Piezoelectric coefficient of aluminum nitride and gallium nitride

Journal of Applied Physics

Volumn 88, Issue 9, 2000, Pages 5360-5363

  Lueng, C M ^a   Chan, H L W ^a   Surya, C ^a   Choy, C L ^a  

^a HONG KONG POLYTECHNIC UNIVERSITY   (Hong Kong)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000726414     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1317244     Document Type: Article

References (18)

1. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, and Y. Sugimoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 35, L74 (1996).
2. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, J. Appl. Phys. 76, 8189 (1994).
3. M. Razeghi and A. Rogalski, J. Appl. Phys. 79, 7433 (1996).
4. A. Bykhovski, B. Gelmont, and M. Shur, J. Appl. Phys. 77, 1616 (1995).
5. R. Gaska, J. Yang, A. Osinsky, A. D. Byhovski, and M. S. Shur, Appl. Phys. Lett. 71, 3673 (1997).
6. M. Dubois, P. Muralt, and L. Sagalowicz, Ferroelectrics 224, 243 (1999).
7. S. Strite and H. Morkoc, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1237 (1992).
8. S. Muensit and I. L. Guy, Appl. Phys. Lett. 59, 1896 (1998).
9. C. M. Lueng, H. L. W. Chan, C. Surya, W. K. Fong, C. L. Choy, P. Chow, and R. Rosamond, J. Non-Cryst. Solids 254, 123 (1999).
10. H. Tsuchiya, K. Sunaba, S. Yonemura, T. Suemasu, and F. Hasegawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1 (1997).
11. D. Royer and V. Kmetik, Electron. Lett. 28, 1828 (1992).
12. K. Tsubouchi, K. Sugai, and N. Mikoshiba, Proc. IEEE Ultrason. Symp. (IEEE, New York, 1981), p. 375.
13. L. E. McNeil, M. Grimsditch, and R. H. Trench, J. Am. Ceram. Soc. 76, 1132 (1993).
14. E. Ruiz, S. Alvarez, and P. Alemany, Phys. Rev. B 49, 5188 (1994).
15. A. F. Wright, J. Appl. Phys. 82, 2833 (1997).
16. A. U. Sheleg and V. A. Savastenko, Izv. Akad. Nauk SSSR, Neorg. Mater. 15, 1598 (1979).
17. A. Polian, M. Grimsditch, and I. Grzegory, J. Appl. Phys. 79, 3343 (1996).
18. Y. Takagi, M. Ahart, T. Azuhata, T. Sola, K. Suzuki, and S. Nakamura, Physica B 219&220, 547 (1996).