Ion fluxes and energies in inductively coupled radio-frequency discharges containing CHF3

Journal of Applied Physics

Volumn 88, Issue 10, 2000, Pages 5612-5617

  Wang, Yicheng ^a   Misakian, M ^a   Goyette, A N ^a   Olthoff, J K ^a  

^a NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000598969     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1319968     Document Type: Article

References (24)

1. N. R. Rueger, M. F. Doemling, M. Schaepkens, J. J. Beulens, T. E. F. M. Standaert, and G. S. Oehrlein, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2492 (1999).
2. B. Kim, K. H. Kwon, and S. H. Park, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2593 (1999).
3. L. G. Christophorou, J. K. Olthoff, and M. V. V. S. Rao, J. Phys. Chem. Ref. Data 26, 1 (1997).
4. R. Jayaraman, R. T. McGrath, and G. A. Hebner, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1545 (1999).
5. X. Li, M. Schaepkens, G. S. Oehrein, R. E. Ellefson, L. C. Frees, N. Mueller, and N. Korner, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2438 (1999).
6. J. K. Olthoff and K. E. Greenberg, J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 100, 327 (1995).
7. P. A. Miller, G. A. Hebner, K. E. Greenberg, P. S. Pochan, and B. P. Aragon, J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 100, 427 (1995).
8. J. D. Bukowski, D. B. Graves, and P. Vitello, J. Appl. Phys. 80, 2614 (1996).
9. S. Rauf and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 82, 2805 (1997).
10. S. J. Choi and R. Veerasingam, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1873 (1998).
11. E. Meeks, P. Ho, A. Ting, and R. J. Buss, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 2227 (1998).
12. A. N. Goyette, Y. Wang, M. Misakian, and J. K. Olthoff, J. Vac. Sci. Technol. A (in press).
13. A. N. Goyette, Y. Wang, and J. K. Olthoff, J. Phys. D 33, 2004 (2000).
14. P. J. Hargis et al., Rev. Sci. Instrum. 65, 140 (1994).
15. J. K. Olthoff and Y. Wang, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1552 (1999).
16. Y. Wang and J. K. Olthoff, J. Appl. Phys. 85, 6358 (1999).
17. M. V. V. S. Rao, R. J. Van Brunt, and J. K. Olthoff, Phys. Rev. E 54, 5641 (1996).
18. G. S. Oehrlein, Y. Zhang, D. Vender, and M. Haverlag, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 323 (1994).
19. G. S. Oehrlein, Y. Zhang, D. Vender, and O. Joubert, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 333 (1994).
20. L. G. Christophorou and J. K. Olthoff, J. Phys. Chem. Ref. Data 28, 967 (1999).
21. E. R. Fisher, M. E. Weber, and P. B. Armentrout, J. Chem. Phys. 92, 2296 (1990).
22. G. M. W. Kroesen, H.-J. Lee, H. Moriguchi, H. Motomura, T. Shirafuji, and K. Tachibana, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 225 (1998).
23. J. S. Kim, M. V. V. S. Rao, M. A. Cappelli, M. Meyyappan, and S. P. Sharma, in Proceedings of the International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms, edited by Y. Hatano, H. Tanaka, and N. Kouchi, Tokyo, Japan, 18-20 July 1999, p. 127.
24. M. Schaepkens, T. E. F. M. Standaert, N. R. Rueger, P. G. M. Sebel, G. S. Oehrlein, and J. M. Cook, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 26 (1999).