Scattering with angular limitation projection electron beam lithography for suboptical lithography

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 15, Issue 6, 1997, Pages 2130-2135

  Harriott, Lloyd R ^a  

^a LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 4143100441     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.589339     Document Type: Article

References (18)

1. S. D. Berger and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 57, 153 (1990).
2. M. B. Heritage, J. Vac. Sci. Technol. 12, 1135 (1975).
3. S. D. Berger, C. Biddick, M. Blakey, K. Bolan, S. Bowler, K. Brady, R. M. Camarda, W. Connelly, R. Farrow, J. Felker, L. Fetter, L. R. Harriott, H. A. Huggins, J. S. Kraus, J. A. Liddle, M. Mkrtchyan, A. Novembre, M. Peabody, T. Russell, W. Simpson, R. Tarascon, H. Wade, W. Waskiewicz, and P. Watson, Proc. SPIE 2322, 434 (1994).
4. W. DeVore and S. D. Berger, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3764 (1996).
5. W. K. Waskiewicz, S. D. Berger, L. R. Harriott, M. M. Mkrtchyan, and S. W. Bowler, Proc. SPIE 2522, 13 (1995).
6. R. C. Farrow, J. A. Liddle, S. D. Berger, H. A. Huggins, J. S. Kraus, R. M. Camarda, R. G. Tarascon, C. W. Jurgensen, R. R. Kola, and L. Fetter, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2780 (1992).
7. R. C. Farrow, J. A. Liddle, S. D. Berger, H. A. Huggins, J. S. Kraus, R. M. Camarda, R. G. Tarascon, C. W. Jurgensen, R. R. Kola, and L. Fetter, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2175 (1993).
8. S. D. Berger, D. J. Eaglesham, R. C. Farrow, R. R. Freeman, J. S. Kraus, and J. A. Liddle, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2294 (1993).
9. M. M. Mkrtchyan, J. A. Liddle, S. D. Berger, L. R. Harriott, A. M. Schwartz, and J. M. Gibson, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3508 (1994).
10. L. R. Harriott, S. D. Berger, J. A. Liddle, G. P. Watson, and M. M. Mklrtchyan, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2404 (1995).
11. J. A. Liddle, G. P. Watson, and H. A. Huggins, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2483 (1995).
12. J. A. Liddle, these proceedings.
13. R. G. Tarascon, K. Bolan, M. Blakey, R. M. Camarda, R. C. Farrow, L. A. Fetter, H. A. Huggins, J. S. Kraus, J. A. Liddle, D. A. Mixon, A. E. Novembre, G. P. Watson, and S. D. Berger, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3444 (1994).
14. A. E. Novembre, R. G. Tarascon, S. D. Berger, C. J. Biddick, M. I. Blakey, K. J. Bolan, L. A. Fetter, L. R. Harriott, H. A. Huggins, C. S. Knurek, J. A. Liddle, D. A. Mixon, and M. L. Peabody, J. Photopolym. Sci. Technol. 9, 663 (1996).
15. G. P. Watson, S. D. Berger, J. A. Liddle, and W. K. Waskiewicz, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2504 (1995).
16. L. R. Harriott, S. D. Berger, C. Biddick, M. Blakey, S. Bowler, K. Brady, R. Camarda, W. Connelly, A. Crorken, J. Custy, R. DeMarco, R. C. Farrow, J. A. Felker, L. Fetter, L. C. Hopkins, H. A. Huggins, C. S. Knurek, J. S. Kraus, R. Freeman, J. A. Liddle, M. M. Mkrtchyan, A. E. Novembre, M. L. Peabody, R. G. Tarascon, H. H. Wade, W. K. Waskiewicz, G. P. Watson, K. S. Werder, and D. L. Windt, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3825 (1996).
17. L. R. Harriott, S. D. Berger, C. Biddick, M. Blakey, S. Bowler, K. Brady, R. Camarda, W. Connelly, A. Crorken, J. Custy, R. DeMarco, R. C. Farrow, J. A. Felker, L. Fetter, L. C. Hopkins, H. A. Huggins, C. S. Knurek, J. S. Kraus, R. Freeman, J. A. Liddle, M. M. Mkrtchyan, A. E. Novembre, M. L. Peabody, R. G. Tarascon, H. H. Wade, W. K. Waskiewicz, G. P. Watson, K. S. Werder, and D. L. Windt, Microelectron. Eng. 35, 477 (1997).
18. W. K. Waskiewicz, C. Biddick, M. Blakey, K. Brady, R. Camarda, W. Connelly, A. H. Crorken, J. Custy, R. DeMarco, R. C. Farrow, J. A. Felker, L. Fetter, R. Freeman, L. R. Harriott, L. C. Hopkins, H. A. Huggins, R. J. Kasica, C. S. Knurek, J. S. Kraus, R. Freeman, J. A. Liddle, M. M. Mkrtchyan, A. E. Novembre, M. L. Peabody, L. Rutberg, H. H. Wade, G. P. Watson, K. S. Werder, and D. L. Windt, Proc. SPIE 3048, 255 (1997).