Growth of AIN and GaN on 6H-SiC(0001) using a helium supersonic beam seeded with ammonia

Applied Physics Letters

Volumn 71, Issue 10, 1997, Pages 1365-1367

  Torres, V M ^a,b   Stevens, M ^a   Edwards, J L ^a,c   Smith, David J ^a,d   Doak, R B ^a   Tsong, I S T ^a  

^a ARIZONA STATE UNIVERSITY   (United States)

^b North Carolina State University   (United States)

^c Sci and Eng of Materials Program   (United States)

^d Center for Solid State Science   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000434926     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.119895     Document Type: Article

References (17)

1. S. Strite and H. Morkoç, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1237 (1992).
2. J. C. Zolper, R. J. Shul, A. G. Baca, R. G. Wilson, S. J. Pearton, and R. A. Stall. Appl. Phys. Lett. 68, 2273 (1996).
3. S. Nakamura, M. Senoh, N. Isawa, and S. Nagahama, Appl. Phys. Lett. 67, 1868 (1995).
4. T. W. Weeks, Jr., M. D. Bremser, K. S. Ailey, E. Carlson, W G. Perry, and R. F. Davis, Appl. Phys. Lett. 67, 401 (1995).
5. A. Gassman, T. Suski, N. Newman, C. Kisielowski, E. Jones, E. R. Weber, Z. Lilental-Weber, M. D. Rubin, H. I. Helava, I. Grzegory, M. Bockowski, J. Jun, and S. Porowski, J. Appl. Phys. 80, 2195 (1996).
6. M. A. L. Johnson, S. Fujita, W. H. Roland, Jr., K. A. Bowers, W. C. Hughes, Y. W. He, N. A. El-Masry, J. W. Cook, J. F. Schetzina, J. Ren. and J. A. Edmond, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2349 (1996).
7. N.-E. Lee, R. C. Powell, Y.-W. Kim, and J. E. Greene, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2293 (1995).
8. W. Kim, O. Aktas, A. E. Botcharev, A. Salavador, S. N. Mohammad, and H. Morkoç, J. Appl. Phys. 79, 7957 (1996).
9. Z. Yang, L. K. Li, and W. L. Wang, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2354 (1996).
10. V. M. Torres, M. A. Meloni, and R. B. Doak (unpublished).
11. S. T. Ceyer, J. D. Beckerle, M. B. Lee, S. L. Tang, Q. Y. Yang, and M. A. Hines, J. Vac. Sci. Technol, A 5, 501 (1987).
12. J. W. Rabalais, A. H. Al-Bayati, K. J. Boyd, D. Marton, J. Kulik, Z. Zhang, and W. K. Chu, Phys. Rev B 53, 10781 (1996).
13. D. R. Miller, in Atomic and Moleular Beam Methods, edited by G. Scoles (Oxford University Press, London, 1988).
14. R. C. Glass, L. O. Kjelberg, V. F. Tsethov, J. F., Sundgren, and E. Jenzen, J. Cryst Growth 132, 504 (1993).
15. R. E. Davis, S Tanaka, and R. S. Kern, J. Cryt. Growth 163, 93 (1996).
16. G. Pezzoti, E. Aoyagi, T. Suzuki, and M. Sakai, J. Am. Ceram Soc. 77, 2465 (1994).
17. D. C. Joy, D. E. Newbury, and D. L. Davidson, J. Appl. Phys. 53. R81 (1982).