Substitutional phosphorus incorporation in nanocrystalline CVD diamond thin films

Physica Status Solidi - Rapid Research Letters

Volumn 8, Issue 8, 2014, Pages 705-709

  Janssen, Wiebke ^a   Turner, Stuart ^b   Sakr, Georges ^c   Jomard, François ^c   Barjon, Julien ^c   Degutis, Giedrius ^a   Lu, Ying Gang ^b   D'Haen, Jan ^a   Hardy, An ^a   Bael, Marlies Van ^a   Verbeeck, Johan ^b   Tendeloo, Gustaaf Van ^b   Haenen, Ken ^a  

^a HASSELT UNIVERSITY   (Belgium)

^b UNIVERSITY OF ANTWERP   (Belgium)

^c LABORATOIRE DES SCIENCES DU CLIMAT ET DE L ENVIRONNEMENT   (France)

Author keywords

Chemical vapor deposition; Nanocrystalline diamonds; Phosphorus incorporation; Spectroscopy methods

Indexed keywords

DIAMONDS; DOPING (ADDITIVES); PHOSPHORUS; PHOSPHORUS COMPOUNDS; SPECTROSCOPIC ANALYSIS; THIN FILMS;

CHARACTERIZATION OF THE FILMS; CHEMICAL VAPOR DEPOSITIONS (CVD); HIGH-RESOLUTION SPECTROSCOPY; HOMOGENEOUS FILMS; INTERIOR STRUCTURE; NANO-CRYSTALLINE DIAMONDS; NANOCRYSTALLINE DIAMOND (NCD) THIN FILMS; PHOSPHORUS INCORPORATION;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION;

EID: 84905907280     PISSN: 18626254     EISSN: 18626270     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssr.201409235     Document Type: Article

References (26)

1. P. Achatz, J. A. Garrido, M. Stutzmann, O. A. Williams, D. M. Gruen, A. Kromka, and D. Steinmüller, Appl. Phys. Lett. 88, 101908 (2006).
2. W. Gajewski, P. Achatz, O. A. Williams, K. Haenen, E. Bustarret, M. Stutzmann, and J. A. Garrido, Phys. Rev. B 79, 045206 (2009).
3. G. Zhang, S. Turner, E. A. Ekimov, J. Vanacken, M. Timmermans, T. Samuely, V. A. Sidorov, S. M. Stishov, Y. Lu, B. Deloof, B. Goderis, G. Van Tendeloo, J. Van de Vondel, and V. V. Moshchalkov, Adv. Mater. 26, 2034 (2013).
4. S. Turner, Y. G. Lu, S. D. Janssens, F. Da Pieve, D. Lamoen, J. Verbeeck, K. Haenen, P. Wagner, and G. Van Tendeloo, Nanoscale 4, 5960 (2012).
5. S. D. Janssens, P. Pobedinskas, J. Vacik, V. Petráková, B. Ruttens, J. D'Haen, M. Nesládek, K. Haenen, and P. Wagner, New J. Phys. 13, 083008 (2011).
6. G. Zhang, S. D. Janssens, J. Vanacken, M. Timmermans, J. Vacík, G. W. Ataklti, W. Decelle, W. Gillijns, B. Goderis, K. Haenen, P. Wagner, and V. V. Moshchalkov, Phys. Rev. B 84, 214517 (2011).
7. J. Hees, R. Hoffmann, A. Kriele, W. Smirnov, H. Obloh, K. Glorer, B. Raynor, R. Driad, N. Yang, O. A. Williams, and C. E. Nebel, ACS Nano 5, 3339 (2011).
8. B. van Grinsven, N. Vanden Bon, H. Strauven, L. Grieten, M. Murib, K. L. Jiménez Monroy, S. D. Janssens, K. Haenen, M. J. Schöning, V. Vermeeren, M. Ameloot, L. Michiels, R. Thoelen, W. De Ceuninck, and P. Wagner, ACS Nano 6, 2712 (2012).
9. K. Haenen, K. Meykens, M. Nesládek, G. Knuyt, L. M. Stals, T. Teraji, S. Koizumi, and E. Gheeraert, Diam. Relat. Mater. 10, 439 (2001).
10. S. Koizumi, M. Kamo, Y. Sato, H. Ozaki, and T. Inuzuka, Appl. Phys. Lett. 71, 1065 (1997).
11. H. Kato, M. Toshiharu, Y. Satoshi, and O. Hideyo, J. Phys. D, Appl. Phys. 40, 6189 (2007).
12. H. Kato, J. Barjon, N. Habka, T. Matsumoto, D. Takeuchi, H. Okushi, and S. Yamasaki, Diam. Relat. Mater. 20, 1016 (2011).
13. F. A. M. Koeck, J. M. Garguilo, and R. J. Nemanich, Diam. Relat. Mater. 13, 2052 (2004).
14. F. A. M. Koeck, R. J. Nemanich, A. Lazea, and K. Haenen, Diam. Relat. Mater. 18, 789 (2009).
15. J. E. Butler and A. V. Sumant, Chem. Vap. Deposition 14, 145 (2008).
16. O. A. Williams, O. Douhéret, M. Daenen, K. Haenen, E. Osawa, and M. Takahashi, Chem. Phys. Lett. 445, 255 (2007).
17. S. Prawer and R. J. Nemanich, Phil. Trans. R. Soc. Lond. A 362, 2537 (2004).
18. A. M. Zaitsev, Optical Properties of Diamond - Data Handbook (Springer, 2001).
19. N. Habka, J. Barjon, A. Lazea, and K. Haenen, J. Appl. Phys. 107, 103531 (2010).
20. M. Mermoux, B. Marcus, A. Crisci, A. Tajani, E. Gheeraert, and E. Bustarret, J. Appl. Phys. 97, 043530 (2005).
21. V. Mortet, L. Zhang, M. Eckert, J. D'Haen, A. Soltani, M. Moreau, D. Troadec, E. Neyts, J. C. De Jaeger, J. Verbeeck, A. Bogaerts, G. Van Tendeloo, K. Haenen, and P. Wagner, Phys. Status Solidi A 209, 1675 (2012).
22. S. Michaelson, O. Ternyak, A. Hoffman, O. A. Williams, and D. M. Gruen, Appl. Phys. Lett. 91, 103104 (2007).
23. J. Barjon, P. Desfonds, M. A. Pinault, T. Kociniewski, F. Jomard, and J. Chevallier, J. Appl. Phys. 101, 113701 (2007).
24. K. Haenen, A. Lazea, J. Barjon, J. D'Haen, N. Habka, T. Teraji, S. Koizumi, and V. Mortet, J. Phys.: Condens. Matter 21, 364204 (2009).
25. M. A. Pinault-Thaury, B. Berini, I. Stenger, E. Chikoidze, A. Lusson, F. Jomard, J. Chevallier, and J. Barjon, Appl. Phys. Lett. 100, 192109 (2012).
26. S. Ghodbane, F. Omnès, E. Bustarret, C. Tavares, and F. Jomard, Diam. Relat. Mater. 17, 1324 (2008).