Properties of IZTO thin films prepared by using a hetero-target sputtering system

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 54, Issue 3, 2009, Pages 1309-1314

  Kim, Dae Hyun ^a   Rim, You Seung ^a   Kim, Kyung Hwan ^a   Son, In Hwan ^b  

^a Gachon University   (South Korea)

^b Shinsung University   (South Korea)

Author keywords

FTS; Hetero target; IZTO

Indexed keywords

EID: 64549124433     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.54.1309     Document Type: Article

References (21)

1. P. Y. Kim, J. Y. Lee, N. I. Cho, S. J. Lee and H. Y. Lee. J. Korean Phys. Soc. 53, 207 (2008).
2. T. Minami, J. Vac, Sci. Technol. 17, 1765 (1999).
3. X. Jiang, F. L. Wong, M. K. Fung and S. T. Lee, Appl. Phys. Lett. 83, 1875 (2003).
4. T. Minami, T. Kakumu and S. Takatk, J. Vac. Sci. Technol. 14, 1704 (1996).
5. Z. L. Pei, C. Sun, M. H. Tan, J. Q. Xiao, R. F. Huang and L. S. Wen, J. Appl. Phys. 90, 3432 (2001).
6. J. S. Hong, B. R. Rhee, H. M. Kim, K. C. Je, Y. J. Kang and J. S. Ahn, Thin Solid Films 467, 258 (2004).
7. J. A. Jeong, K. H. Choi, J. H. Bae, J. M. Moon, S. W. Jeong, I. S. Kim, H. K. Kim and M. S. Yi, J Electroceram, DOI 10. 1007.
8. J. M. Phillips, R. J. Cava, G. A. Thomas, S. A. Carter, J. Kwo, T. Siegrist, J. J. Krajewski, J. H. Marshall, W. F. Peck Jr. and D. H. Rapkine, Appl. Phys. Lett. 67, 2246 (1995).
9. T. J. Marks, J. G. C. Veinot, J. Cui, H. Yan, A. Wang, N. L. Edleman, J. Ni, Q. Huang, P. Lee and N. R. Armstron, Synthetic Metals 127, 29 (2002).
10. J. Cui, A. Wang, N. L. Edleman, J. Ni, P. Lee, N. R. Armstrong and T. J. Marks, Adv. Mater. 13, 1476 (2001).
11. J. S. Yang, H. Y. Seong, M. J. Keum, I. H. Son and K. H. Kim, Surf. Coat. Technol. 575, 169 (2003).
12. Y. S. Kim, W. H. Park, S. H. Kong, S. Nakagawa and K. H. Kim, Surf. Coat. Technol. 532, 169 (2003).
13. P. K. Song, H. Akao, M. Kamel, Y. Shigesato and I. Yasui, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5224 (1999).
14. A. K. Kulkarni, K. H. Schulz, T. S. Lim and M. Khan, Thin Solid Films 345, 273 (1999).
15. C. G. Choi, K. N. No, W. J. Lee, H. G. Kim, S. O. Jung, W. J. Lee, W. S. Kim, S. J. Kim and C. Yoon, Thin Solid Films 258, 274 (1995).
16. T. Tsuji and M. Hirohashi, Appl. Surf. Sci. 157, 410 (2000).
17. F. O. Adurodija, H. Izumi, T. Ishihara, H. Yoshioka, H. Matsui, M. Motoyama, Appl. Phys. Lett. 74, 3059 (1999).
18. S. Naseem, I. A. Rauf, K. Hussain and N. A. Malik, Thin Solid Films 156, 161 (1988).
19. D. Y. Ku, I. H. Kim, I. Lee, K. S. Lee, T. S. Lee, J. h. Jeong, B. Cheong, Y. J. Baik and W. M. Kim, Thin Solid Films 515, 1364 (2006).
20. K. H. Kim, I. H. Son, K. B. Song, S. H. Kong, M. J. Keum, S. Nakagawa and M. Naoe, Appl. Surf. Sci. 169, 410 (2001).
21. S. M. Kim, M. J. Keum and K. H. Kim, J. Korean Phys. Soc. 51, 1023 (2008).