Roof-collapsed PDMS mask for nanochannel fabrication

Bulletin of the Korean Chemical Society

Volumn 32, Issue 1, 2011, Pages 33-34

  Lee, Jinyong ^a   Yoon, Young Keu ^a   Kim, Jungwook ^a   Kim, Yoori ^a   Jo, Kyubong ^a  

^a Sogang University   (South Korea)

Author keywords

Nanochannels; Roof collapsed PDMS mask; Unconventional lithography

Indexed keywords

EID: 78951470040     PISSN: 02532964     EISSN: 12295949     Source Type: Journal    
DOI: 10.5012/bkcs.2011.32.1.33     Document Type: Article

References (14)

1. Jo, K.; Dhingra, D. M.; Odijk, T.; de Pablo, J. J.; Graham, M. D.; Runnheim, R.; Forrest, D.; Schwartz, D. C. Proc. Nat. Acad. Sci. USA 2007, 104(8), 2673-2678.
2. Lee, J.; Yun, Y. K.; Kim, Y.; Jo, K. Bull. Korean Chem. Soc. 2009, 30(8), 1793-1797.
3. Cao, H.; Yu, Z. N.; Wang, J.; Tegenfeldt, J. O.; Austin, R. H.; Chen, E.; Wu, W.; Chou, S. Y. App. Phys. Lett. 2002, 81(1), 174-176.
4. Tegenfeldt, J. O.; Prinz, C.; Cao, H.; Chou, S.; Reisner, W. W.; Riehn, R.; Wang, Y. M.; Cox, E. C.; Sturm, J. C.; Silberzan, P.; Austin, R. H. Proc. Nat. Acad. Sci. USA 2004, 101(30), 10979-10983.
5. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. App. Phys. Lett. 1995, 67(21), 3114-3116.
6. Gates, B. D.; Xu, Q. B.; Stewart, M.; Ryan, D.; Willson, C. G.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 2005, 105(4), 1171-1196.
7. Park, S. M.; Huh, Y. S.; Craighead, H. G.; Erickson, D. Proc. Nat. Acad. Sci. USA 2009, 106(37), 15549-15554.
8. Jo, K. Thesis; University of Wisonsin: 2006.
9. Hui, C. Y.; Jagota, A.; Lin, Y. Y.; Kramer, E. J. Langmuir 2002, 18(4), 1394-1407.
10. Huang, Y. G. Y.; Zhou, W. X.; Hsia, K. J.; Menard, E.; Park, J. U.; Rogers, J. A.; Alleyne, A. G. Langmuir 2005, 21(17), 8058-8068.
11. Zhou, W.; Huang, Y.; Menard, E.; Aluru, N. R.; Rogers, J. A.; Alleyne, A. G. App. Phys. Lett. 2005, 87(25).
12. Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M. App. Phys. Lett. 1997, 70(20), 2658-2660.
13. Schmid, H.; Biebuyck, H.; Michel, B.; Martin, O. J. F.; Piller, N. B. J. Vac. Sci. Tech. B 1998, 16(6), 3422-3425.
14. Kim, E.; Xia, Y. N.; Whitesides, G. M. Nature 1995, 376(6541), 581-584.