lampert, W V ^b  

^a Campus Box 7908   (United States)

^b AIR FORCE RESEARCH LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001449046     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120463     Document Type: Article

References (14)

1. R. F. Davis, Proc. IEEE 79, 702 (1991).
2. H. Morkoç, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Suerdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. 76, 1363 (1994).
3. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, F. Ren, J. R. Lothian, P. W. Wisk, and A. Katz, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 1772 (1993).
4. R. J. Shul, S. P. Kilcoyne, M. Hagerott Crawford, J. E. Parmeter, C. B. Vartuli, C. R. Abernathy, and S. J. Pearton, Appl. Phys. Lett. 66, 1761 (1995).
5. M. E. Lin, Z. F. Fan, Z. Ma, L. H. Allen, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 64, 887 (1994).
6. G. F. McLane, T. Monahan, D. W. Eckart, S. J. Pearton, and C. R. Abernathy, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1046 (1996).
7. C. B. Vartuli, S. J. Pearton, J. W. Lee, J. Hong, T. D. Mackenzie, C. R. Abernathy, and R. J. Shul, Appl. Phys. Lett. 69, 1426 (1996).
8. R. J. Shul, G. B. McClellan, S. A. Casalnuovo, D. J. Rieger, S. J. Pearton, C. Constatine, C. Barratt, R. F. Karlicek, Jr., C. Tran, and M. Schurman, Appl. Phys. Lett. 69, 1119 (1996).
9. C. B. Vartuli, S. J. Pearton, J. W. Lee, A. Y. Polyakov, M. Shin, D. W. Greve, M. Skronowski, and R. J. Shul, Electrochem. Soc. Interface 144, 2146 (1997).
10. C. B. Vartuli, S. J. Pearton, J. D. Mackenzie, C. R. Abernathy, and R. J. Shul, Electrochem. Soc. Interface 143, L246 (1996).
11. E. R. Lory, Solid State Technology (Nov.), 117 (1984).
12. A. D. Hanser, C. A. Wolden, W. G. Perry, R. Therrien, and R. F. Davis (unpublished).
13. M. D. Bremser, W. G. Perry, T. Zheleva, N. V. Edwards, O. H. Nam, N. Parikh, D. E. Aspnes, and R. F. Davis, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 1, 8 (1996).
14. R. J. Shul, R. D. Briggs, S. J. Pearton, C. B. Vartuli, C. R. Abernathy, J. W. Lee, C. Constantine, and C. Barratt, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 969 (1996).