Epitaxial growth of m -plane ZnO thin films on (10̄10) Sapphire Substrate by Atomic Layer Deposition with Interrupted Flow

Crystal Growth and Design

Volumn 10, Issue 4, 2010, Pages 1460-1463

  Ku, Ching Shun ^a   Lee, Hsin Yi ^a,b   Huang, Jheng Ming ^c   Lin, Chih Ming ^c  

^a NATIONAL SYNCHROTRON RADIATION RESEARCH CENTER   (Taiwan)

^b NATIONAL CHIAO TUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

^c NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 77950818368     PISSN: 15287483     EISSN: 15287505     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cg9013043     Document Type: Article

References (18)

1. Tsukazaki, A.; Ohtomo, A.; Onuma, T.; Ohtani, M.; Makino, T.; Sumiya, M.; Ohtani, K.; Chichibu, S. F.; Fuke, S.; Segawa, Y.; Ohno, H.; Koinuma, H.; Kawasaki, M. Nat. Mater. 2004, 4, 42-46
2. Hofstetter, D.; Theron, R.; Shaer, A. H. E.; Bakin, A.; Waag, A. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 101109
3. Ryu, Y. R.; Lubguban, J. A.; Lee, T. S.; White, H. W.; Jeong, T. S.; Youn, C. J.; Kim, B. J. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 131115
4. Guo, Z.; Zhao, D.; Liu, Y.; Shen, D.; Zhang, J.; Li, B. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 163501
5. Sun, X. W.; Zhao, J. L.; Tan, S. T.; Tan, L. H.; Tung, C. H.; Lo, G. Q.; Kwong, D. L.; Zhang, Y. W.; Li, X. M.; Teo, K. L. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 111113
6. Newton, M. C.; Shaikhaidarov, R. Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 153112
7. Waltereit, P.; Brandt, O.; Trampert, A.; Grahn, H. T.; Menniger, J.; Ramsteiner, M.; Reiche, M.; Ploog, K. H. Nature 2000, 406, 865-868
8. Im, J. S.; Kollmer, H.; Off, J.; Sohmer, A.; Scholz, F.; Hangleiter, A. Phys. Rev. B 1998, 57, R9435
9. Tian, J. S.; Liang, M. H.; Ho, Y. T.; Liu, Y. A.; Chang, L. J. Cryst. Growth 2008, 310, 777-782
10. Ho, Y. T.; Wang, W. L.; Peng, C. Y.; Liang, M. H.; Tian, J. S.; Lin, C. W.; Chang, L. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 121911
11. Niinisto, L.; Ritala, M.; Leskela, M. Mater. Sci. Eng., B, Solid-State Mater. Adv. Technol. 196, 41) 23 ' 29.
12. Lin, C. W.; Ke, D. J.; Chao, Y. C.; Chang, L.; Liang, M. H.; Ho, Y. T. J. Cryst. Growth 2007, 298, 472-476
13. Satio, K.; Nagayama, K.; Hosokai, Y.; Ishida, K.; Takahashi, K. Phys. Status Solidi C 2004, 1, 969-972
14. Ku, C. S.; Huang, J. M.; Lin, C. M.; Lee, H. Y. Thin Solid Films 2009, 518, 1373-1376
15. Cuscó, R.; Alarcón-Lladó, E.; Ibáňez, J.; Artús, L.; Jiménez, J.; Wang, B.; Callahan, M. J. Phys. Rev. B 2007, 75, 165202
16. Vanheusden, K.; Warren, W. L.; Seager, C. H.; Tallant, D. R.; Voigt, J. A.; Gnade, B. E. J. Appl. Phys. 1996, 79, 7983-7990
17. Wu, X. L.; Siu, G. G.; Fu, C. L.; Ong, H. C. Appl. Phys. Lett. 2001, 78, 2285
18. Reynolds, D. C.; Look, D. C.; Jogai, B.; Van Nostrand, J. E.; Jones, R.; Jenny, J. Solid State Commun. 1998, 106, 701-704