Mechanistic study of lithium aluminum oxide atomic layer deposition

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 117, Issue 4, 2013, Pages 1677-1683

  Comstock, David J ^a   Elam, Jeffrey W ^a  

^a ARGONNE NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALUMINUM OXIDES; BARRIER COATINGS; BATTERY APPLICATIONS; CONDUCTIVE THIN FILMS; CONSTANT GROWTH RATES; FILM DEPOSITION; GROWTH MECHANISMS; MECHANISTIC STUDIES; POTENTIAL APPLICATIONS; TERT-BUTOXIDE; THIN FILM BATTERY; TRIMETHYLALUMINUM;

FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY; LITHIUM; OXIDES; POSITIVE IONS; SOLID ELECTROLYTES; THIN FILMS; VAPOR DEPOSITION;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84874011948     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp308828p     Document Type: Article

References (32)

1. Knoops, H. C. M.; Donders, M. E.; van de Sanden, M. C. M.; Notten, P. H. L.; Kessels, W. M. M. J. Vac. Sci. Technol., A 2012, 30, 010801
2. Peng, Q.; Lewis, J. S.; Hoertz, P. G.; Glass, J. T.; Parsons, G. N. J. Vac. Sci. Technol., A 2012, 30, 010803
3. Chen, Z.; Qin, Y.; Amine, K.; Sun, Y. K. J. Mater. Chem. 2010, 20, 7606-7612
4. Jung, Y. S.; Cavanagh, A. S.; Dillon, A. C.; Groner, M. D.; George, S. M.; Lee, S.-H. J. Electrochem. Soc. 2010, 157, A75-A81
5. Scott, I. D.; Jung, Y. S.; Cavanagh, A. S.; An, Y.; Dillon, A. C.; George, S. M.; Lee, S.-H. Nano Lett. 2011, 11, 414-418
6. Riley, L. A.; Van Ana, S.; Cavanagh, A. S.; Yan, Y.; George, S. M.; Liu, P.; Dillon, A. C.; Lee, S.-H. J. Power Sources 2011, 196, 3317-3324
7. Jung, Y. S.; Cavanagh, A. S.; Riley, L. A.; Kang, S.-H.; Dillon, A. C.; Groner, M. D.; George, S. M.; Lee, S.-H. Adv. Mater. 2010, 22, 2172-2176
8. He, Y.; Yu, X.; Wang, Y.; Li, H.; Huang, X. Adv. Mater. 2011, 23, 4938-4941
9. Dudney, N. J. J. Power Sources 2000, 89, 176-179
10. Choi, K.-H.; Jeon, J.-H.; Park, H.-K.; Lee, S.-M. J. Power Sources 2010, 195, 8317-8321
11. Song, J.; Jacke, S.; Becker, D.; Hausbrand, R.; Jaegermann, W. Electrochem. Solid State 2011, 14, A11-A13
12. Baggetto, L.; Niessen, R. A. H.; Roozeboom, F.; Notten, P. H. L. Adv. Funct. Mater. 2008, 18, 1057-1066
13. Oudenhoven, J. F. M.; Baggetto, L.; Notten, P. H. L. Adv. Energy Mater. 2011, 1, 10-33
14. Cavanagh, A. S.; Lee, Y.; Yoon, B.; George, S. M. ECS Trans. 2010, 33, 223-229
15. Ostreng, E.; Vajeeston, P.; Nilsen, O.; Fjellvag, H. RSC Adv. 2012, 2, 6315-6322
16. Putkonen, M.; Aaltonen, T.; Alnes, M.; Sajavaara, T.; Nilsen, O.; Fjellvag, H. J. Mater. Chem. 2009, 19, 8767-8771
17. Aaltonen, T.; Alnes, M.; Nilsen, O.; Costelle, L.; Fjellvag, H. J. Mater. Chem. 2010, 20, 2877-2881
18. Hamalainen, J.; Holopainen, J.; Munnik, F.; Hatanpaa, T.; Heikkila, M.; Ritala, M.; Leskela, M. J. Electrochem. Soc. 2012, 159, A259-A263
19. Hamalainen, J.; Munnik, F.; Hatanpaa, T.; Holopainen, J.; Ritala, M.; Leskela, M. J. Vac. Sci. Technol., A 2012, 30, 01A106
20. Aaltonen, T.; Nilsen, O.; Magraso, A.; Fjellvag, H. Chem. Mater. 2011, 23, 4669-4675
21. Glass, A. M.; Nassau, K. J. Appl. Phys. 1980, 51, 3756-3761
22. Caudron, E.; Baud, G.; Besse, J. P.; Jacquet, M.; Blondiaux, G. Solid State Ionics 1994, 70, 629-635
23. Elam, J. W.; Groner, M. D.; George, S. M. Rev. Sci. Instrum. 2002, 73, 2981-2987
24. Goldstein, D. N.; McCormick, J. A.; George, S. M. J. Phys. Chem. C 2008, 112, 19530-19539
25. Ballinger, T. H.; Wong, J. C. S.; Yates, J. T. Langmuir 1992, 8, 1676-1678
26. Puurunen, R. L. J. Appl. Phys. 2005, 97, 121301
27. Trombetta, M.; Busca, G.; Rossini, S. A.; Piccoli, V.; Cornaro, U. J. Catal. 1997, 168, 334-348
28. Bernal, H. G.; Caero, L. C.; Finocchio, E.; Busca, G. Appl. Catal., A 2009, 369, 27-35
29. Jones, L. H. J. Chem. Phys. 1954, 22, 217-219
30. Kurasawa, T.; Maroni, V. A. J. Nucl. Mater. 1983, 119, 95-101
31. Gennick, I.; Harmon, K. M. Inorg. Chem. 1975, 14, 2214-2219
32. Hase, Y. Inorg. Nucl. Chem. Lett. 1980, 16, 159-163