Photoluminescence of Si-rich silicon nitride: Defect-related states and silicon nanoclusters

Applied Physics Letters

Volumn 90, Issue 13, 2007, Pages

  Wang, Minghua ^a   Li, Dongsheng ^a   Yuan, Zhizhong ^a   Yang, Deren ^a   Que, Duanlin ^a  

^a ZHEJIANG UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CONCENTRATION (PROCESS); EXCITATION ENERGY; METALLIC FILMS; NANOCLUSTERS; PHOTOLUMINESCENCE; QUANTUM CONFINEMENT;

BOND CENTERS; SILICON NANOCLUSTERS; SILICON NITRIDE FILMS;

SILICON NITRIDE;

EID: 34047157653     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2717014     Document Type: Article

References (21)

1. L. T. Canham, Appl. Phys. Lett. 57, 1046 (1990).
2. P. M. Fauchet, J. Ruan, H. Chen, L. Pavesi, L. Dal Negro, M. Cazzaneli, R. G. Elliman, N. Smith, M. Samoc, and B. Luther-Davies, Opt. Mater. (Amsterdam, Neth.) 27, 745 (2005).
3. M. J. Chen, J. L. Yen, J. Y. Li, J. F. Chang, S. C. Tsai, and C. S. Tsai, Appl. Phys. Lett. 84, 2163 (2004).
4. R. J. Walters, G. I. Bourianoff, and H. A. Atwater, Nat. Mater. 4, 143 (2005).
5. Y. Q. Wang, Y. G. Wang, L. Cao, and Z. X. Cao, Appl. Phys. Lett. 83, 3474 (2003).
6. M.-S. Yang, K.-S. Cho, J.-H. Jhe, S.-Y. Seo, J. H. Shin, K. J. Kim, and D. W. Moon, Appl. Phys. Lett. 85. 3408 (2004).
7. L.-Y. Chen, W.-H. Chen, and F. C.-N. Hong, Appl. Phys. Lett. 86, 193506 (2005).
8. K. S. Cho, N.-M. Park, T.-Y. Kim, K.-H. Kim, and G. Y. Sung, Appl. Phys. Lett. 86, 071909 (2005).
9. N.-M. Park, C.-J. Choi, T.-Y. Seong, and S.-J. Park, Phys. Rev. Lett. 86, 1355 (2001).
10. L. Dal Negro, J. H. Yi, L. C. Kimerling, S. Hamel, A. Williamson, and G. Gallib, Appl. Phys. Lett. 88, 183103 (2006).
11. L. B. Ma, R. Song, Y. M. Miao, C. R. Li, Y. Q. Wang, and Z. X. Cao, Appl. Phys. Lett. 88, 093102 (2006).
12. C. Garcia, B. Garrido, P. Pellegrino, R. Ferre, J. A. Moreno, J. R. Morante, L. Pavesi, and M. Cazzanelli, Appl. Phys. Lett. 82, 1595 (2003).
13. W. L. Warren, J. Robertson, and J. Kanicki, Appl. Phys. Lett. 63, 2685 (1993).
14. S. V. Deshpande, E. Gulari, S. W. Brown, and S. C. Rand, J. Appl. Phys. 77, 6534 (1995).
15. L. H. Campbell and P. M. Fauchet, Solid State Commun. 58, 739 (1986).
16. J. Zi, H. Buscher, C. Falter, W. Ludwig, K. Zhang, and X. Xie, Appl. Phys. Lett. 69, 200 (1996).
17. M. Zacharias, J. Biasing, P. Veit, L. Tsybeskov, K. Hirschman, and P. M. Fauchet, Appl. Phys. Lett. 74, 2614 (1999).
18. M. Zacharias and P. Streitenberger, Phys. Rev. B 62, 8391 (2000).
19. L. Zhang, H. Jin, W. Yang, Z. Xie, H. Miao, and L. An, Appl. Phys. Lett. 86, 061908 (2005).
20. W. L. Warren, P. M. Lenahan, and S. E. Curry, Phys. Rev. Lett. 65, 207 (1990).
21. F. lacona, G. Franzo, and C. Spinella, J. Appl. Phys. 87, 1295 (2000).