Fabrication and material properties of submicrometer SrTiO3 films exfoliated using crystal ion slicing

Applied Physics Letters

Volumn 90, Issue 11, 2007, Pages

  Roth, Ryan M ^a   Djukic, Djordje ^a   Lee, Yoo Seung ^a   Osgood, Richard M ^a   Lewis, Penelope A ^a   Bakhru, Sasha ^b   Bakhru, Hassaram ^b  

^a Och Spine at New York Presbyterian Hospitals   (United States)

^b STATE UNIVERSITY OF NEW YORK   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTAL LATTICES; ION IMPLANTATION; RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY; STRONTIUM COMPOUNDS; SURFACE DEFECTS; SURFACE ROUGHNESS;

CRYSTAL ION SLICING; CRYSTAL QUALITY; EXFOLIATED FILMS; EXFOLIATION; HYDROGEN IONS;

THIN FILMS;

EID: 33947319334     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2711655     Document Type: Article

References (23)

1. T. A. Ramadan, M. Levy, and R. M. Osgood, Jr., Appl. Phys. Lett. 76, 1407 (2000).
2. D. Djukic, R. M. Roth, J. T. Yardley, R. M. Osgood, Jr., S. Bakhru, and H. Bakhru, Opt. Express 12, 6159 (2004).
3. J. H. Lehman, A. M. Radojevic, R. M. Osgood, Jr., M. Levy, and C. N. Pannell, Opt. Lett. 0146-9592 25, 1657 (2000); R. M. Roth, T. Izuhara, R. L. Espinola, D. Djukic, R. M. Osgood, Jr., S. Bakhru, and H. Bakhru, Opt. Lett. 30, 994 (2005).
4. J. H. Lehman, A. M. Radojevic, R. M. Osgood, Jr., M. Levy, and C. N. Pannell, Opt. Lett. 0146-9592 25, 1657 (2000); R. M. Roth, T. Izuhara, R. L. Espinola, D. Djukic, R. M. Osgood, Jr., S. Bakhru, and H. Bakhru, Opt. Lett. 30, 994 (2005).
5. T. Izuhara, R. M. Roth, R. M. Osgood, Jr., S. Bakhru, and H. Bakhru, Electron. Lett. 39, 1118 (2003).
6. T. Izuhara, I. L. Gheorma, R. M. Osgood, Jr., A. N. Roy, H. Bakhru, Y. M. Tesfu, and M. E. Reeves, Appl. Phys. Lett. 82, 616 (2003).
7. Y. S. Lee, D. Djukic, R. M. Roth, R. Laibowitz, T. Izuhara, R. M. Osgood, Jr., S. Bakhru, H. Bakhru, W. Si, and D. Welch, Appl. Phys. Lett. 89, 122902 (2006).
8. G. D. Wilk, R. M. Wallace, and J. M. Anthony, J. Appl. Phys. 89, 5243 (2001).
9. N. A. Pertsev, V. G. Koukhar, R. Waser, and S. Hoffman, Appl. Phys. Lett. 77, 2596 (2000).
10. K. Bouzehouane, P. Woodall, B. Marcilhac, A. N. Khodan, D. Cŕt́, E. Jacuqet, J. C. Mage, and J. P. Countour, Appl. Phys. Lett. 80, 109 (2002).
11. A. Kosola, M. Putkonen, L.-S. Johansson, and L. Niinistö, Appl. Surf. Sci. 211, 102 (2003).
12. H. B. Lu, N. Wang, W. Z. Chen, F. Chen, T. Zhao, H. Y. Peng, S. T. Lee, and G. Z. Yang, J. Cryst. Growth 212, 173 (2000).
13. H. Li, X. Hu, Y. Wei, Z. Yu, X. Zhang, R. Droopad, A. A. Demkov, J. Edwards, Jr., K. Moore, W. Ooms, J. Kulik, and P. Fejes, J. Appl. Phys. 93, 4521 (2003).
14. S.-R. Jian, W.-J. Chang, T.-H. Fang, L.-W. Ji, Y.-J. Hsiao, and Y.-S. Chang, Mater. Sci. Eng., B 131, 281 (2006).
15. P. C. Joshi and S. B. Krupanidhi, Appl. Phys. Lett. 61, 1525 (1992).
16. J. F. Ziegler, computer code SRIM2006 (freely available at www.srim.org).
17. R. M. Roth, D. Djukic, Y.-S. Lee, R. M. Osgood, Jr., S. Bakhru, B. Laulicht, K. Dunn, H. Bakhru, L. Wu, and M. Huang, Appl. Phys. Lett. 89, 112906 (2006).
18. S. Thevuthasan, W. Jiang, J. S. Young, and W. J. Weber, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 161-163, 544 (2000).
19. F. G. Wakim, J. Chem. Phys. 49, 3738 (1968).
20. Y. M. Baikov, Solid State Ionics 97, 471 (1997).
21. S. B. Majumder, M. Jian, A. Martinez, R. S. Katiyar, F. W. Van Keuls, and F. A. Miranda, J. Appl. Phys. 90, 896 (2001).
22. G. Branković, Z. Branković, J. A. Varela, and E. Longo, J. Eur. Ceram. Soc. 24, 989 (2004).
23. T. W. Simpson, I. V. Mitchell, J. C. McCallum, and L. A. Boatner, J. Appl. Phys. 76, 2711 (1994).