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Volumn 310, Issue 3-4, 1999, Pages 240-244

Study on the crystallization behavior of amorphous carbon nitride films

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EID: 0000362746     PISSN: 00092614     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0009-2614(99)00724-1     Document Type: Article
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References (14)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.