Preparation of ITO and IZO thin films by using the facing targets sputtering (FTS) method

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 55, Issue 5 PART 1, 2009, Pages 1996-2001

  Kim, Sang Mo ^a   Choi, Hyung Wook ^a   Kim, Kyung Hwan ^a   Park, Sang Joon ^a   Yoon, Hyon Hee ^a  

^a Gachon University

Author keywords

Annealing; FTS; Indium tin oxide; Indium zinc oxide

Indexed keywords

EID: 73249152176     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.55.1996     Document Type: Article

References (12)

1. H. Wang, Y. Onai, Y. Hoshi, H. Lei, T. Kondo, T. Uchida, S. Singkarat, T. Kamwanna, S. Dangtip, S. Aukkaravittayapun, T. Nishide, S. Tokiwa and Y. Sawada, Thin Solid Films 516, 5809 (2008).
2. T. Sasabayashi, N. Ito, E. Nishimura, M. Kon, P. K. Song, K. Utsumi, A. Kaijo and Y. Shigesato, Thin Solid Films 445, 219 (2003).
3. K. Ellmer and R. Mientus, Thin Solid Films 516, 4620 (2008).
4. N. Naghavi, A. Rougier, C. Marcel, C. Guery, J. B. Leriche and J. M. Tarascon, Thin Solid Films 360, 233 (2000).
5. S. H. Cho, J. H. Park, S. C. Lee, W. S. Cho, J. H. Lee, H. H. Yon and P. K. Song, J. Physics Chem. Solids 69, 1334 (2008).
6. D. Y. Ku, I. H. Kim, I. Lee, K. S. Lee, T. S. Lee, J. H. Jeong, B. Cheong, Y. J. Baik and W. M. Kim, Thin Solid Films 515, 1364 (2006).
7. K. H. Kim, I. H. Son, K. B. Song, S. H. Kong, M. J. Keum, S. Nakagawa and M. Naoe, Appl. Surf. Sci. 169, 410 (2001).
8. S. M. Kim, M. J. Keum and K. H. Kim, J. Korean Phys. Soc. 51, 3 (2007).
9. H. Morikawa and M. Fujita, Thin Solid Films 359, 61 (2000).
10. Li-Jian Meng, J. Gao, R. A. Silva and S. Song, Thin Solid Films 516, 5454 (2008).
11. H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z. H. Kafafi and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 6451 (1999).
12. I. Hamberg and C. G. Granqvist, J. Appl. Phys. 60, R123 (1986).