Kinetics and role of C, O, and OH in low-pressure nanocrystalline diamond growth

Journal of Applied Physics

Volumn 87, Issue 9 I, 2000, Pages 4572-4579

  Teii, Kungen ^a   Ito, Haruhiko ^a,b   Hori, Masaru ^a   Takeo, Takashi ^b   Goto, Toshio ^a  

^a NAGOYA UNIVERSITY   (Japan)

^b NAGOYA MUNICIPAL INDUSTRIAL RESEARCH INSTITUTE   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000667764     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.373104     Document Type: Article

References (40)

1. J. Wei, H. Kawarada, J. Suzuki, and A. Hiraki, J. Cryst. Growth 99, 1201 (1990).
2. C. R. Eddy, Jr.. D. L. Youchison, and B. D. Sartwell, Diamond Relat. Mater. 3, 105 (1993).
3. D. L. Youchison, C. R. Eddy, Jr., and B. D. Sartwell, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 103 (1993).
4. S. J. Harris, Appl. Phys. Lett. 56, 2298 (1990).
5. D. G. Goodwin, J. Appl. Phys. 74, 6888 (1993).
6. M. E. Coltrin and D. S. Dandy, J. Appl. Phys. 74, 5803 (1993).
7. T. G. McCauley, D. M. Gruen, and A. R. Krauss, Appl. Phys. Lett. 73, 1646 (1998).
8. D. Zhou, T. G. McCauley, L. C. Qin, A. R. Krauss, and D. M. Gruen, J. Appl. Phys. 83, 540 (1998).
9. M. Frenklach and H. Wang, Phys. Rev. B 43, 1520 (1991).
10. F. G. Celii, P. E. Pehrsson, H.-T. Wang, and J. E. Buller, Appl. Phys. Lett. 52, 2043 (1988).
11. W. L. Hsu, Appl. Phys. Lett. 59, 1427 (1991).
12. F. G. Celii and J. E. Butler, J. Appl. Phys. 71, 2877 (1992).
13. E. H. Wahl, T. G. Owano, C. H. Krüger, P. Zalicki, Y. Ma, and R. N. Zare, Diamond Relat. Mater. 5, 373 (1996).
14. M. Ikeda, H. Ito, M, Hiramatsu, M. Hori, and T. Goto, J. Appl. Phys. 82, 4055 (1997).
15. K. Teii and T. Yoshida, Thin Solid Films 316, 24 (1998).
16. K. Teii and T. Yoshida, J. Appl. Phys. 85, 1864 (1999).
17. K. Teii, Appl. Phys. Lett. 74, 4067 (1999).
18. H. Ito, K. Teii, M. Ishikawa, M. Ito, M. Hori, T. Takeo, T. Kato, and T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 38, 4504 (1999).
19. H. Ito, M. Ikeda, M. Ito, M. Hori, T. Takeo, T. Kato, and T. Goto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L880 (1997).
20. M. A. Tamor and W. C. Vassell, J. Appl. Phys. 76, 3823 (1994).
21. M. Yoshikawa, Y. Mori, H. Obata, M. Maegawa, G, Katagiri, H. Ishida, and A. Ishitani, Appl. Phys. Lett. 67, 694 (1995).
22. R. J. Nemanich, J. T. Glass, G. Lucovsky, and R. E. Shroder, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1783 (1988).
23. R. W. B. Pearse and A. G. Gaydon. The Identification of Molecular Spectra, 4th ed. (Wiley, New York, 1976).
24. W. L. Wiese, M. W. Smith, and B. M. Miles, Atomic Transition Probabilities, Vol. I & II (National Standard Reference Data Series, Washington, 1966).
25. D. Robinson and P. D. Lenn, Appl. Opt. 6, 983 (1967).
26. K. Teii, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 138 (1999).
27. J. C. Angus and C. C. Hayman, Science 241, 913 (1988).
28. A. I. Maksimov, L. S. Polak, A. F. Sergienko, and D. I. Slovetskii, High Energy Chemistry 13, 311 (1979).
29. T. G. Beuthe and J.-S. Chang, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 4997 (1997).
30. H. Sugai and H. Toyoda, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 1193 (1992).
31. D. Rapp and D. D. Briglia, J. Chem. Phys. 43, 1480 (1965).
32. D. L. Baulch, C. J. Cobos, R. A. Cox, C. Esser, P. Frank, Th. Just, J. A. Kerr, M. J. Pilling, J. Troe, R. W. Walker, and J. Warnatz, J. Phys. Chem. Ref. Data 21, 411 (1992).
33. W. Tsang and R. F. Hampson, J. Phys. Chem. Ref. Data 15, 1087 (1986).
34. T.-H. Kim and T. Kobayashi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 33, L459 (1994).
35. C. A. Wolden and K. K. Gleason, Diamond Relat. Mater. 5, 1503 (1996).
36. K. Teii, M. Hori, M. Ito, T. Goto, and N. Ishii, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 1 (2000).
37. K. Teii, M. Hori, T. Goto, and N. Ishii, J. Appl. Phys. (to be published).
38. D. A. Muller, Y. Tzou, R. Raj, and J. Silcox, Nature (London) 366, 725 (1993).
39. K. A. Snail and C. M. Marks, Appl. Phys. Lett. 60, 3135 (1992).
40. A. Yamaguchi, M. Ihara, and H. Komiyama, Appl. Phys. Lett. 64, 1306 (1994).