Simultaneous optimization of the material properties, uniformity and deposition rate of polycrystalline CVD and PECVD silicon-germanium layers for MEMS applications

ECS Transactions

Volumn 16, Issue 10, 2009, Pages 353-364

  Bryce, George ^a   Severi, Simone ^a   Du Bois, Bert ^a   Willegems, Myriam ^a   Claes, Gert ^a,b   Van Hoof, Rita ^a   Haspeslagh, Luc ^a   Decoutere, Stefaan ^a   Witvrouw, Ann ^a  

^a IMEC   (Belgium)

^b UNIVERSITY OF LEUVEN   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CMOS INTEGRATED CIRCUITS; DEPOSITION RATES; DEPOSITS; GERMANIUM COMPOUNDS; MEMS; NANOCRYSTALLINE MATERIALS; SILICON WAFERS; THROUGHPUT;

GE CONCENTRATIONS; MECHANICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES; MEMS APPLICATIONS; MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEM (MEMS); OPTIMIZED PROCESS; POLY-CRYSTALLINE SILICON; SILICON GERMANIUM; SIMULTANEOUS OPTIMIZATION;

SI-GE ALLOYS;

EID: 63149111379     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.2986794     Document Type: Conference Paper

References (10)

1. A. Witvrouw, M. Gromova, A. Mehta, S. Sedky, P. de Moor, K. Baert, C. van Hoof, Proc. MRS 782, 25-36 (2004).
2. M. Reiche, ECS Transactions, 3 (7) 1123-1130 (2006)
3. M.Gromova, L. Haspeslagh, A.Verbist, B. Du Bois, R. Van Hoof, B. Eyckens, B. Sijmus, I. De Wolf V. Simons, Ph. Muller, T. Lauwagie, M. Willegems, S. Locorotondo, W. Boullart, K. Baert and A. Witvrouw, Proc. IEEE MEMS 2007 , 759-762.
4. A. Schreurle, T. Fuchs, K. Kehr, C. Leinenbach, S. Kronmüller, A. Arias, J. Ceballos, M. A. Lagos, J. M. Mora, J. M. Muñoz, A. Ragel, J. Ramos, S. Van Aerde, J. Spengler, A. Mehta, A. Verbist, B. Du Bois and A. Witvrouw, Proc. IEEE MEMS 07, 39-42 (2007).
5. C. Rusu, S. Sedky, B. Parmentier, A. Verbist, O. Richard, B. Brijs, L. Geenen, A. Witvrouw, F. Lärmer, F. Fischer, S. Kronmiiller, V. Leca and B. Otter, J: MEMS, Vol. 12 (6), p 816-825 (2003).
6. M. Gromova, A. Mehta,' K. Baert, A. Witvrouw, Sensors and Actuators A 130-131 403-410 (2006).
7. G. Claes, G. Van Barel, R. Van Hoof, B. Du Bois, M. Gromova, A. Verbist, T. Van der Donck, S. Decoutere J.-P. Celis, A. Witvrouw, MRS Spring 2008 Proc. Volume 1033 (J05-02).
8. H.C. Lin, C.Y. Chang, W.H. Chen, W.C. Tsai, T.C. Chang, T.G. Yung and H.Y. Lin, J. Electrochem. Soc, 141 (9), 259-2563 (1994).
9. A. Abermann, Vacuum, 41 (4-6), 1279-1282 (1990).
10. T. van der Donck, J. Proost , C. Rusu, K. Baert, C. Van Hoof, J.-P. Celis and A. Witvrouw, Proc. of SPIE Vol. 5342, 8-18 (2004).