Atomic layer deposition of functional films for Li-ion microbatteries

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

Volumn 211, Issue 2, 2014, Pages 357-367

  Nilsen, Ola ^a   Miikkulainen, Ville ^a   Gandrud, Knut B ^a   Østreng, Erik ^a   Ruud, Amund ^a  

^a UNIVERSITY OF OSLO   (Norway)

Author keywords

atomic layer deposition; lithium ion batteries; microbatteries; thin films

Indexed keywords

EID: 84894244644     PISSN: 18626300     EISSN: 18626319     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssa.201330130     Document Type: Conference Paper

References (56)

1. Infinite power solutions, white paper: http://www.infinitepowersolutions. com/images/stories/IPS-All-Solid-State-Cell-Phone-Battery.pdf, July 13, 2012.
2. J. F. M. Oudenhoven, L. Baggetto, and, P. H. L. Notten, Adv. Energy Mater. 1, 10 (2011).
3. J. H. Pikul, H. G. Zhang, J. Cho, P. V. Braun, and, W. P. King, Nature Commun. 4, 1732 (2013).
4. H. Zhang, X. Yu, and, P. V. Braun, Nature Nanotechnol. 6, 277 (2011).
5. R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 97, 52 (2005).
6. K. Le Van, H. Groult, A. Mantoux, L. Perrigaud, F. Lantelme, R. Lindström, R. Badour-Hadjean, S. Zanna, and, D. Lincot, J. Power Sources 160, 592 (2006).
7. X. Chen, E. Pomerantseva, K. Gregorczyk, R. Ghodssi, and, G. Rubloff, RSC Adv. 3, 4294 (2013).
8. 5 films for Li-ion batteries (to be submitted in August-October 2013).
9. K. B. Gandrud, A. Pettersen, O. Nilsen, and, H. Fjellvåg, J. Mater. Chem. A 1, 9054-9059 (2013).
10. X. Meng, X.-Q. Yang, and, X. Sun, Adv. Energy Mater. 24, 3589 (2012).
11. H. C. M. Knoops, M. E. Donders, M. C. M. van de Sanden, P. H. L. Notten, and, W. M. M. Kessels, J. Vac. Sci. Technol. A 30, 010801 (2012).
12. T. Aaltonen, V. Miikkulainen, K. B. Gandrud, A. Pettersen, O. Nilsen, and, H. Fjellvåg, ECS Trans. 41, 331 (2011).
13. M. Putkonen, T. Aaltonen, M. Alnes, T. Sajavaara, O. Nilsen, and, H. Fjellvåg, J. Mater. Chem. 19, 8767 (2009).
14. J. Hämäläinen, J. Holopainen, F. Munnik, T. Hatanpää, M. Heikkilä, M. Ritala, and, M. Leskelä, J. Electrochem. Soc. 159, A259 (2012).
15. V. Miikkulainen, A. Ruud, E. Østreng, O. Nilsen, M. Laitinen, T. Sajavaara, and, H. Fjellvåg, Atomic layer deposition of spinel lithium manganese oxide for thin film lithium ion batteries (submitted in August 2013 to J. Phys. Chem.).
16. K. B. Gandrud, A. Pettersen, O. Nilsen, and, H. Fjellvåg, Baltic ALD 2010 & GerALD 2, Hamburg, Germany September 16-17, 2010.
17. M. Mäntymäki, J. Hämäläinen, E. Puukilainen, F. Munnik, M. Ritala, and, M. Leskelä, Chem. Vap. Deposition 19, 111 (2013).
18. M. Mäntymäki, J. Hämäläinen, E. Puukilainen, T. Sajavaara, M. Ritala, and, M. Leskelä, Chem. Mater. 25, 1656 (2013).
19. A. S. Cavanagh, Y. Lee, B. Yoon, and, S. M. George, ECS Trans. 33, 223 (2010).
20. T. Aaltonen, O. Nilsen, A. Magrasõ, and, H. Fjellvåg, Chem. Mater. 23, 4669 (2011).
21. D. Comstock, and, J. W. Elam, J. Phys. Chem. C, DOI: 10.1021/jp308828p (2013).
22. X. Meng, J. Liu, X. Li, M. Norouzi Banis, J. Yang, R. Li, and, X. Sun, RSC Adv. 3, 7285 (2013).
23. V. Miikkulainen, O. Nilsen, M. Laitinen, T. Sajavaara, and, H. Fjellvåg, RSC Adv. 3, 7537 (2013).
24. T. Aaltonen, M. Alnes, O. Nilsen, L. Costelle, and, H. Fjellvåg, J. Mater. Chem. 20, 2877-2881 (2010).
25. M. E. Donders, W. M. Arnoldbik, H. C. M. Knoops, W. M. M. Kessels, and, P. H. L. Notten, J. Electrochem. Soc. 160, A3066 (2013).
26. M. E. Donders, H. C. M. Knoops, W. M. M. Kessels, and, P. H. L. Notten, ECS Trans. 41, 321 (2011).
27. Y.-C. Perng, J. Cho, D. Membreno, B. Dunn, M. F. Toney, and, J. P. Chang, 11th International Conference on Atomic Layer Deposition, Cambridge, MA, USA June 26-29, 2011.
28. E. Østreng, P. Vajeeston, O. Nilsen, and, H. Fjellvåg, RSC Adv. 2, 6315 (2012).
29. Y. Tomczak, K. Knapas, M. Sundberg, M. Leskelä, and, M. Ritala, J. Phys. Chem. C 117, 14241 (2013).
30. J. Hämäläinen, F. Munnik, T. Hatanpää, J. Holopainen, M. Ritala, and, M. Leskelä, J. Vac. Sci. Technol. A 30, 01A106-L 01A101 (2012).
31. E. Østreng, H. H. Sønsteby, T. Sajavaara, O. Nilsen, and, H. Fjellvåg, J. Mater. Chem. C 1, 4283 (2013).
32. B. J. Chen, X. W. Sun, and, S. C. Tan, Opt. Express 13, 937 (2005).
33. J. M. Lee, S. H. Kim, Y. Tak, and, Y. S. Yoon, J. Power Sources 163, 173 (2006).
34. V. Miikkulainen, O. Nilsen, M. Laitinen, T. Sajavaara, and, H. Fjellvåg, ALD 2012 & BALD 2012 Dresden, Germany, June 17-20, 2012.
35. V. Thangadurai, and, W. Weppner, Ionics 12, 81 (2006).
36. R. A. Huggins, Electrochim. Acta 22, 773 (1977).
37. S. D. Culligan, H. W. Langmi, V. B. Reddy, and, G. Sean McGrady, Inorg. Chem. Commun. 13, 540 (2010).
38. A. Nakagawa, N. Kuwata, Y. Matsuda, and, J. Kawamura, J. Phys. Soc. Jpn. Suppl. A 79, 98 (2010).
39. G. Perentzis, E. E. Horopanitis, E. Pavlidou, and, L. Papadimitriou, Mater. Sci. Eng. B 108, 174 (2004).
40. N. Ozer, and, C. M. Lampert, Sol. Energy Mater. Sol. Cells 39, 367 (1995).
41. A. M. Glass, K. Nassau, and, T. J. Negran, J. Appl. Phys. 49, 4808 (1978).
42. F. Lantelme, A. Mantoux, H. Groult, and, D. Lincot, J. Electrochem. Soc. 150, A1202 (2003).
43. X. Chen, H. Zhu, Y.-C. Chen, Y. Shang, A. Cao, L. Hu, and, G. W. Rubloff, ACS Nano 6, 7948 (2012).
44. E. Pomerantseva, K. Gerasopoulos, X. Y. Chen, G. Rubloff, and, R. Ghodssi, J. Power Sources 206, 282 (2012).
45. X. Chen, E. Pomerantseva, P. Banerjee, K. Gregorczyk, R. Ghodssi, and, G. Rubloff, Chem. Mater. 24, 1255 (2012).
46. L. J. Hardwick, M. Holzapfel, P. Novak, L. Dupont, and, E. Baudrin, Electrochim. Acta 52, 5357 (2007).
47. S. Zhang, M. S. Ding, K. Xu, J. Allen, and, T. R. Jow, Electrochem. Solid-State Lett. 4, A206 (2001).
48. V. Miikkulainen, M. Leskelä, M. Ritala, and, R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 113, 021301 (2013).
49. S. K. Cheah, E. Perre, M. Rooth, M. Fondell, A. Hårsta, L. Nyholm, M. Boman, T. Gustafsson, J. Lu, P. Simon, and, K. Edström, Nano Lett. 9, 3230 (2009).
50. W. Wang, M. Tian, A. Abdulagatov, S. M. George, Y.-C. Lee, and, R. Yang, Nano Lett. 12, 655 (2012).
51. K. Gerasopoulos, X. Chen, J. Culver, C. Wang, and, R. Ghodssi, Chem. Commun. 46, 7349 (2010).
52. S.-W. Kim, T. H. Han, J. Kim, H. Gwon, H.-S. Moon, S.-W. Kang, S. O. Kim, and, K. Kang, ACS Nano, 3, 1085 (2009).
53. S. K. Panda, Y. Yoon, H. S. Jung, W. S. Yoon, and, H. Shin, J. Power Sources 204, 162 (2012).
54. X. Sun, M. Xie, G. Wang, H. Sun, A. S. Cavanagh, J. J. Travis, S. M. George, and, J. Lian, J. Electrochem. Soc. 159, A364 (2012).
55. S. Boukhalfa, K. Evanoff, and, G. Yushin, Energy Environ. Sci. 5, 6872 (2012).
56. M. E. Donders, H. C. M. Knoops, W. M. M. Kessels, and, P. H. L. Notten, J. Power Sources 203, 72 (2012).