Electrical properties of buried B/Si surface phases

Journal of Applied Physics

Volumn 83, Issue 11, 1998, Pages 5865-5869

  Zotov, A V ^a,b   Lifshits, V G ^a,b   Rupp, T ^c   Eisele, I ^c  

^a VLADIVOSTOK STATE UNIVERSITY OF ECONOMICS AND SERVICE   (Russian Federation)

^b INSTITUTE OF AUTOMATION AND CONTROL PROCESSES   (Russian Federation)

^c BUNDESWEHR UNIVERSITY MUNICH   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 3643123988     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.367447     Document Type: Article

References (39)

1. H. P. Zeindl, T. Wegehaupt, I. Eisele, H. Oppolzer, H. Reisinger, G. Tempel, and F. Koch, Appl. Phys. Lett. 50, 1164 (1987).
2. A. A. van Gorkum, K. Nakagawa, and Y. Shiraki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 26, L1933 (1987).
3. V. G. Lifshits, A. A. Saranin, and A. V. Zotov, Surface Phases on Silicon (Wiley, Chichester, 1994).
4. S. Hasegawa and S. Ino, Int. J. Mod. Phys. B 7, 3817 (1993).
5. A. V. Zotov, S. V. Ryzhkov, and V. G. Lifshits, Surf. Sci. 328, 95 (1995).
6. R. L. Headrick, L. C. Feldman, and I. K. Robinson, Appl. Phys. Lett. 55, 442 (1989).
7. K. Akimoto, I. Hirosawa, T. Tatsumi, and H. Hirayama, Appl. Phys. Lett. 56, 1225 (1990).
8. R. L. Headrick, B. E. Weir, A. F. J. Levi, B. S. Freer, J. Bevk, and L. C. Feldman, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2269 (1991).
9. B. E. Weir, D. J. Eaglesham, L. C. Feldman, H. S. Luftman, and R. L. Headrick, Appl. Surf. Sci. 84, 413 (1995).
10. R. L. Headrick, B. E. Weir, A. F. J. Levi, D. J. Eaglesham, and L. C. Feldman, Appl. Phys. Lett. 57, 2779 (1990).
11. B. E. Weir, L. C. Feldman, D. Monroe, H.-J. Gossmann, R. L. Headrick, and T. R. Hart, Appl. Phys. Lett. 65, 737 (1994).
12. H. Hirayama, T. Tatsumi, and N. Aizaki, Surf. Sci. 193, L47 (1988).
13. I.-W. Lyo, E. Kaxiras, and Ph. Avouris, Phys. Rev. Lett. 63, 1261 (1989).
14. Y. Kumagai, K. Ishimoto, R. Mori, and F. Hasegawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 33, L1 (1994).
15. P. J. Bedrossian, R. D. Meade, K. Mortensen, D. M. Chen, J. A. Golovchenko, and D. Vanderbilt, Phys. Rev. Lett. 63, 1257 (1989).
16. -2).
17. R. L. Headrick, I. K. Robinson, E. Vlieg, and L. C. Feldman, Phys. Rev. Lett. 63, 1253 (1989).
18. H. Huang, S. Y. Tong, J. Quinn, and F. Jona, Phys. Rev. B 41, 3276 (1990).
19. E. Kaxiras, K. C. Pandey, F. J. Himpsel, and R. M. Tromp, Phys. Rev. B 41, 1262 (1990).
20. R. L. Headrick, A. F. J. Levi, H. S. Luftman, J. Kovalchick, and L. C. Feldman, Phys. Rev. B 43, 14711 (1991).
21. R. L. Headrick, B. E. Weir, A. F. J. Levi, D. J. Eaglesham, and L. C. Feldman, J. Cryst. Growth 111, 838 (1991).
22. A. V. Zotov, F. Wittmann, J. Lechner, I. Eisele, S. V. Ryzhkov, and V. G. Lifshits, Appl. Phys. Lett. 67, 611 (1995).
23. A. V. Zotov, F. Wittmann, J. Lechner, S. V. Ryzhkov, V. G. Lifshits, and I. Eisele, J. Cryst. Growth 157, 344 (1995).
24. J. F. Lin, S. S. Li, L. C. Linares, and K. W. Teng, Solid-State Electron. 24, 827 (1981).
25. S. L. Wu, T. K. Carns, S. J. Wang, and K. L. Wang, Appl. Phys. Lett. 63, 1363 (1993).
26. A. V. Zotov and V. V. Korobtsov, J. Cryst. Growth 98, 519 (1989).
27. A. V. Zotov, M. A. Kulakov, B. Bullemer, and I. Eisele, Phys. Rev. B 53, 12902 (1996).
28. A. V. Zotov, M. A. Kulakov, S. V. Ryzhkov, V. G. Lifshits, B. Bullemer, and I. Eisele, Surf. Sci. 352/354, 358 (1996).
29. W. F. J. Slijkerman, J. M. Gay, P. M. Zagwijn, J. F. van der Veen, J. E. Macdonald, A. A. Williams, D. J. Gravesteijn, and G. F. A. van de Walle, J. Appl. Phys. 68, 5105 (1990).
30. A. F. J. Levi, S. L. McCall, and P. M. Platzman, Appl. Phys. Lett. 54, 940 (1989).
31. Z. Zhang, M. A. Kulakov, B. Bullemer, I. Eisele, and A. V. Zotov, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2684 (1996).
32. M. A. Kulakov, Z. Zhang, A. V. Zotov, B. Bullemer, and I. Eisele, Appl. Surf. Sci. 103, 443 (1996).
33. Z. Zhang, M. A. Kulakov, B. Bullemer, I. Eisele, and A. V. Zotov, Appl. Phys. Lett. 69, 494 (1996).
34. T. Tatsumi, I. Hirosawa, T. Niino, H. Hirayama, and J. Mizuki, Appl. Phys. Lett. 57, 1395 (1990).
35. T. Tatsumi, I. Hirosawa, T. Niino, H. Hirayama, and J. Mizuki, J. Cryst. Growth 111, 961 (1991).
36. D. J. Tweet, K. Akimoto, T. Tatsumi, I. Hirosawa, J. Mizuki, and J. Matsui, Phys. Rev. Lett. 69, 2236 (1992).
37. B. Müller, O. Jusko, G. L. Pietsch, and U. Köhler, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 16 (1992).
38. M. A. Lamin, O. P. Pchelyakov, L. V. Sokolov, S. I. Stenin, and A. I. Toropov, Surf. Sci. 207, 418 (1989).
39. K. Kajiyama, Y. Tanishiro, and K. Takayanagi, Surf. Sci. 222, 38 (1989).