Effect of the Ga Ratio on the Dielectric Function of Solution-processed InGaZnO Films

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 59, Issue 6, 2011, Pages 3396-3400

  Kim, Tae Jung ^a   Yoon, Jae Jin ^a   Ghong, Tae Ho ^a   Barange, Nilesh ^a   Kim, Jun Young ^a   Hwang, Soon Young ^a   Kim, Young Dong ^a   Hwang, Soo Min ^b   Choi, Jun Hyuk ^b   Joo, Jinho ^b  

^a Kyung Hee University   (South Korea)

^b Sungkyunkwan University   (South Korea)

Author keywords

Ellipsometry; Ga ratio; InGaZnO; Sol gel process

Indexed keywords

EID: 83455201314     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.59.3396     Document Type: Article

References (19)

1. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano and H. Hosono, Nature 432, 488 (2004).
2. T. Kamiya, K. Nomura and H. Hosono, J. Disp. Technol. 5, 468 (2009).
3. K. Nomura, A. Takagi, T. Kamiya, H. Ohta, M. Hirano and H. Hosono, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 4303 (2006).
4. J. W. Park, P. S. Jeong, S.-H. Choi, H. Lee, B. H. Kong and H. K. Choi, Jpn. J. Appl. Phys. 48, 111603 (2009).
5. D. Kang, I. Song, C. Kim, Y. Park, T. D. Kang, H. S. Lee, J.-W. Park, S. H. Baek, S.-H. Choi and H. Lee, Appl. Phys. Lett. 91, 091910 (2007).
6. G. H. Kim, W. H. Jeong and H. J. Kim, Phys. Status Solidi A 207, 1677 (2010).
7. J. H. Lim, J. H. Shim, J. H. Choi, J. Joo, K. Park, H. Jeon, M. R. Moon, H. Kim and H.-J. Lee, Appl. Phys. Lett. 95, 012108 (2009).
8. J. H. Choi, J. H. Shim, S. M. Hwang, J. Joo, K. Park, H. Kim, H.-J. Lee, J. H. Lim, M. R. Moon and D. Jung, J. Korean Phys. Soc. 57, 1836 (2010).
9. K. K. Banger, Y. Yamashita, K. Mori, R. L. Peterson, T. Leedham, J. Richard and H. Sirringhaus, Nat. Mater. 10, 45 (2011).
10. H.-K. Noh, K. J. Chang, B. Ryu and W.-J. Lee, Phys. Rev. B 84, 115205 (2011).
11. D. E. Aspnes and A. A. Studna, Appl. Opt. 14, 220 (1975).
12. T. J. Kim, J. J. Yoon, Y. H. Cha, S. Kim and Y. D. Kim, J. Korean Phys. Soc. 57, 1960 (2010).
13. T. H. Ghong, S.-H. Han, J.-M. Chung, J. S. Byun, Y. D. Kim and D. E. Aspnes, J. Korean Phys. Soc. 58, 1426 (2011).
14. VASETM, J. A. Woollam Co., Inc., USA.
15. R. M. A. Azzam and N. M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland, Amsterdam, 1976).
16. G. E. Jellison, Jr. and F. A. Modine, Appl. Phys. Lett. 69, 371 (1996).
17. T. Suzuki and S. Adachi, Jpn. J. Appl. Phys. 32, 4900 (1993).
18. T. Kamiya, K. Nomura and H. Hosono, Phys. Status Solidi A 206, 860 (2009).
19. Y. Ohya, J. Okano, Y. Kasuya and T. Ban, J. Ceram. Soc. Jpn. 117, 973 (2009).