X-ray scattering study of interfacial roughness correlation in Mo/Si multilayers fabricated by ion beam sputtering

Journal of Applied Physics

Volumn 87, Issue 10, 2000, Pages 7255-7260

  Ulyanenkov, A ^a,c   Matsuo, R ^a   Omote, K ^a   Inaba, K ^a   Harada, J ^a   Ishino, M ^b   Nishii, M ^b   Yoda, O ^b  

^a RIGAKU CORPORATION   (Japan)

^b JAPAN ATOMIC ENERGY AGENCY   (Japan)

^c INSTITUTE FOR NUCLEAR PROBLEMS   (Belarus)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001233880     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.372977     Document Type: Article

References (36)

1. M. B. Stearns, C.-H. Chang, and D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71, 187 (1992).
2. D. G. Stearns, D. P. Gaines, D. W. Sweeney, and E. M. Gullikson, J. Appl. Phys. 84, 1003 (1998).
3. D. G. Stearns, M. B. Stearns, Y. Cheng, J. H. Stith, and N. M. Ceglio, J. Appl. Phys. 67, 2415 (1990).
4. D. G. Stearns, R. S. Rosen, and S. P. Vernon, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2662 (1991).
5. J. M. Slaughter et al., J. Appl. Phys. 76, 2144 (1994).
6. M. Yanagihara, J. Cao, M. Yamamoto, A. Arai, S. Nakayama, T. Mizuide, and T. Namioka, Rev. Sci. Instrum. 60, 2014 (1989).
7. E. Etoh, N. Hoshi, T. Yonemitsu, H. A. Durand, J.-J. Delaunay, K. Ito, I. Yamada, and I. Kataoka, Proc. SPIE 1546, 544 (1991).
8. K. Ito, K. Nishimoto, K. Watanabe, K. Sekine, K. Etoh, N. Hoshi, I. Kataoka, and F. Widman, Proceedings IUMRS 1991, p. 133.
9. E. Spiller, D. Stearns, M. Krumrey, J. Appl. Phys. 74, 107 (1993).
10. J. B. Kortright, J. Appl. Phys. 70, 3620 (1991).
11. D. E. Savage, J. Kleiner, N. Schimke, Y.-H. Phang, T. Jankowski, J. Jacobs, R. Kariotis, and M. G. Lagally, J. Appl. Phys. 69, 1411 (1991).
12. Z. H. Ming, A. Krol, Y. L. Soo, Y. H. Kao, J. S. Park, and K. L. Wang, Phys. Rev. B 47, 16373 (1993).
13. T. Salditt, D. Lott, T. H. Metzger, J. Peisl, G. Vignaud, J. F. Legrand, G. Grübel, P. Hoghoi, and O. Schärpf, Physica B 221, 13 (1996).
14. J.-P. Schlomka, M. R. Fitzsimmons, R. Pynn, J. Stettner, O. H. Seeck, M. Tolan, and W. Press, Physica B 221, 44 (1996).
15. J.-P. Schlomka, M. Tolan, L. Schwalowsky, O. H. Seeck, J. Stettner, and W. Press, Phys. Rev. B 51, 2311 (1995).
16. Y. H. Phang, D. E. Savage, R. Kariotis, and M. G. Lagally, J. Appl. Phys. 74, 3181 (1993).
17. R. K. Heilmann and R. M. Suter. Phys. Rev. B 59, 3075 (1999).
18. A. Ulyanenkov et al., J. Appl. Phys. 85, 1520 (1999).
19. V. Holý and T. Baumbach, Phys. Rev. B 49, 10668 (1994).
20. V. M. Kaganer, S. A. Stepanov, and R. Köhler, Physica B 221, 34 (1996).
21. A. Ulyanenkov, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 66, 193 (1998).
22. A. Ulyanenkov, U. Klemradt, and U. Pietsch, Physica B 248, 25 (1998).
23. S. K. Sinha, E. B. Sirota, S. Garoff, and H. B. Stanley, Phys. Rev. B 38, 2297 (1988).
24. V. Holý, U. Pietsch, and T. Baumbach, X-ray Scattering by Thin Films and Multilayers (Springer, Berlin, 1998).
25. L. G. Parratt, Phys. Rev. B 95, 59 (1954).
26. B. Vidal and P. Vincent, Appl. Opt. 23, 1794 (1984).
27. D. K. G. deBoer and A. J. G. Leenaers, Physica B 221, 18 (1996).
28. B. B. Mandelbrodt, The Fractal Geometry of Nature (Freeman, New York, 1998).
29. D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 65, 491 (1989).
30. D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71, 4286 (1992).
31. M. Lütt, J. P. Schlomka, M. Tolan, J. Stettner, O. H. Seeck, and W. Press, Phys. Rev. B 56, 4085 (1997).
32. A. Ulyanenkov, K. Omote, R. Matsuo, J. Harada, and S.-Y. Matsuno, J. Phys. D: Appl. Phys. 32, 1313 (1999).
33. D. E. Goldberg, Genetic Algorithm in Search, Optimization and Machine Learning (Addison-Wesley, Reading, MA, 1989).
34. A. Ulyanenkov, K. Omote, and J. Harada, Physica B 283, 237 (2000).
35. IMSL™, Fortran 90 MP Library, Version 3.0.
36. K. D. M. Harris, R. L. Johnston, and B. M. Kariuki, Acta Crystallogr., Sect. A: Found. Crystallogr. 54, 632 (1998).