Effect of a 3C-SiC buffer layer on the SAW properties of AlN films grown on Si substrates

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 55, Issue 4, 2009, Pages 1446-1450

  Chung, Gwiy Sang ^a   Hong, Hoang Si ^a  

^a University of Ulsan   (South Korea)

Author keywords

3C SiC; AlN; Saw properties; Two port saw resonator

Indexed keywords

EID: 72149093259     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.55.1446     Document Type: Article

References (16)

1. G. S. Chung and T. W. Lee, J. Korean Phys. Soc. 53, 2119 (2008).
2. P. Kirsch, M. B. Assouar, O. Elmazria, V. Mortet and P. Alnot, Appl. Phys. Lett. 88, 223504 (2006).
3. Y. Takagaki, P. V. Santos, E. Wiebicke, O. Brandt, H.-P. Schonherr and K. H. Ploog, Appl. Phys. Lett. 81, 2538 (2002).
4. K. Uehara, C. M. Yang, T. Furusho, S. K. Kim, S. Kameda, H. Nakase, S. Nishino and K. Tsubouchi, IEEE Ultrasonics Symposium 1, 905 (2003).
5. J. Xu, J. S. Thakur, G. Hu, Q. Wang, Y. Danylyuk, H. Ying and G. W. Auner, Appl. Phys. A 83, 411 (2006).
6. J. B. Lee, M. H. Lee, C. K. Park and J. S. Park, Thin Solid Films 447, 296 (2004).
7. G. S. Chung and K. S. Kim, J. Korean Phys. Soc. 51, 1389 (2007).
8. R. Cuerdo, J. Pedrós, A. Navarro, A. F. Braña, J. L. Pau, E. Muñoz and F. Calle, J. Mater. Sci. Mater. Electron. 19, 189 (2008).
9. A. S. Hervas, M. Clement, E. Iborra, L. Vergara, J. Olivares and J. Sangrador, Appl. Phys. Lett. 88, 161915 (2006).
10. F. Martin, P. Muralt, M. A. Dubois and A. Pezous, J. Vac. Sci. Technol. 22, 361 (2004).
11. A. S. Hervas, E. Iborra, M. Clement, J. Sangrador and M. Aguilar, Diamond Relat. Mater. 12, 1186 (2003).
12. J. X. Zhang, H. Cheng, Y. Z. Chen, A. Uddin, S. Yuan, S. J. Geng and S. Zhang, Surf, & Coat. Tech 198, 68 (2005).
13. E. Hurtos and J. Rodriguez-Viejo, J. Appl. Phys. 87, 1748 (2000).
14. M. Zielinski, A. Leycuras, S. Ndiaye and T. Chassage, Appl. Phys. Lett. 89, 131906 (2006).
15. A. V. Shchegrov, J. Appl. Phys. 78, 1565 (1995).
16. C. M. Flannery and H. Von Kiedrowski, Ultrasonics 40, 83 (2002).