Kalibrierung und Rückführung von Interferometern

VDI Berichte

Volumn , Issue 1669, 2003, Pages

  Bai, Alexander ^a,b   Geckeler, R D ^a   Pfeifer, T ^a  

^a Mess und Qualtitätstechnik ^*

^b FRAUNHOFER INSTITUTE FOR PRODUCTION TECHNOLOGY IPT   (Germany)

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EID: 4444372956     PISSN: 00835560     EISSN: None     Source Type: Book Series    
DOI: None     Document Type: Review

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