Efficient coupling of optical energy for rapid catalyzed nanomaterial growth: High-quality carbon nanotube synthesis at low substrate temperatures

ACS Applied Materials and Interfaces

Volumn 5, Issue 9, 2013, Pages 3861-3866

  Ahmad, Muhammad ^a   Anguita, Jose V ^a   Stolojan, Vlad ^a   Carey, J David ^a   Silva, S Ravi P ^a  

^a UNIVERSITY OF SURREY   (United Kingdom)

Author keywords

carbon nanotubes; catalyzed nanomaterial growth; interconnects; low temperature growth; photothermal chemical vapor deposition

Indexed keywords

CARBON NANOTUBE SYNTHESIS; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHODS; ELECTRICAL CHARACTERIZATION; LOW SUBSTRATE TEMPERATURE; LOW TEMPERATURE GROWTH; NANOMATERIAL; PHOTO-THERMAL; TEMPERATURE SENSITIVE SUBSTRATES;

CARBON NANOTUBES; CATALYSIS; CATALYSTS; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; ENERGY EFFICIENCY; GROWTH TEMPERATURE; IONIC LIQUIDS; NANOSTRUCTURED MATERIALS; OPTICAL INTERCONNECTS; VAPORS;

SUBSTRATES;

EID: 84877339929     PISSN: 19448244     EISSN: 19448252     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/am400542u     Document Type: Article

References (36)

1. Dijon, J.; Okuno, H.; Fayolle, M.; Vo, T.; Pontcharra, J.; Acquaviva, D.; Bouvet, D.; Ionescu, A. M.; Esconjauregui, C. S.; Capraro, B.; Quesnel, E.; Robertson, J. In 2010 International Electron Devices Meeting-Technical Digest; IEEE: Piscataway, NJ, 2010.
2. Srivastava, N.; Hong, L.; Kreupl, F.; Banerjee, K. IEEE Trans. Nano. 2009, 8, 542-559
3. Yokoyama, D.; Iwasaki, T.; Yoshida, T.; Kawarada, H.; Sato, S.; Hyakushima, T.; Nihei, M.; Awano, Y. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 3
4. Kawano, T.; Chung Yeung, C.; Liwei, L. In 2nd IEEE International Conference Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS '07); Bangkok, Thailand, Jan 16-19, 2007; IEEE: Piscataway, NJ, 2007; pp 895-898.
5. Connolly, T.; Smith, R. C.; Hernandez, Y.; Gun'ko, Y.; Coleman, J. N.; Carey, J. D. Small 2009, 5, 826-831
6. Zhang, Z.; Liang, X.; Wang, S.; Yao, K.; Hu, Y.; Zhu, Y.; Chen, Q.; Zhou, W.; Li, Y.; Yao, Y.; Zhang, J.; Peng, L.-M. Nano Lett. 2007, 7, 3603-3607
7. Yang, M. H.; Teo, K. B. K.; Milne, W. I.; Hasko, D. G. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 253116
8. International Technology Roadmap for Semiconductors, 2011 Edition: Interconnects. http://www.itrs.net/Links/2011ITRS/Home2011.htm
9. Li, H. J.; Lu, W. G.; Li, J. J.; Bai, X. D.; Gu, C. Z. Phys. Rev. Lett. 2005, 95, 086601
10. Wei, B. Q.; Vajtai, R.; Ajayan, P. M. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 1172-1174
11. Pop, E.; Mann, D.; Wang, Q.; Goodson, K. E.; Dai, H. J. Nano Lett. 2006, 6, 96-100
12. Peng, B.; Locascio, M.; Zapol, P.; Li, S. Y.; Mielke, S. L.; Schatz, G. C.; Espinosa, H. D. Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 626-631
13. Katagiri, M.; Sakuma, N.; Yamazaki, Y.; Suzuki, M.; Sato, S.; Nihei, M.; Sakai, T.; Awano, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 2009, 48, 090205
14. Yokoyama, D.; Iwasaki, T.; Yoshida, T.; Kawarada, H.; Sato, S.; Hyakushima, T.; Nihei, M.; Awano, Y. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 263101
15. Kreupl, F.; Graham, A. P.; Duesberg, G. S.; Steinhogl, W.; Liebau, M.; Unger, E.; Honlein, W. Microelectron. Eng. 2002, 64, 399-408
16. Shang, N. G.; Tan, Y. Y.; Stolojan, V.; Papakonstantinou, P.; Silva, S. R. P. Nanotechnology 2010, 21, 505604
17. Lee, K. Y.; Honda, S. I.; Katayama, M.; Miyake, T.; Himuro, K.; Oura, K.; Lee, J. G.; Mori, H.; Hirao, T. J. Vac. Sci. Tech. B 2005, 23, 1450-1453
18. Dupuis, A. C. Prog. Mater. Sci. 2005, 50, 929-961
19. Chhowalla, M.; Teo, K. B. K.; Ducati, C.; Rupesinghe, N. L.; Amaratunga, G. A. J.; Ferrari, A. C.; Roy, D.; Robertson, J.; Milne, W. I. J. Appl. Phys. 2001, 90, 5308-5317
20. Mathur, A.; Roy, S. S.; Dickinson, C.; McLaughlin, J. A. Curr. Appl. Phys. 2010, 10, 407-410
21. Brown, S. D. M.; Jorio, A.; Dresselhaus, M. S.; Dresselhaus, G. Phys. Rev. B 2001, 64, 073403
22. Eklund, P. C.; Holden, J. M.; Jishi, R. A. Carbon 1995, 33, 959-972
23. Tuinstra, F.; Koenig, J. L. J. Chem. Phys. 1970, 53, 1126-1130
24. Saito, R.; Gruneis, A.; Samsonidze, G. G.; Brar, V. W.; Dresselhaus, G.; Dresselhaus, M. S.; Jorio, A.; Cancado, L. G.; Fantini, C.; Pimenta, M. A.; Souza, A. G. New J. Phys. 2003, 5, 157
25. Wang, Y.; Alsmeyer, D. C.; McCreery, R. L. Chem. Mater. 1990, 2, 557-563
26. Campos-Delgado, J.; Kim, Y. A.; Hayashi, T.; Morelos-Gomez, A.; Hofmann, M.; Muramatsu, H.; Endo, M.; Terrones, H.; Shull, R. D.; Dresselhaus, M. S.; Terrones, M. Chem. Phys. Lett. 2009, 469, 177-182
27. Bagiante, S.; Scalese, S.; Scuderi, V.; D'Urso, L.; Messina, E.; Compagnini, G.; Privitera, V. Phys. Stat. Solidi B 2010, 247, 884-887
28. Babanejad, S. A.; Malekfar, R.; Hosseini, S. M. R. S. Acta Phys. Pol., A 2009, 116, 217-220
29. Lee, Y. T.; Park, J.; Choi, Y. S.; Ryu, H.; Lee, H. J. C. J. Phys. Chem. B 2002, 106, 7614-7618
30. Lee, C. J.; Park, J.; Huh, Y.; Lee, J. Y. Chem. Phys. Lett. 2001, 343, 33-38
31. Mizuno, K.; Ishii, J.; Kishida, H.; Hayamizu, Y.; Yasuda, S.; Futaba, D. N.; Yumura, M.; Hata, K. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2009, 106, 6044-6047
32. Daniels, H.; Brydson, R.; Rand, B.; Brown, A. Philos. Mag. 2007, 87, 4073-4092
33. Seidel, R.; Duesberg, G. S.; Unger, E.; Graham, A. P.; Liebau, M.; Kreupl, F. J. Phys. Chem. B 2004, 108, 1888-1893
34. Chen, G. Y.; Jensen, B.; Stolojan, V.; Silva, S. R. P. Carbon 2011, 49, 280-285
35. Fu, Y. F.; Qin, Y. H.; Wang, T.; Chen, S.; Liu, J. H. Adv. Mater. 2010, 22, 5039
36. Tan, Y. Y.; Jayawardena, K. D. G. I.; Adikaari, A. A. D. T.; Tan, L. W.; Anguita, J. V.; Henley, S. J.; Stolojan, V.; Carey, J. D.; Silva, S. R. P. Carbon 2012, 50, 668-673