Three-Dimensional Integration of Graphene via Swelling, Shrinking, and Adaptation

Nano Letters

Volumn 15, Issue 7, 2015, Pages 4525-4531

  Choi, Jonghyun ^a   Kim, Hoe Joon ^a   Wang, Michael Cai ^a   Leem, Juyoung ^a   King, William P ^a   Nam, Sungwoo ^a  

^a UNIVERSITY OF ILLINOIS AT URBANA CHAMPAIGN   (United States)

Author keywords

Graphene; microstructured substrate; substrate engineering; three dimensional integration

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; INTEGRATION; METALLOGRAPHIC MICROSTRUCTURE; MICROSTRUCTURE; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SHRINKAGE; SUBSTRATES; SWELLING; THREE DIMENSIONAL INTEGRATED CIRCUITS;

ELECTRICAL RESISTANCE MEASUREMENT; MICRO-STRUCTURED GEOMETRY; MICRO-STRUCTURED SURFACES; MICROSTRUCTURED SUBSTRATES; SUBSTRATE ENGINEERING; THREE DIMENSIONAL INTEGRATION; THREEDIMENSIONAL (3-D); TWO DIMENSIONAL (2 D);

GRAPHENE;

EID: 84936867613     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/acs.nanolett.5b01036     Document Type: Article

References (46)

1. Geim, A. K. Science 2009, 324, 1530-1534
2. Geim, A. K.; Novoselov, K. S. Nat. Mater. 2007, 6, 183-191
3. Novoselov, K. S.; Jiang, D.; Schedin, F.; Booth, T. J.; Khotkevich, V. V.; Morozov, S. V.; Geim, A. K. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2005, 102, 10451-10453
4. Novoselov, K. S.; Falko, V. I.; Colombo, L.; Gellert, P. R.; Schwab, M. G.; Kim, K. Nature 2012, 490, 192-200
5. Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Katsnelson, M. I.; Grigorieva, I. V.; Dubonos, S. V.; Firsov, A. A. Nature 2005, 438, 197-200
6. Zhang, Y.; Tan, Y.-W.; Stormer, H. L.; Kim, P. Nature 2005, 438, 201-204
7. Dean, C. R.; Young, A. F.; Meric, I.; Lee, C.; Wang, L.; Sorgenfrei, S.; Watanabe, K.; Taniguchi, T.; Kim, P.; Shepard, K. L.; Hone, J. Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 722-726
8. Prasai, D.; Tuberquia, J. C.; Harl, R. R.; Jennings, G. K.; Bolotin, K. I. ACS Nano 2012, 6, 1102-1108
9. Pinto, A. M.; Gonçalves, I. C.; Magalhaes, F. D. Colloids Surf., B 2013, 111, 188-202
10. Lee, M.-S.; Lee, K.; Kim, S.-Y.; Lee, H.; Park, J.; Choi, K.-H.; Kim, H.-K.; Kim, D.-G.; Lee, D.-Y.; Nam, S.; Park, J.-U. Nano Lett. 2013, 13, 2814-2821
11. Lee, S.-K.; Kim, B. J.; Jang, H.; Yoon, S. C.; Lee, C.; Hong, B. H.; Rogers, J. A.; Cho, J. H.; Ahn, J.-H. Nano Lett. 2011, 11, 4642-4646
12. Yan, C.; Cho, J. H.; Ahn, J.-H. Nanoscale 2012, 4, 4870-4882
13. Park, J.-U.; Nam, S.; Lee, M.-S.; Lieber, C. M. Nat. Mater. 2012, 11, 120-125
14. Lee, C.; Wei, X.; Kysar, J. W.; Hone, J. Science 2008, 321, 385-388
15. Li, X.; Cai, W.; An, J.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; Banerjee, S. K.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Science 2009, 324, 1312-1314
16. Kim, K. S.; Zhao, Y.; Jang, H.; Lee, S. Y.; Kim, J. M.; Kim, K. S.; Ahn, J.-H.; Kim, P.; Choi, J.-Y.; Hong, B. H. Nature 2009, 457, 706-710
17. Bae, S.; Kim, H.; Lee, Y.; Xu, X.; Park, J.-S.; Zheng, Y.; Balakrishnan, J.; Lei, T.; Kim, H. R.; Song, Y. I.; Kim, Y.-J.; Kim, K. S.; Özyilmaz, B.; Ahn, J.-H.; Hong, B. H.; Iijima, S. Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 574-578
18. Bhaviripudi, S.; Jia, X.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2010, 10, 4128-4133
19. Wu, Y.; Yu, G.; Wang, H.; Wang, B.; Chen, Z.; Zhang, Y.; Wang, B.; Shi, X.; Xie, X.; Jin, Z.; Liu, X. Carbon 2012, 50, 5226-5231
20. Martins, L. G. P.; Song, Y.; Zeng, T.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J.; Araujo, P. T. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2013, 110, 17762-17767
21. Lin, W.-H.; Chen, T.-H.; Chang, J.-K.; Taur, J.-I.; Lo, Y.-Y.; Lee, W.-L.; Chang, C.-S.; Su, W.-B.; Wu, C.-I. ACS Nano 2014, 8, 1784-1791
22. Gao, L.; Ni, G.-X.; Liu, Y.; Liu, B.; Castro Neto, A. H.; Loh, K. P. Nature 2014, 505, 190-194
23. Gao, L.; Ren, W.; Xu, H.; Jin, L.; Wang, Z.; Ma, T.; Ma, L.-P.; Zhang, Z.; Fu, Q.; Peng, L.-M.; Bao, X.; Cheng, H.-M. Nat. Commun. 2012, 3, 699
24. Kim, H. H.; Chung, Y.; Lee, E.; Lee, S. K.; Cho, K. Adv. Mater. 2014, 26, 3213-3217
25. Kim, J.; Park, H.; Hannon, J. B.; Bedell, S. W.; Fogel, K.; Sadana, D. K.; Dimitrakopoulos, C. Science 2013, 342, 833-836
26. Chun, S.; Choi, J.; Ashraf, A.; Nam, S. 36th Annu. Int. Conf. IEEE Eng. Med. Biol. Soc., Chicago, USA 2014, 5268-5271
27. Choi, J.; Wang, M. C.; Cha, R. Y. S.; Park, W. I.; Nam, S. Biomed. Eng. Lett. 2013, 3, 201-208
28. Tian, B.; Liu, J.; Dvir, T.; Jin, L.; Tsui, J. H.; Qing, Q.; Suo, Z.; Langer, R.; Kohane, D. S.; Lieber, C. M. Nat. Mater. 2012, 11, 986-994
29. Liu, J.; Xie, C.; Dai, X.; Jin, L.; Zhou, W.; Lieber, C. M. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2013, 110, 6694-6699
30. Martin-Olmos, C.; Rasool, H. I.; Weiller, B. H.; Gimzewski, J. K. ACS Nano 2013, 7, 4164-4170
31. Lanza, M.; Bayerl, A.; Gao, T.; Porti, M.; Nafria, M.; Jing, G. Y.; Zhang, Y. F.; Liu, Z. F.; Duan, H. L. Adv. Mater. 2012, 25, 1440-1444
32. Park, D.-W.; Schendel, A. A.; Mikael, S.; Brodnick, S. K.; Richner, T. J.; Ness, J. P.; Hayat, M. R.; Atry, F.; Frye, S. T.; Pashaie, R.; Thongpang, S.; Ma, Z.; Williams, J. C. Nat. Commun. 2014, 5, 5258
33. Kuzum, D.; Takano, H.; Shim, E.; Reed, J. C.; Juul, H.; Richardson, A. G.; de Vries, J.; Bink, H.; Dichter, M. A.; Lucas, T. H.; Coulter, D. A.; Cubukcu, E.; Litt, B. Nat. Commun. 2014, 5, 5259
34. Jo, G.; Choe, M.; Lee, S.; Park, W.; Kahng, Y. H.; Lee, T. Nanotechnology 2012, 23, 112001
35. Winters, S.; Hallam, T.; Nolan, H.; Duesberg, G. S. Phys. Status Solidi B 2012, 249, 2515-2518
36. Reserbat-Plantey, A.; Kalita, D.; Han, Z.; Ferlazzo, L.; Autier-Laurent, S.; Komatsu, K.; Li, C.; Weil, R.; Ralko, A.; Marty, L.; Guéron, S.; Bendiab, N.; Bouchiat, H.; Bouchiat, V. Nano Lett. 2014, 14, 5044-5051
37. Shim, W.; Brown, K. A.; Zhou, X.; Rasin, B.; Liao, X.; Mirkin, C. A. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2012, 109, 18312-18317
38. Wang, M. C.; Chun, S.; Han, R. S.; Ashraf, A.; Kang, P.; Nam, S. Nano Lett. 2015, 15, 1829-1835
39. Rogers, J. A.; Someya, T.; Huang, Y. Science 2010, 327, 1603-1607
40. Fan, Z.; Razavi, H.; Do, J.-W.; Moriwaki, A.; Ergen, O.; Chueh, Y.-L.; Leu, P. W.; Ho, J. C.; Takahashi, T.; Reichertz, L. A.; Neale, S.; Yu, K.; Wu, M.; Ager, J. W.; Javey, A. Nat. Mater. 2009, 8, 648-653
41. Wang, C.; Chien, J.-C.; Takei, K.; Takahashi, T.; Nah, J.; Niknejad, A. M.; Javey, A. Nano Lett. 2012, 12, 1527-1533
42. Li, T.; Zhang, Z. J. Phys. D: Appl. Phys. 2010, 43, 075303
43. Pang, C.; Koo, J. H.; Nguyen, A.; Caves, J. M.; Kim, M.-G.; Chortos, A.; Kim, K.; Wang, P. J.; Tok, J. B.-H.; Bao, Z. Adv. Mater. 2015, 27, 634-640
44. Mannsfeld, S. C. B.; Tee, B. C-K.; Stoltenberg, R. M.; Chen, C. V. H-H.; Barman, S.; Muir, B. V. O.; Sokolov, A. N.; Reese, C.; Bao, Z. Nat. Mater. 2010, 9, 859-864
45. Heuschkel, M. O.; Fejtl, M.; Raggenbass, M.; Bertrand, D.; Renaud, P. J. Neurosci. Methods 2002, 114, 135-148
46. Kruskal, P. B.; Jiang, Z.; Gao, T.; Lieber, C. M. Neuron 2015, 86, 21-24