Fabrication of n-type mesoporous silicon nanowires by one-step etching

Nano Letters

Volumn 11, Issue 12, 2011, Pages 5252-5258

  To, Wai Keung ^a   Tsang, Chi Him ^a   Li, Hau Hau ^a   Huang, Zhifeng ^a  

^a HONG KONG BAPTIST UNIVERSITY   (Hong Kong)

Author keywords

mesoporous; metal assisted chemical etching (MACE); photoluminescence (PL); Silicon nanowires (SiNWs)

Indexed keywords

ELECTRICAL RESISTIVITY; INTRINSIC PROPERTY; MESOPOROUS; MESOPOROUS SILICON; MESOPOROUS STRUCTURES; METAL-ASSISTED CHEMICAL ETCHING; RED LIGHT; ROOM TEMPERATURE; SILICON NANOWIRES (SINWS); TEMPERATURE DEPENDENT;

ELECTRIC CONDUCTIVITY; LASER EXCITATION; MESOPOROUS MATERIALS; NANOWIRES;

ETCHING;

EID: 83655164364     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl202674t     Document Type: Article

References (40)

1. Yang, P. D.; Yan, R. X.; Fardy, M. Nano Lett. 2010, 10 (5) 1529-1536
2. Schmidt, V.; Riel, H.; Senz, S.; Karg, S.; Riess, W.; Gosele, U. Small 2006, 2 (1) 85-88
3. Lin, Y. F.; Song, J.; Ding, Y.; Lu, S. Y.; Wang, Z. L. Adv. Mater. 2008, 20 (16) 3127-3130
4. Zhang, A.; You, S. F.; Soci, C.; Liu, Y. S.; Wang, D. L.; Lo, Y. H. Appl. Phys. Lett. 2008, 93 (12) 121110
5. Tian, B. Z.; Zheng, X. L.; Kempa, T. J.; Fang, Y.; Yu, N. F.; Yu, G. H.; Huang, J. L.; Lieber, C. M. Nature 2007, 449 (7164) 885-889
6. Chan, C. K.; Peng, H. L.; Liu, G.; McIlwrath, K.; Zhang, X. F.; Huggins, R. A.; Cui, Y. Nat. Nanotechnol. 2008, 3 (1) 31-35
7. Song, T.; Xia, J. L.; Lee, J. H.; Lee, D. H.; Kwon, M. S.; Choi, J. M.; Wu, J.; Doo, S. K.; Chang, H.; Il Park, W.; Zang, D. S.; Kim, H.; Huang, Y. G.; Hwang, K. C.; Rogers, J. A.; Paik, U. Nano Lett. 2010, 10 (5) 1710-1716
8. Patolsky, F.; Timko, B. P.; Yu, G. H.; Fang, Y.; Greytak, A. B.; Zheng, G. F.; Lieber, C. M. Science 2006, 313 (5790) 1100-1104
9. Kumar, D.; Srivastava, S. K.; Singh, P. K.; Sood, K. N.; Singh, V. N.; Dilawar, N.; Husain, M. J. Nanopart. Res. 2010, 12 (6) 2267-2276
10. Jung, J. Y.; Guo, Z.; Jee, S. W.; Um, H. D.; Park, K. T.; Hyun, M. S.; Yang, J. M.; Lee, J. H. Nanotechnology 2010, 21 (44) 445303
11. Li, X.; Bohn, P. W. Appl. Phys. Lett. 2000, 77 (16) 2572-2574
12. Peng, K. Q.; Yan, Y. J.; Gao, S. P.; Zhu, J. Adv. Mater. 2002, 14 (16) 1164-1167
13. Hochbaum, A. I.; Chen, R. K.; Delgado, R. D.; Liang, W. J.; Garnett, E. C.; Najarian, M.; Majumdar, A.; Yang, P. D. Nature 2008, 451 (7175) 163-167
14. Peng, K. Q.; Xu, Y.; Wu, Y.; Yan, Y. J.; Lee, S. T.; Zhu, J. Small 2005, 1 (11) 1062-1067
15. Sivakov, V.; Andra, G.; Gawlik, A.; Berger, A.; Plentz, J.; Falk, F.; Christiansen, S. H. Nano Lett. 2009, 9 (4) 1549-1554
16. Shiu, S. C.; Chao, J. J.; Hung, S. C.; Yeh, C. L.; Lin, C. F. Chem. Mater. 2010, 22 (10) 3108-3113
17. Huang, J. S.; Hsiao, C. Y.; Syu, S. J.; Chao, J. J.; Lin, C. F. Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2009, 93 (5) 621-624
18. Zhang, M. L.; Yi, C. Q.; Fan, X.; Peng, K. Q.; Wong, N. B.; Yang, M. S.; Zhang, R. Q.; Lee, S. T. Appl. Phys. Lett. 2008, 92 (4) 043116
19. Peng, K. Q.; Yan, Y. J.; Gao, S. P.; Zhu, J. Adv. Funct. Mater. 2003, 13 (2) 127-132
20. Huang, Z. P.; Geyer, N.; Werner, P.; de Boor, J.; Gosele, U. Adv. Mater. 2011, 23 (2) 285-308
21. Huang, Z. P.; Fang, H.; Zhu, J. Adv. Mater. 2007, 19 (5) 744-748
22. Huang, Z. P.; Shimizu, T.; Senz, S.; Zhang, Z.; Zhang, X. X.; Lee, W.; Geyer, N.; Gosele, U. Nano Lett. 2009, 9 (7) 2519-2525
23. Chern, W.; Hsu, K.; Chun, I. S.; de Azeredo, B. P.; Ahmed, N.; Kim, K. H.; Zuo, J. M.; Fang, N.; Ferreira, P.; Li, X. L. Nano Lett. 2010, 10 (5) 1582-1588
24. Weisse, J. M.; Kim, D. R.; Lee, C. H.; Zheng, X. L. Nano Lett. 2011, 11 (3) 1300-1305
25. Peng, K. Q.; Hu, J. J.; Yan, Y. J.; Wu, Y.; Fang, H.; Xu, Y.; Lee, S. T.; Zhu, J. Adv. Funct. Mater. 2006, 16 (3) 387-394
26. Qu, Y. Q.; Liao, L.; Li, Y. J.; Zhang, H.; Huang, Y.; Duan, X. F. Nano Lett. 2009, 9 (12) 4539-4543
27. Chiappini, C.; Liu, X. W.; Fakhoury, J. R.; Ferrari, M. Adv. Funct. Mater. 2010, 20 (14) 2231-2239
28. Zhang, M. L.; Peng, K. Q.; Fan, X.; Jie, J. S.; Zhang, R. Q.; Lee, S. T.; Wong, N. B. J. Phys. Chem. C 2008, 112 (12) 4444-4450
29. Electrochemistry of Silicon and Its Oxide; Zhang, X. G., Ed.; Kluwer Academic/Plenum Publishers: New York, 2001.
30. Hochbaum, A. I.; Gargas, D.; Hwang, Y. J.; Yang, P. D. Nano Lett. 2009, 9 (10) 3550-3554
31. Chen, H. A.; Wang, H.; Zhang, X. H.; Lee, C. S.; Lee, S. T. Nano Lett. 2010, 10 (3) 864-868
32. Chen, C. Y.; Wu, C. S.; Chou, C. J.; Yen, T. J. Adv. Mater. 2008, 20 (20) 3811-3815
33. Oskam, G.; Long, J. G.; Natarajan, A.; Searson, P. C. J. Phys. D: Appl. Phys. 1998, 31 (16) 1927-1949
34. Zhang, X. G. J. Electrochem. Soc. 1991, 138 (12) 3750-3756
35. O'Hare, P. A. G. Pure Appl. Chem. 1999, 71 (7) 1243-1248
36. Krustok, J.; Collan, H.; Hjelt, K. J. Appl. Phys. 1997, 81 (3) 1442-1445
37. Xiu, F. X.; Yang, Z.; Mandalapu, L. J.; Liu, J. L. Appl. Phys. Lett. 2006, 88 (15) 152116
38. Vial, J. C.; Bsiesy, A.; Gaspard, F.; Herino, R.; Ligeon, M.; Muller, F.; Romestain, R.; Macfarlane, R. M. Phys. Rev. B 1992, 45 (24) 14171-14176
39. Podhorodecki, A.; Zatryb, G.; Misiewicz, J.; Gourbilleau, F.; Dufour, C. J. Nanosci. Nanotechnol. 2010, 10 (9) 5648-5652
40. Suemoto, T.; Tanaka, K.; Nakajima, A. Phys. Rev. B 1994, 49 (16) 11005-11009