Influence of surface topography on the microtribological properties of Si surfaces;Einfluss der Rauheit auf die mikrotribologischen Eigenschaften von unterschiedlich strukturierten Siliziumoberflächen bedeckt mit selbstorganisierten Monoschichten

Materialwissenschaft und Werkstofftechnik

Volumn 35, Issue 10-11, 2004, Pages 626-631

  Hild, W ^a   Hungenbach, G ^a   Schaefer, J A ^a   Fischer, M ^a   Ahmed, S I U ^b   Scherge, M ^c  

^a ILMENAU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

^b CSEM   (Switzerland)

^c IAVF Antriebstechnik AG   (Germany)

Author keywords

Lifetime measurements; Microfriction; Roughness; Sams

Indexed keywords

LIFETIME MEASUREMENTS; MICROFRICTION; SAMS; SLIDING CYCLES;

LOADS (FORCES); SELF ASSEMBLY; SILANES; SILICON; SURFACE ROUGHNESS; SURFACE STRUCTURE; SURFACE TOPOGRAPHY; WEAR OF MATERIALS;

TRIBOLOGY;

EID: 9744246053     PISSN: 09335137     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/mawe.200400786     Document Type: Review

References (20)

1. R. Maboudian, Surf. Sci. Rep., 1998, 30, 207.
2. F. Schreiber, Progress in Surf. Sci., 2000, 65, 151.
3. H. Liu, S. I.-U. Ahmed, M. Scherge, Thin Solid Films, 2001, 381, 135.
4. S. I.-U. Ahmed, G. Bregliozzi, H. Haefke, WEAR, 2003, 254, 1076.
5. W. Hild, G. Hungenbach, S.I.-U. Ahmed, J.A. Schaefer, Tribologie + Schmierungstechnik 2004, 7, 5.
6. Kum-Hwan Cha, Dae-Eun Kim, Wear, 2001, 257, 1169.
7. S. Ren, S. Yang, Y. Zhao, J. Zhou, T. Xu, W. Liu, Trib. Lett., 2002, 13, 233.
8. I. Ahmed, M. Scherge, Wear of Self Assembled Monolayer Films on Silicon Surfaces, Tagungsband: Fachtagung der Gesellschaft für Tribologie 2000.
9. M. Scherge, S.I.-U. Ahmed, F. Spiller, O. Mollenhauer, tm, 2000, 7-8, 324.
10. H. Liu, B. Bhushan, J. Vac. Sci. Technol A, 2003, 21, 1528.
11. A. Opitz, Technische Universität Ilmenau, Dissertation 2003.
12. M. Scherge, S. Gorb, Biological Micro- and Nanotribology, Springer Verlag, Berlin, 2000.
13. F.B. Bowden, C. Tabor, The Friction and Lubrication of Solids, Part 2, Clarendon, Oxford, 1964.
14. K.L.Johnson, A. Kendall, A.D. Roberts, Proc. R. Soc. Lond. A 1971, 324, 301.
15. K.L. Johnson, J.A. Greenwood, J. Coll. Int. Sci. 1997, 792, 326.
16. S.S. Perry, S. Lee, Y.-S. Shon, Colorado, R., J., Lee, T.R., Trib. Lett. 2001, 10, 81.
17. B. N. J. Persson, Sliding Friction: Physical Principles and Applications, Springer-Verlag, Berlin, 2000.
18. E. Barrena, S. Kopta, D. Ogletree, D. Charych, M.Salmeron, Phys. Rev. Lett 1999, 82, 2880.
19. W. Hild, G. Hungenbach, S. I.-U. Ahmed, M. Scherge, J.A. Schaefer, eingereicht bei Tribol. Lett., 2003.
20. J. Bhardwaj, H. Ashraf, A. McQuarrie, Dry Silicon Etching for MEMS, Symposium on Mikrostructures and Microfabricated Systems at the Annual Meeting of the Electrochemical Society, Montreal, Quebec, Canada, May 4-9, 1997.