Selective-area formation of Si microstructures using ultrathin SiO2 mask layers

Applied Physics Letters

Volumn 74, Issue 5, 1999, Pages 653-655

  Yasuda, T ^a,b   Hwang, D S ^a,c   Park, J W ^a,c   Ikuta, K ^a,b   Yamasaki, S ^a,b   Tanaka, K ^a,b  

^a JT RES CENTER FOR ATOM TECHNOLOGY   (Japan)

^b NATL INST FOR ADV INTERDISC RES   (Japan)

^c JRCAT Angstrom Technology Partnership (ATP)   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001103374     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.123030     Document Type: Article

References (16)

1. T. O. Sedgwick, M. Berkenblit, and T. S. Kuan, Appl. Phys. Lett. 54, 2689 (1989).
2. T.-R. Yew and R. Reif, J. Appl. Phys. 65, 2500 (1989).
3. M. Kato, T. Sato, J. Murota, and N. Mikoshiba, J. Cryst. Growth 99, 240 (1990).
4. T. Tatsumi, K. Akegawa, M. Hiroi, and J. Sakai, J. Cryst. Growth 120, 275 (1992).
5. K. Violette, P. A. O'Neil, M. C. Ozturk, K. Christensen, and D. Maher, Appl. Phys. Lett. 68, 66 (1996).
6. Y. Z. Hu, D. J. Diehl, C. Y. Zhao, C. L. Wang, Q. Liu, E. Irene, K. N. Christensen, D. Venable, and D. Maher, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 744 (1996).
7. For example, S. Thomas, J. Appl. Phys. 45, 161 (1974).
8. J. W. Park, T. Yasuda, K. Ikuta, L. H. Kuo, S. Yamasaki, and K. Tanaka, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 448, 271 (1997).
9. D. S. Hwang, T. Yasuda, K. Ikuta, S. Yamasaki, and K. Tanaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 4204 (1998); Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 37, L1087 (1998).
10. D. S. Hwang, T. Yasuda, K. Ikuta, S. Yamasaki, and K. Tanaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 4204 (1998); Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 37, L1087 (1998).
11. F. J. Himpsel, F. R. McFeely, A. Taleb-Ibrahimi, J. A. Yarmoff, and G. Hollinger, Phys. Rev. B 38, 6084 (1988).
12. B. S. Meyerson, Appl. Phys. Lett. 48, 797 (1986).
13. G. N. Parsons, Appl. Phys. Lett. 59, 2546 (1991).
14. K. Ikuta, J. W. Park, L. H. Kuo, T. Yasuda, S. Yamasaki, and K. Tanaka, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 452, 743 (1997).
15. K. Fujita, H. Watanabe, and M. Ichikawa, Appl. Phys. Lett. 70, 2807 (1997).
16. S. Fujita, S. Maruno, H. Watanabe, and M. Ichikawa, Appl. Phys. Lett. 69, 638 (1996).